Llif proses lled-ddargludyddion-Ⅱ

Croeso i'n gwefan am wybodaeth am gynhyrchion ac ymgynghoriad.

Ein gwefan:https://www.vet-china.com/

 

Ysgythru Poly a SiO2:

Ar ôl hyn, mae'r gormodedd o Poly a SiO2 yn cael eu hysgythru i ffwrdd, hynny yw, eu tynnu. Ar yr adeg hon, cyfeiriadolysgythruyn cael ei ddefnyddio. Yn y dosbarthiad o ysgythru, mae dosbarthiad o ysgythru cyfeiriadol ac ysgythru an-gyfeiriadol. Mae ysgythru cyfeiriadol yn cyfeirio atysgythrui gyfeiriad penodol, tra bod ysgythru di-gyfeiriadol yn ddi-gyfeiriadol (dywedais ormod ar ddamwain. Yn fyr, y bwriad yw tynnu SiO2 i gyfeiriad penodol trwy asidau a basau penodol). Yn yr enghraifft hon, rydym yn defnyddio ysgythru cyfeiriadol tuag i lawr i dynnu SiO2, ac mae'n dod fel hyn.

Yn olaf, tynnwch y ffotowrthwynebiad. Ar yr adeg hon, nid yw'r dull o dynnu'r ffotowrthwynebiad yn actifadu trwy arbelydru golau a grybwyllir uchod, ond trwy ddulliau eraill, oherwydd nid oes angen i ni ddiffinio maint penodol ar hyn o bryd, ond tynnu'r holl ffotowrthwynebiad. Yn olaf, mae'n dod fel y dangosir yn y ffigur canlynol.

Yn y modd hwn, rydym wedi cyflawni'r pwrpas o gadw lleoliad penodol y Poly SiO2.

 

Ffurfiant y ffynhonnell a'r draen:

Yn olaf, gadewch i ni ystyried sut mae'r ffynhonnell a'r draen yn cael eu ffurfio. Mae pawb yn dal i gofio ein bod wedi siarad amdano yn y rhifyn diwethaf. Mae'r ffynhonnell a'r draen wedi'u mewnblannu ag ïonau gyda'r un math o elfennau. Ar yr adeg hon, gallwn ddefnyddio ffotoresist i agor yr ardal ffynhonnell/draen lle mae angen mewnblannu'r math N. Gan mai dim ond NMOS a gymerwn fel enghraifft, bydd pob rhan yn y ffigur uchod yn cael ei hagor, fel y dangosir yn y ffigur canlynol.

Gan na ellir mewnblannu'r rhan sydd wedi'i gorchuddio gan y ffotowrthwyneb (mae'r golau wedi'i rwystro), dim ond ar yr NMOS gofynnol y bydd elfennau math-N yn cael eu mewnblannu. Gan fod y swbstrad o dan y poly wedi'i rwystro gan poly a SiO2, ni fydd yn cael ei fewnblannu, felly mae'n dod fel hyn.

Ar y pwynt hwn, mae model MOS syml wedi'i greu. Mewn theori, os yw foltedd yn cael ei ychwanegu at y ffynhonnell, y draen, y poly a'r swbstrad, gall y MOS hwn weithio, ond ni allwn gymryd chwiliedydd ac ychwanegu foltedd yn uniongyrchol at y ffynhonnell a'r draen. Ar yr adeg hon, mae angen gwifrau MOS, hynny yw, ar y MOS hwn, cysylltu gwifrau i gysylltu llawer o MOS gyda'i gilydd. Gadewch i ni edrych ar y broses weirio.

 

Gwneud VIA:

Y cam cyntaf yw gorchuddio'r MOS cyfan â haen o SiO2, fel y dangosir yn y ffigur isod:

Wrth gwrs, cynhyrchir y SiO2 hwn gan CVD, oherwydd ei fod yn gyflym iawn ac yn arbed amser. Dyma'r broses o osod ffotoresist a'i amlygu o hyd. Ar ôl y diwedd, mae'n edrych fel hyn.

Yna defnyddiwch y dull ysgythru i ysgythru twll ar y SiO2, fel y dangosir yn y rhan lwyd yn y ffigur isod. Mae dyfnder y twll hwn yn cyffwrdd yn uniongyrchol ag arwyneb y Si.

Yn olaf, tynnwch y ffotowrthwynebiad a chewch yr ymddangosiad canlynol.

Ar hyn o bryd, yr hyn sydd angen ei wneud yw llenwi'r dargludydd yn y twll hwn. O ran beth yw'r dargludydd hwn? Mae pob cwmni'n wahanol, mae'r rhan fwyaf ohonynt yn aloion twngsten, felly sut gellir llenwi'r twll hwn? Defnyddir y dull PVD (Dyddodiad Anwedd Corfforol), ac mae'r egwyddor yn debyg i'r ffigur isod.

Defnyddiwch electronau neu ïonau egni uchel i fomio'r deunydd targed, a bydd y deunydd targed sydd wedi torri yn cwympo i'r gwaelod ar ffurf atomau, gan ffurfio'r haen isod. Mae'r deunydd targed rydyn ni fel arfer yn ei weld yn y newyddion yn cyfeirio at y deunydd targed yma.
Ar ôl llenwi'r twll, mae'n edrych fel hyn.

Wrth gwrs, pan fyddwn ni'n ei lenwi, mae'n amhosibl rheoli trwch y cotio i fod yn union yr un fath â dyfnder y twll, felly bydd rhywfaint o ormodedd, felly rydym ni'n defnyddio technoleg CMP (Chemical Mechanical Polishing), sy'n swnio'n uchel iawn, ond mewn gwirionedd mae'n malu, yn malu'r rhannau gormodol i ffwrdd. Mae'r canlyniad fel hyn.

Ar y pwynt hwn, rydym wedi cwblhau cynhyrchu haen o via. Wrth gwrs, mae cynhyrchu via yn bennaf ar gyfer gwifrau'r haen fetel y tu ôl.

 

Cynhyrchu haenau metel:

O dan yr amodau uchod, rydym yn defnyddio PVD i dynnu haen arall o fetel. Aloi copr yw'r metel hwn yn bennaf.

Yna ar ôl amlygu ac ysgythru, cawn yr hyn a ddymunwn. Yna parhewch i bentyrru nes i ni ddiwallu ein hanghenion.

Pan fyddwn yn llunio'r cynllun, byddwn yn dweud wrthych faint o haenau o fetel a thrwy'r broses a ddefnyddir y gellir eu pentyrru ar y mwyaf, sy'n golygu faint o haenau y gellir eu pentyrru.
Yn olaf, cawn y strwythur hwn. Y pad uchaf yw pin y sglodion hwn, ac ar ôl ei becynnu, mae'n dod yn bin y gallwn ei weld (wrth gwrs, lluniais ef ar hap, nid oes unrhyw arwyddocâd ymarferol, dim ond er enghraifft).

Dyma'r broses gyffredinol o wneud sglodion. Yn y rhifyn hwn, dysgom am y dulliau pwysicaf o amlygu, ysgythru, mewnblannu ïonau, tiwbiau ffwrnais, CVD, PVD, CMP, ac ati mewn ffowndri lled-ddargludyddion.