Fàilte gu ar làrach-lìn airson fiosrachadh mu thoraidhean agus co-chomhairleachadh.
An làrach-lìn againn:https://www.vet-china.com/
Greanadh Poly agus SiO2:
Às dèidh seo, thèid an cus Poly agus SiO2 a ghràbhaladh air falbh, is e sin, a thoirt air falbh. Aig an àm seo, thèid stiùireadh a thoirt seachad.gràbhaladhga chleachdadh. Ann an seòrsachadh gràbhaladh, tha seòrsachadh ann de ghràbhaladh stiùiridh agus gràbhaladh neo-stiùiridh. Tha gràbhaladh stiùiridh a’ toirt iomradh airgràbhaladhann an taobh sònraichte, agus tha gràbhaladh neo-stiùiridh neo-stiùiridh (thuirt mi cus gun fhiosta. Ann an ùine ghoirid, is e SiO2 a thoirt air falbh ann an taobh sònraichte tro aigéid is bhunaitean sònraichte). San eisimpleir seo, bidh sinn a’ cleachdadh gràbhaladh sìos-stiùiridh gus SiO2 a thoirt air falbh, agus bidh e mar seo.
Mu dheireadh, thoir air falbh an dìon-foton. Aig an àm seo, chan e an dòigh air an dìon-foton a thoirt air falbh an gnìomh tro rèididheachd solais a chaidh ainmeachadh gu h-àrd, ach tro dhòighean eile, oir chan fheum sinn meud sònraichte a mhìneachadh aig an àm seo, ach an dìon-foton gu lèir a thoirt air falbh. Mu dheireadh, bidh e mar a chithear san fhigear a leanas.
San dòigh seo, tha sinn air an adhbhar a choileanadh a bhith a’ cumail àite sònraichte a’ Poly SiO2.
Cruthachadh an tùs agus an drèana:
Mu dheireadh, beachdaichidh sinn air mar a tha an stòr agus an drèana air an cruthachadh. Tha cuimhne aig a h-uile duine fhathast gun do bhruidhinn sinn mu dheidhinn san iris mu dheireadh. Tha an stòr agus an drèana air an cur a-steach le ian leis an aon seòrsa eileamaidean. Aig an àm seo, is urrainn dhuinn photoresist a chleachdadh gus an raon stòr/drèana fhosgladh far am feum an seòrsa N a bhith air a chur a-steach. Leis nach eil sinn a’ gabhail ach NMOS mar eisimpleir, thèid a h-uile pàirt san fhigear gu h-àrd fhosgladh, mar a chithear san fhigear a leanas.
Leis nach gabh am pàirt a tha còmhdaichte leis an photoresist a chur a-steach (tha an solas air a bhacadh), cha tèid eileamaidean seòrsa-N a chur a-steach ach air an NMOS a tha a dhìth. Leis gu bheil am bun-stuth fon poly air a bhacadh le poly agus SiO2, cha tèid a chur a-steach, agus mar sin bidh e mar seo.
Aig an ìre seo, chaidh modail MOS sìmplidh a dhèanamh. Ann an teòiridh, ma thèid bholtaids a chur ris an stòr, an drèana, am poly agus an t-substrate, faodaidh an MOS seo obrachadh, ach chan urrainn dhuinn dìreach probe a ghabhail agus bholtaids a chur ris an stòr agus an drèana gu dìreach. Aig an àm seo, tha feum air uèirleadh MOS, is e sin, air an MOS seo, ceangail uèirichean gus mòran MOS a cheangal ri chèile. Seallaidh sinn air a’ phròiseas uèirleadh.
A’ dèanamh VIA:
Is e a’ chiad cheum còmhdach a dhèanamh air an MOS gu lèir le sreath de SiO2, mar a chithear san fhigear gu h-ìosal:
Gu dearbh, tha an SiO2 seo air a thoirt gu buil le CVD, oir tha e gu math luath agus a’ sàbhaladh ùine. Seo mar a tha am pròiseas ann a bhith a’ cur photoresist agus ga nochdadh. Às dèidh a’ chrìoch, tha e coltach ri seo.
An uair sin cleachd an dòigh-ghràbhaidh gus toll a ghràbhadh air an SiO2, mar a chithear anns a’ phàirt liath san fhigear gu h-ìosal. Tha doimhneachd an tuill seo a’ beantainn gu dìreach ri uachdar an t-Si.
Mu dheireadh, thoir air falbh an photoresist agus faigh an coltas a leanas.
Aig an àm seo, is e an rud a dh’fheumar a dhèanamh an stiùiriche san toll seo a lìonadh. Dè a th’ anns an stiùiriche seo? Tha gach companaidh eadar-dhealaichte, is e aloidhean tungsten a’ mhòr-chuid dhiubh, mar sin ciamar as urrainnear an toll seo a lìonadh? Tha an dòigh PVD (Physical Vapor Deposition) ga chleachdadh, agus tha am prionnsapal coltach ris an fhigear gu h-ìosal.
Cleachd dealanan no ianan àrd-lùtha gus an stuth targaid a bhomadh, agus tuitidh an stuth targaid briste chun a’ bhonn ann an cruth dadaman, agus mar sin a’ cruthachadh a’ chòta gu h-ìosal. Tha an stuth targaid a chì sinn mar as trice anns na naidheachdan a’ toirt iomradh air an stuth targaid an seo.
Às dèidh an toll a lìonadh, tha e coltach ri seo.
Gu dearbh, nuair a lìonas sinn e, chan urrainn dhuinn smachd a chumail air tiughas a’ chòmhdaich gus a bhith dìreach co-ionann ri doimhneachd an tuill, agus mar sin bidh beagan cus ann, agus mar sin bidh sinn a’ cleachdadh teicneòlas CMP (Snasadh Meacanaigeach Ceimigeach), a tha a’ fuaimeachadh gu math àrd-inbhe, ach gu dearbh tha e a’ bleith, a’ bleith air falbh na pàirtean cus. Seo an toradh.
Aig an ìre seo, tha sinn air crìoch a chur air cinneasachadh sreath de via. Gu dearbh, tha cinneasachadh via sa mhòr-chuid airson uèirleadh an t-sreath meatailt air a chùlaibh.
Riochdachadh sreathan meatailt:
Fo na cumhaichean gu h-àrd, bidh sinn a’ cleachdadh PVD gus sreath eile de mheatailt a thoirt dheth. ’S e aloidh stèidhichte air copar a tha sa mheatailt seo sa mhòr-chuid.
An uairsin, às dèidh nochdadh agus gràbhaladh, gheibh sinn na tha sinn ag iarraidh. An uairsin cumaidh sinn oirnn a’ cruachadh gus am bi sinn a’ coinneachadh ris na feumalachdan againn.
Nuair a tharraingeas sinn an cruth, innsidh sinn dhut cia mheud sreath de mheatailt agus tron phròiseas a chaidh a chleachdadh as urrainn a chruachadh aig a’ char as motha, agus tha sin a’ ciallachadh cia mheud sreath a ghabhas a chruachadh.
Mu dheireadh, gheibh sinn an structar seo. ’S e am prìomh phloc prìne a’ chip seo, agus às dèidh a phacaigeadh, bidh e na phrìne a chì sinn (gu dearbh, tharraing mi e air thuaiream, chan eil cudromachd phractaigeach ann, dìreach mar eisimpleir).
Seo am pròiseas coitcheann airson sliseag a dhèanamh. Anns a’ chùis seo, dh’ionnsaich sinn mun nochdadh, gràbhaladh, implantachadh ian, tiùban àmhainn, CVD, PVD, CMP, msaa. as cudromaiche ann an obair-lannsa leth-chonnsachaidh.
Àm puist: 23 Lùnastal 2024