Dè a th’ ann an còmhdach TaC?

Anns a’ ghnìomhachas leth-chonnsachaidh a tha ag atharrachadh gu luath, tha stuthan a leasaicheas coileanadh, seasmhachd agus èifeachdas deatamach. Is e aon ùr-ghnàthachadh den leithid còmhdach Tantalum Carbide (TaC), còmhdach dìon ùr-nodha a chuirear air co-phàirtean grafait. Tha am blog seo a’ sgrùdadh mìneachadh còmhdach TaC, buannachdan teicnigeach, agus na tagraidhean cruth-atharrachail aige ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh.

Glacadair wafer le còmhdach TaC

 

Ⅰ. Dè a th’ ann an còmhdach TaC?

 

'S e còmhdach ceirmeag àrd-choileanaidh a th' ann an còmhdach TaC air a dhèanamh suas de thantalum carbide (measgachadh de thantalum agus carbon) air a thasgadh air uachdaran grafait. Mar as trice, bidh an còmhdach air a chur an sàs le bhith a’ cleachdadh dhòighean Chemical Vapor Deposition (CVD) no Physical Vapor Deposition (PVD), a’ cruthachadh bacadh dùmhail, fìor-ghlan a dhìonas grafait bho shuidheachaidhean anabarrach.

 

Prìomh fheartan còmhdach TaC

 

Seasmhachd Teòthachd ÀrdA’ seasamh an aghaidh teòthachd os cionn 2200°C, a’ coileanadh nas fheàrr na stuthan traidiseanta leithid silicon carbide (SiC), a bhios a’ crìonadh os cionn 1600°C.

Frith-sheasmhachd CheimigeachA’ seasamh an aghaidh creimeadh bho haidridean (H₂), ammonia (NH₃), ceò silicon, agus meatailtean leaghte, rud a tha deatamach ann an àrainneachdan giullachd leth-chonnsachaidh.

Purrachd Ultra-ÀrdÌrean neo-ghlainead fo 5 ppm, a’ lughdachadh chunnartan truailleadh ann am pròiseasan fàis criostail.

Seasmhachd teirmeach is meacanaigeachTha greamachadh làidir ri grafait, leudachadh teirmeach ìosal (6.3 × 10⁻⁶/K), agus cruas (~ 2000 HK) a’ dèanamh cinnteach à fad-beatha fo chearcall teirmeach.

Ⅱ. Còmhdach TaC ann an Saothrachadh Leth-sheoltairean: Prìomh Thagraidhean

 

Tha co-phàirtean grafait còmhdaichte le TaC riatanach ann an saothrachadh leth-chonnsachaidh adhartach, gu sònraichte airson innealan silicon carbide (SiC) agus gallium nitride (GaN). Seo na cùisean cleachdaidh èiginneach aca:

 

1. Fàs criostail singilte SiC

Tha uaifearan SiC deatamach airson electronics cumhachd agus carbadan dealain. Bithear a’ cleachdadh crogain grafait agus glacadairean còmhdaichte le TaC ann an siostaman Còmhdhail Smùid Corporra (PVT) agus CVD Teòthachd Àrd (HT-CVD) gus:

● Cuir bacadh air truailleadhTha susbaint neo-ghlainead ìosal TaC (me, boron <0.01 ppm an aghaidh 1 ppm ann an grafait) a’ lughdachadh lochdan ann an criostalan SiC, a’ leasachadh strì an aghaidh uabhar (4.5 ohm-cm an aghaidh 0.1 ohm-cm airson grafait gun chòmhdach).

● Leasaich Riaghladh TeirmeachBidh sgaoileadh cunbhalach (0.3 aig 1000°C) a’ dèanamh cinnteach à sgaoileadh teas cunbhalach, a’ leasachadh càileachd criostail.

 

2. Fàs Epitaxial (GaN/SiC)

Ann an reactaran CVD Meatailt-Organach (MOCVD), co-phàirtean còmhdaichte le TaC leithid luchd-giùlain wafer agus in-stealladh:

Casg a chur air ath-bhualaidhean gasA’ seasamh an aghaidh gràbhaladh le ammonia agus haidridean aig 1400°C, a’ cumail slàn an reactar.

Leasaich ToradhLe bhith a’ lughdachadh rùsgadh mìrean bho ghrafait, bidh còmhdach CVD TaC a’ lughdachadh lochdan ann an sreathan epitaxial, rud a tha deatamach airson LEDs àrd-choileanaidh agus innealan RF.

 Glacadair truinnsear còmhdaichte le CVD TaC

3. Tagraidhean Leth-sheoltairean Eile

Reactaran Teòthachd ÀrdBidh luchd-gabhail agus teasadairean ann an cinneasachadh GaN a’ faighinn buannachd bho sheasmhachd TaC ann an àrainneachdan beairteach ann an haidridean.

Làimhseachadh WaferBidh co-phàirtean còmhdaichte mar fhàinneachan agus mullaichean a’ lughdachadh truailleadh meatailteach rè gluasad wafer

 

Ⅲ. Carson a tha còmhdach TaC nas fheàrr na roghainnean eile?

 

Tha coimeas le stuthan àbhaisteach a’ sealltainn cho math sa tha TaC:

Seilbh Còmhdach TaC Còmhdach SiC Grafait Lom
Teòthachd as àirde >2200°C <1600°C ~2000°C (le crìonadh)
Ìre Greabaidh ann an NH₃ 0.2 µm/uair 1.5 µm/uair Chan eil ri fhaighinn
Ìrean Neo-ghlainead <5 ppm Nas àirde 260 ppm ogsaidean
Seasmhachd Clisgeadh Teirmeach Sàr-mhath Meadhanach Bochd

Dàta air a thoirt bho choimeasan gnìomhachais

 

IV. Carson a thaghas tu VET?

 

Às dèidh tasgadh leantainneach ann an rannsachadh is leasachadh teicneòlais,VETPàirtean còmhdaichte le Tantalum carbide (TaC), leithidFàinne treòrachaidh grafait còmhdaichte le TaC, Glacadair plàta còmhdaichte le CVD TaC, Glacadair còmhdaichte le TaC airson uidheam epitaxy,Stuth grafait porous còmhdaichte le carbide tantalumagusGlacadair wafer le còmhdach TaC, tha iad glè chumanta ann am margaidhean na Roinn Eòrpa agus Ameireagaidh. Tha VET a’ coimhead air adhart gu dùrachdach ri bhith nad chom-pàirtiche fad-ùine.

Pàirt Leth-ghealach Ìosal Còmhdaichte le TaC


Àm puist: 10 Giblean 2025
Còmhradh air-loidhne WhatsApp!