ሴሚኮንዳክተር ሂደት ፍሰት-Ⅱ

ለምርት መረጃ እና ምክክር ወደ ድህረ ገጻችን እንኳን በደህና መጡ።

የእኛ ድረ-ገጽ፡-https://www.vet-china.com/

 

የፖሊ እና ሲኦ2 ማሳከክ፡

ከዚህ በኋላ, ትርፍ ፖሊ እና SiO2 ተቀርፈዋል, ማለትም, ተወግደዋል. በዚህ ጊዜ, አቅጣጫዊማሳከክጥቅም ላይ ይውላል. በ Etching ምደባ ውስጥ, የአቅጣጫ እና ያልተመጣጣኝ እከክ ምደባ አለ. የአቅጣጫ ማሳከክን ያመለክታልማሳከክበተወሰነ አቅጣጫ, ያለአቅጣጫ ማሳከክ (በአጋጣሚ በጣም ብዙ ተናገርኩኝ. በአጭሩ, SiO2 ን በተወሰኑ አሲዶች እና መሠረቶች በኩል ማስወገድ ነው). በዚህ ምሳሌ፣ SiO2 ን ለማስወገድ ወደ ታች አቅጣጫ ማሳከክን እንጠቀማለን እና እንደዚህ ይሆናል።

በመጨረሻም, የፎቶ መከላከያውን ያስወግዱ. በዚህ ጊዜ, photoresist የማስወገድ ዘዴ ከላይ በተጠቀሰው ብርሃን irradiation በኩል ማግበር አይደለም, ነገር ግን ሌሎች ዘዴዎች አማካኝነት, በዚህ ጊዜ የተወሰነ መጠን መግለጽ አያስፈልገንም, ነገር ግን ሁሉ photoresist ለማስወገድ. በመጨረሻም, በሚከተለው ምስል ላይ እንደሚታየው ይሆናል.

በዚህ መንገድ የፖሊ SiO2 የተወሰነ ቦታን የማቆየት አላማ ላይ ደርሰናል።

 

የፍሳሽ እና ምንጭ መፈጠር;

በመጨረሻም, ምንጩ እና ፍሳሽ እንዴት እንደሚፈጠሩ እናስብ. ባለፈው እትም ላይ ስለእሱ እንደተነጋገርን ሁሉም ሰው አሁንም ያስታውሳል. ምንጩ እና ማፍሰሻው በ ion-የተተከሉ ተመሳሳይ ንጥረ ነገሮች ናቸው. በዚህ ጊዜ, የ N አይነት መትከል ያለበትን ምንጭ / ፍሳሽ ቦታ ለመክፈት photoresist ን መጠቀም እንችላለን. NMOSን እንደ ምሳሌ ብቻ ስለምንወስድ በሚከተለው ምስል ላይ እንደሚታየው ከላይ ባለው ሥዕል ውስጥ ያሉት ሁሉም ክፍሎች ይከፈታሉ.

በፎቶሪሲስት የተሸፈነው ክፍል ሊተከል ስለማይችል (መብራቱ ታግዷል), የኤን-አይነት ንጥረ ነገሮች በሚፈለገው NMOS ላይ ብቻ እንዲተከሉ ይደረጋል. በፖሊው ስር ያለው ንጣፍ በፖሊ እና በሲኦ2 የታገደ ስለሆነ አይተከልም, ስለዚህ እንደዚህ ይሆናል.

በዚህ ጊዜ ቀላል የ MOS ሞዴል ተሠርቷል. በንድፈ ሀሳብ, ቮልቴጅ ወደ ምንጭ, ፍሳሽ, ፖሊ እና ንጣፍ ከተጨመረ, ይህ MOS ሊሠራ ይችላል, ነገር ግን መፈተሻ ወስደን ቮልቴጅ በቀጥታ ወደ ምንጭ እና ፍሳሽ መጨመር አንችልም. በዚህ ጊዜ የ MOS ሽቦ ያስፈልጋል, ማለትም በዚህ MOS ላይ, ብዙ MOSን አንድ ላይ ለማገናኘት ገመዶችን ያገናኙ. የወልና ሒደቱን እንመልከት።

 

VIA መስራት፡-

የመጀመሪያው እርምጃ ከታች ባለው ስእል እንደሚታየው ሙሉውን MOS በ SiO2 ንብርብር መሸፈን ነው፡-

በእርግጥ ይህ SiO2 በሲቪዲ የተሰራ ነው, ምክንያቱም በጣም ፈጣን እና ጊዜን ይቆጥባል. የሚከተለው አሁንም የፎቶ ተከላካይ የመትከል እና የማጋለጥ ሂደት ነው። ከመጨረሻው በኋላ, ይህን ይመስላል.

ከዚያም ከታች ባለው ስእል ላይ በግራጫው ክፍል ላይ እንደሚታየው በ SiO2 ላይ ቀዳዳ ለመቅረጽ የማሳያ ዘዴን ይጠቀሙ. የዚህ ጉድጓድ ጥልቀት ከሲ ወለል ጋር በቀጥታ ይገናኛል.

በመጨረሻም የፎቶ መከላከያውን ያስወግዱ እና የሚከተለውን መልክ ያግኙ.

በዚህ ጊዜ መደረግ ያለበት በዚህ ጉድጓድ ውስጥ መሪውን መሙላት ነው. ይህ መሪ ምንድን ነው? እያንዳንዱ ኩባንያ የተለየ ነው, አብዛኛዎቹ የ tungsten alloys ናቸው, ስለዚህ ይህ ጉድጓድ እንዴት መሙላት ይቻላል? የ PVD (አካላዊ የእንፋሎት ማጠራቀሚያ) ዘዴ ጥቅም ላይ ይውላል, እና መርሆው ከታች ካለው ስእል ጋር ተመሳሳይ ነው.

ከፍተኛ ኃይል ያላቸውን ኤሌክትሮኖች ወይም ionዎችን በመጠቀም የታለመውን ቁሳቁስ ቦምብ ለማፈንዳት ይጠቀሙ እና የተሰበረው የዒላማ ቁሳቁስ በአተሞች መልክ ወደ ታች ይወድቃል እና ከታች ያለውን ሽፋን ይፈጥራል. ብዙውን ጊዜ በዜና ውስጥ የምናየው የዒላማ ቁሳቁስ እዚህ ላይ የታለመውን ነገር ያመለክታል.
ጉድጓዱን ከሞላ በኋላ, ይህን ይመስላል.

እርግጥ ነው, እኛ በምንሞላበት ጊዜ, የሽፋኑን ውፍረት በትክክል ከጉድጓዱ ጥልቀት ጋር እኩል መሆንን ለመቆጣጠር የማይቻል ነው, ስለዚህ የተወሰነ ትርፍ ይኖራል, ስለዚህ የሲኤምፒ (የኬሚካል ሜካኒካል ፖሊሽንግ) ቴክኖሎጂን እንጠቀማለን, ይህም በጣም ከፍተኛ ድምጽ ይሰማል, ነገር ግን በትክክል መፍጨት, ከመጠን በላይ ክፍሎችን እየፈጨ ነው. ውጤቱም ይህን ይመስላል።

በዚህ ጊዜ የቪያ ንብርብር ማምረት ጨርሰናል. እርግጥ ነው, የቪያ ማምረት በዋናነት ከኋላ ያለውን የብረት ንብርብር ለመገጣጠም ነው.

 

የብረት ንብርብር ማምረት;

ከላይ በተጠቀሱት ሁኔታዎች ውስጥ, ሌላ የብረት ንብርብር ለማጥለቅ PVD እንጠቀማለን. ይህ ብረት በዋናነት በመዳብ ላይ የተመሰረተ ቅይጥ ነው.

ከዚያም ከተጋለጡ እና ከቆሸሸ በኋላ የምንፈልገውን እናገኛለን. ከዚያም ፍላጎታችንን እስክንያሟላ ድረስ መደራረብዎን ይቀጥሉ.

አቀማመጡን በምንሳልበት ጊዜ ምን ያህል ብረቶች እና በጥቅም ላይ በሚውለው ሂደት ውስጥ ቢበዛ ሊደረደሩ እንደሚችሉ እንነግርዎታለን, ይህም ማለት ምን ያህል ንብርብሮች ሊደረደሩ እንደሚችሉ ነው.
በመጨረሻም, ይህንን መዋቅር እናገኛለን. የላይኛው ፓድ የዚህ ቺፕ ፒን ነው, እና ከማሸጊያው በኋላ, እኛ የምናየው ፒን ይሆናል (በእርግጥ, በዘፈቀደ ሣልኩት, ምንም ተግባራዊ ጠቀሜታ የለም, ለምሳሌ).

ይህ ቺፕ የማድረግ አጠቃላይ ሂደት ነው. በዚህ እትም ውስጥ ሴሚኮንዳክተር ፋውንዴሪ ውስጥ በጣም አስፈላጊ መጋለጥ, etching, ion implantation, ምድጃ ቱቦዎች, ሲቪዲ, PVD, CMP, ወዘተ በተመለከተ ተምረናል.