የግራፋይት ቁሳቁስ መስፈርቶች ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ መስፈርቶች በተለይ ከፍተኛ ናቸው፣ የግራፋይት ጥቃቅን ቅንጣት መጠን ከፍተኛ ትክክለኛነት፣ ከፍተኛ የሙቀት መቋቋም፣ ከፍተኛ ጥንካሬ፣ አነስተኛ ኪሳራ እና ሌሎች ጥቅሞች አሉት፣ ለምሳሌ፡ የተነጠፈ የግራፋይት ምርቶች ሻጋታ።በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት የግራፋይት መሳሪያዎች (ማሞቂያዎችን እና የተሰነጠቁትን ዳይሶቻቸውን ጨምሮ) ተደጋጋሚ የማሞቂያ እና የማቀዝቀዣ ሂደቶችን መቋቋም ስለሚያስፈልጋቸው፣ የግራፋይት መሳሪያዎችን የአገልግሎት ዘመን ለማራዘም፣ ጥቅም ላይ የዋሉት የግራፋይት ቁሳቁሶች የተረጋጋ አፈፃፀም እና ሙቀትን የሚቋቋም የውጤት ተግባር እንዲኖራቸው ያስፈልጋል።
01 ለሴሚኮንዳክተር ክሪስታል እድገት የግራፋይት መለዋወጫዎች
ሴሚኮንዳክተር ክሪስታሎችን ለማልማት የሚያገለግሉ ሁሉም ሂደቶች በከፍተኛ ሙቀት እና ዝገት አካባቢ ውስጥ ይሰራሉ። የክሪስታል እድገት ምድጃ ሞቃታማ ዞን ብዙውን ጊዜ እንደ ማሞቂያ፣ ክሩሲብል፣ የኢንሱሌሽን ሲሊንደር፣ የመመሪያ ሲሊንደር፣ ኤሌክትሮድ፣ የክሩሲብል መያዣ፣ ኤሌክትሮድ ነት፣ ወዘተ ያሉ ሙቀትን የሚቋቋም እና ዝገት የሚቋቋም ከፍተኛ ንፁህ የግራፋይት ክፍሎች የተገጠመለት ነው።
ሁሉንም የክሪስታል ማምረቻ መሳሪያዎች የግራፋይት ክፍሎች ማምረት እንችላለን፣ እነዚህም በተናጥል ወይም በስብስብ ሊቀርቡ ይችላሉ፣ ወይም እንደ ደንበኛ መስፈርቶች የተለያዩ መጠኖች ያላቸው ብጁ የግራፋይት ክፍሎችን ማምረት እንችላለን። የምርቶቹ መጠን በቦታው ላይ ሊለካ ይችላል፣ እና የተጠናቀቁ ምርቶች የአመድ ይዘት ያነሰ ሊሆን ይችላል።ከ 5ppm በላይ።
02 ለሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲ የሚሆን የግራፋይት መለዋወጫዎች
የኤፒታክሲያል ሂደት የሚያመለክተው በነጠላ ክሪስታል ንጣፍ ላይ ካለው ንጣፍ ጋር ተመሳሳይ የሆነ የላቲስ ዝግጅት ያለው የአንድ ክሪስታል ቁሳቁስ ንብርብር እድገትን ነው። በኤፒታክሲያል ሂደት ውስጥ ዋፈር በግራፍይት ዲስክ ላይ ይጫናል። የግራፊት ዲስክ አፈጻጸም እና ጥራት በዋፈር ኤፒታክሲያል ንብርብር ጥራት ላይ ወሳኝ ሚና ይጫወታሉ። በኤፒታክሲያል ምርት መስክ ውስጥ ብዙ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ያለው ግራፋይት እና ከፍተኛ ንፅህና ያለው የግራፊክስ መሰረት ከ SIC ሽፋን ጋር ያስፈልጋሉ።
የኩባንያችን የሴሚኮንዳክተር ኤፒታክሲ ግራፋይት መሰረት ሰፊ አፕሊኬሽኖች ያሉት ሲሆን በኢንዱስትሪው ውስጥ በብዛት ጥቅም ላይ ከሚውሉት መሳሪያዎች ጋር ሊጣጣም የሚችል ሲሆን ከፍተኛ ንፅህና፣ ወጥ የሆነ ሽፋን፣ እጅግ በጣም ጥሩ የአገልግሎት ዘመን እና ከፍተኛ የኬሚካል መቋቋም እና የሙቀት መረጋጋት አለው።
03 ለአይዮን ተከላ የግራፋይት መለዋወጫዎች
የአዮን ተከላ ማለት የቦሮን፣ የፎስፈረስ እና የአርሴኒክ የፕላዝማ ጨረርን ወደ አንድ የተወሰነ ኃይል የማፋጠን ሂደትን ያመለክታል፣ ከዚያም የገጽታ ንብርብር የቁሳቁስ ባህሪያትን ለመቀየር ወደ ዋፈር ቁሳቁስ ወለል ንብርብር ውስጥ በመርፌ ማስገባት። የአዮን ተከላ መሳሪያው ክፍሎች እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት መቋቋም፣ የሙቀት አማቂነት፣ በአዮን ጨረር ምክንያት የሚፈጠር ዝገት አነስተኛ እና ዝቅተኛ ርኩሰት ይዘት ካላቸው ከፍተኛ ንፅህና ቁሳቁሶች የተሠሩ መሆን አለባቸው። ከፍተኛ ንፅህና ያለው ግራፋይት የአጠቃቀም መስፈርቶችን ያሟላል፣ እና ለበረራ ቱቦ፣ ለተለያዩ ክፍተቶች፣ ኤሌክትሮዶች፣ የኤሌክትሮድ ሽፋኖች፣ ቱቦዎች፣ የጨረር ተርሚናተሮች፣ ወዘተ. ለአዮን ተከላ መሳሪያዎች ሊያገለግል ይችላል።
ለተለያዩ የአዮን ተከላ ማሽኖች የግራፋይት መከላከያ ሽፋን ብቻ ሳይሆን ከፍተኛ ንፁህ የሆኑ የግራፋይት ኤሌክትሮዶችን እና የተለያዩ ዝርዝሮችን የሚያሟሉ ከፍተኛ የዝገት መቋቋም ያላቸውን የአዮን ምንጮችን እናቀርባለን። የሚመለከታቸው ሞዴሎች፡ ኢቶን፣ አዝሴሊስ፣ ኳተም፣ ቫሪያን፣ ኒሲን፣ ኤኤምኤቲ፣ ኤልኤኤም እና ሌሎች መሳሪያዎች። በተጨማሪም፣ የሚዛመዱ የሴራሚክ፣ የቱንግስተን፣ የሞሊብዴነም፣ የአሉሚኒየም ምርቶችን እና የተሸፈኑ ክፍሎችን ማቅረብ እንችላለን።
04 የግራፋይት መከላከያ ቁሳቁሶች እና ሌሎችም
በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ የሙቀት መከላከያ ቁሳቁሶች ግራፋይት ጠንካራ ፌልት፣ ለስላሳ ፌልት፣ ግራፋይት ፎይል፣ ግራፋይት ወረቀት እና ግራፋይት ገመድ ያካትታሉ።
ሁሉም ጥሬ እቃዎቻችን ከውጭ የሚገቡ ግራፋይት ሲሆኑ፣ ይህም እንደ ደንበኛው ፍላጎት መጠን ሊቆረጥ ወይም በአጠቃላይ ሊሸጥ ይችላል።
የካርቦን-ካርቦን ትሪ በፀሐይ ሞኖክሪስታሊን ሲሊከን እና ፖሊክሪስታሊን ሲሊከን ሴሎች ምርት ሂደት ውስጥ ለፊልም ሽፋን እንደ ተሸካሚ ሆኖ ያገለግላል። የሥራ መርህ፡- የሲሊኮን ቺፑን በሲኤፍሲ ትሪ ውስጥ ያስገቡ እና የፊልም ሽፋኑን ለማስኬድ ወደ ምድጃ ቱቦ ይላኩት።
