ለሲሲ ኤፒታክሲያል እድገት የላቀ የሲቪዲ ሽፋኖች

በከፍተኛ የሙቀት ጫና (1500°ሴ - 1700°ሴ) ውስጥ ለሚሰሩ ከፍተኛ ኃይል ላላቸው የሴሚኮንዳክተር መሳሪያ ሂደቶች የተበጀው የእኛ የሲቪዲ ሲሲ እና የታሲ ሽፋን ያላቸው የፕላኔቶች ተከላካይ፣ የሳተላይት ዲስኮች እና የጋዝ ዴፍለሮች እጅግ በጣም ጥሩ እንዲሆኑ የተገነቡ ናቸው። የክፍተት ማመንጨትን፣ የገጽታ መበላሸትን እና ምላሽ ሰጪ የጋዝ መቅረጽን ለመከላከል የተነደፉ (H₂፣ SiH₄፣ C₃H∯)፣ የላቁ ሽፋኖቻችን ረጅም የስራ ዘመን፣ የላቀ የዶፓንት ቁጥጥር እና ከፍተኛ የፊልም ውፍረት ወጥነት ያረጋግጣሉ።ባለ 6 ኢንች እና ባለ 8 ኢንች SiC ኤፒታክሲያል ዋፈሮች.