ለሲሊኮን ኤፒታክሲ (ሲኢ ኤፒ) የሲቪዲ ሲሲ የተሸፈኑ ክፍሎች

ለነጠላ-ዋፈር እና ለባች ሲሊኮን ኤፒታክሲያል ዲፖዚሽን ሲስተሞች በትክክል የተቀረፀው የእኛ የሲቪዲ ሲሲ ሽፋን ያላቸው ተከላካይ ሰሳዎች፣ የሳተላይት ዲስኮች እና የሙቀት መስክ ክፍሎች እጅግ በጣም ጥሩ የሙቀት ወጥነት እና ዜሮ ጋዝ መመንጠርን ይሰጣሉ። ከፍተኛ ጥግግት ያለው ኩቢክ β-SiC ሽፋን ንብርብር ከፍተኛ ንፁህ የሆነውን የግራፋይት ንጣፍ ሙሉ በሙሉ ይሸፍናል፣ ምላሽ ሰጪ የጋዝ መቅላትን ይከላከላል (SiH₄፣ SiH₂Cl₂፣ HCl) እና በከፍተኛ ሙቀት Si Epi ሂደት (1000°C - 1200°C) ወቅት እጅግ በጣም ዝቅተኛ የብረታ ብረት ብክለት ደረጃዎችን (< 5 ppm) ያረጋግጣል።