ਕੇਸ ਸਟੱਡੀ: ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲਾਂ ਨਾਲ CZ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪੁਲਿੰਗ ਉਪਜ ਅਤੇ ਉਮਰ ਵਧਾਉਣਾ

ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਲੀਡ:ਡਾ. ਮਾਰਕਸ ਅਤੇ VET ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਸਮੱਗਰੀ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਟੀਮ ਤਕਨੀਕੀ ਰਿਪੋਰਟ:VET ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਸਮੱਗਰੀ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਕੇਸ ਅਧਿਐਨ (ਰਿਪੋਰਟ ਨੰ: VET-CS-2025-SAG04)

ਕਾਰਜਕਾਰੀ ਸਾਰ ਅਤੇ ਪ੍ਰੋਜੈਕਟ ਸੰਖੇਪ ਜਾਣਕਾਰੀ ਉਦਯੋਗ:ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਅਤੇ ਫੋਟੋਵੋਲਟੇਇਕ ਵੇਫਰ ਨਿਰਮਾਣ ਗਾਹਕ:ਐਸ-ਏਜੀ (ਮੋਹਰੀ 300mm ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਵੇਫਰ ਨਿਰਮਾਤਾ, ਜਰਮਨੀ) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ:ਜ਼ੋਚਰਾਲਸਕੀ (CZ) 12-ਇੰਚ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪੁਲਿੰਗ ਹੱਲ:ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਵਾਲੀ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ (ਐਸ਼ < 5 ਪੀਪੀਐਮ) + 5-ਐਕਸਿਸ ਪ੍ਰੀਸੀਜ਼ਨ ਸੀਐਨਸੀ ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ + ਐਫਈਏ ਥਰਮਲ ਮਾਡਲਿੰਗ ਮਾਤਰਾਤਮਕ ਨਤੀਜੇ:ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪੁਲਿੰਗ ਯੀਲਡ ਵਿੱਚ 14.2% ਦਾ ਵਾਧਾ ਹੋਇਆ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਕਾਲ 25% ਵਧੀ, ਅਤੇ ਪਿਘਲਣ ਵਾਲੀ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਦੂਸ਼ਣ ਉਦਯੋਗ ਦੇ ਮਿਆਰਾਂ ਦੇ ਅਧਾਰ ਤੋਂ ਹੇਠਾਂ ਘਟੀ।

ਜ਼ੋਕ੍ਰਾਲਸਕੀ (CZ) ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਾਧੇ ਵਿੱਚ, ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਰੂਸੀਬਲ ਅਤੇ ਪਿਘਲੇ ਹੋਏ ਸਿਲੀਕਾਨ (>1,450°C) ਦਾ ਸਮਰਥਨ ਕਰਨ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਾਇਮਰੀ ਲੋਡ-ਬੇਅਰਿੰਗ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਕੰਡਕਸ਼ਨ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਵਜੋਂ ਕੰਮ ਕਰਦਾ ਹੈ। ਇਸਦੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਪ੍ਰਦਰਸ਼ਨ ਸਿੱਧੇ ਤੌਰ 'ਤੇ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਖਿੱਚਣ ਦੀ ਉਪਜ ਅਤੇ ਬਿਜਲੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਨੂੰ ਨਿਰਧਾਰਤ ਕਰਦੇ ਹਨ। ਰਵਾਇਤੀ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਸਮੱਗਰੀ ਅਕਸਰ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਰੂਸੀਬਲ ਵਿਗਾੜ, ਧਾਤ ਦੀ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਫੈਲਾਅ, ਅਤੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਿਘਲਣ ਵਾਲੇ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਦੀ ਹੈ। ਇਹ ਕੇਸ ਅਧਿਐਨ ਵੇਰਵਾ ਦਿੰਦਾ ਹੈ ਕਿ ਕਿਵੇਂ VET ਦੀ ਸੀਨੀਅਰ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਟੀਮ ਨੇ S-AG (ਜਰਮਨੀ) ਲਈ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲਾਂ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਕੀਤਾ, ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਲਾਗਤ ਕੁਸ਼ਲਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕਰਨ ਲਈ ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਉੱਚ ਤਾਪਮਾਨਾਂ ਦੇ ਅਧੀਨ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਚੁਣੌਤੀਆਂ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕੀਤਾ।

ਚਿੱਤਰ 1: ਜ਼ੋਚਰਾਲਸਕੀ (CZ) ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਪੁਲਿੰਗ ਫਰਨੇਸ ਦੇ ਅੰਦਰ VET ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦਾ ਇੰਸਟਾਲੇਸ਼ਨ ਚਿੱਤਰ

ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ CZ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵਿੱਚ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਪ੍ਰਦੂਸ਼ਣ ਅਤੇ ਨੁਕਸ ਨੂੰ ਕਿਵੇਂ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ

ਮੁੱਖ ਸਿੱਟਾ: 5 ਪੀਪੀਐਮ ਤੋਂ ਘੱਟ ਸੁਆਹ ਸਮੱਗਰੀ ਵਾਲੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਿਘਲਣ ਵਿੱਚ ਟਰੇਸ ਮੈਟਲ ਤੱਤ ਦੇ ਪ੍ਰਸਾਰ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਰੋਕਦੇ ਹਨ, ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ ਦਰਾਂ ਨੂੰ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਤੌਰ 'ਤੇ ਘਟਾਉਂਦੇ ਹਨ ਅਤੇ ਘੱਟ ਗਿਣਤੀ ਕੈਰੀਅਰ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਨੂੰ ਵਧਾਉਂਦੇ ਹਨ।

1. ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਗਾਹਕ ਦੇ ਦਰਦ ਦੇ ਨੁਕਤੇ

ਜਰਮਨੀ ਵਿੱਚ ਆਪਣੇ ਫੈਬ ਵਿੱਚ 12-ਇੰਚ (300mm) ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ-ਗ੍ਰੇਡ CZ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪੁਲਿੰਗ ਫਰਨੇਸ ਚਲਾਉਂਦੇ ਸਮੇਂ, ਗਾਹਕ S-AG ਨੂੰ ਇੰਗੋਟ ਮਾਈਨੋਰਟੀ ਕੈਰੀਅਰ ਲਾਈਫਟਾਈਮ ਵਿੱਚ ਭਾਰੀ ਗਿਰਾਵਟ ਅਤੇ ਉੱਚੇ ਕਿਨਾਰੇ ਦੇ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ ਦਰਾਂ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨਾ ਪਿਆ। ਜਾਂਚ ਤੋਂ ਪਤਾ ਲੱਗਾ ਕਿ ਰਵਾਇਤੀ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲਾਂ ਦੇ ਅੰਦਰ ਸੁਆਹ ਦੀਆਂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ (B, Fe, Cu) 1,450°C ਤੋਂ ਉੱਪਰ ਤਾਪਮਾਨ 'ਤੇ ਲਗਾਤਾਰ ਖਿੱਚਣ ਦੌਰਾਨ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੀਆਂ ਕੰਧਾਂ ਵਿੱਚ ਪ੍ਰਵੇਸ਼ ਕਰਦੀਆਂ ਸਨ। ਇਹ ਦੂਸ਼ਿਤ ਪਦਾਰਥ ਸਿੱਧੇ ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਿਘਲਣ ਵਿੱਚ ਫੈਲ ਜਾਂਦੇ ਸਨ, ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਢਾਂਚੇ ਦੀ ਇਕਸਾਰਤਾ ਨੂੰ ਵਿਗਾੜਦੇ ਸਨ ਅਤੇ ਵੇਫਰਾਂ ਨੂੰ SEMI C12 ਅਤੇ ISO 9001 ਗੁਣਵੱਤਾ ਮਿਆਰਾਂ ਨੂੰ ਪੂਰਾ ਕਰਨ ਤੋਂ ਰੋਕਦੇ ਸਨ।

2. ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਹੱਲ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਾਗੂਕਰਨ

VET ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਟੀਮ ਨੇ ਉੱਚ-ਘਣਤਾ ਵਾਲੇ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਪ੍ਰਦਾਨ ਕੀਤੇ ਜਿਨ੍ਹਾਂ ਨੂੰ ਡੂੰਘੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਹੈਲੋਜਨ ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧੀਕਰਨ ਦੇ ਅਧੀਨ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ:

• ਸਮੱਗਰੀ ਦੀ ਚੋਣ ਅਤੇ ਡੂੰਘੀ ਸ਼ੁੱਧੀਕਰਨ:ਬਰੀਕ-ਅਨਾਜ (ਅਨਾਜ ਦਾ ਆਕਾਰ ≤ 8 μm) ਅਤੇ ਉੱਚ-ਘਣਤਾ (≥ 1.85 g/cm³) ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਨੂੰ 72-ਘੰਟੇ ਦੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਵਾਲੇ ਹੈਲੋਜਨ ਗੈਸ ਚੱਕਰ ਦੌਰਾਨ ਇੱਕ ਵੈਕਿਊਮ ਭੱਠੀ ਵਿੱਚ ਸ਼ੁੱਧ ਕੀਤਾ ਗਿਆ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਕੁੱਲ ਸੁਆਹ ਦੀ ਮਾਤਰਾ 5 ਪੀਪੀਐਮ ਤੋਂ ਘੱਟ ਗਈ।
• GDMS ਬੈਚ ਟੈਸਟਿੰਗ:ਹਾਈ-ਰੈਜ਼ੋਲਿਊਸ਼ਨ ਗਲੋ ਡਿਸਚਾਰਜ ਮਾਸ ਸਪੈਕਟ੍ਰੋਮੈਟਰੀ (GDMS) ਦੀ ਵਰਤੋਂ ਮੁੱਖ ਧਾਤ ਦੀਆਂ ਅਸ਼ੁੱਧੀਆਂ ਦਾ ਬੈਚ-ਦਰ-ਬੈਚ ਨਿਰੀਖਣ ਕਰਨ ਲਈ ਕੀਤੀ ਗਈ ਸੀ, ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਕਿ ਕੋਰ ਦੂਸ਼ਿਤ ਤੱਤਾਂ ਨੂੰ ppb ਪੱਧਰ ਤੱਕ ਘਟਾ ਦਿੱਤਾ ਗਿਆ ਸੀ (ਹੇਠਾਂ ਡੇਟਾ ਸਾਰਣੀ ਵੇਖੋ)।

ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਤੱਤ	ਰਵਾਇਤੀ ਐਕਸਟਰੂਡਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ	VET ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲਾ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ	S-AG ਸਟੈਂਡਰਡ (SEMI C12)
ਕੁੱਲ ਸੁਆਹ	≈ 150 ਪੀਪੀਐਮ	< 3.8 ਪੀਪੀਐਮ	< 5.0 ਪੀਪੀਐਮ
ਲੋਹਾ (Fe)	12.5 ਪੀਪੀਐਮ	18 ਪੀਪੀਬੀ	< 50 ਪੀਪੀਬੀ
ਤਾਂਬਾ (Cu)	3.2 ਪੀਪੀਐਮ	< 5 ਪੀਪੀਬੀ	< 10 ਪੀਪੀਬੀ
ਬੋਰਾਨ (ਬੀ)	1.8 ਪੀਪੀਐਮ	12 ਪੀਪੀਬੀ	< 20 ਪੀਪੀਬੀ
ਨਿੱਕਲ (ਨੀ)	4.1 ਪੀਪੀਐਮ	15 ਪੀਪੀਬੀ	< 30 ਪੀਪੀਬੀ

ਉਤਪਾਦਨ ਤੈਨਾਤੀ ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਸਿਲੀਕਾਨ ਪਿਘਲਣ ਵਾਲੀ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੀ ਦੂਸ਼ਣ 85% ਤੋਂ ਵੱਧ ਘਟ ਗਈ, ਜਦੋਂ ਕਿ ਔਸਤ ਇੰਗਟ ਮਾਈਨੋਰਟੀ ਕੈਰੀਅਰ ਲਾਈਫਟਾਈਮ 32% ਵਧਿਆ। ਸਾਡੇ 'ਤੇ ਜਾਓ।[ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਹੈਲੋਜਨ ਗੈਸ ਸ਼ੁੱਧੀਕਰਨ ਅਤੇ GDMS ਟੈਸਟਿੰਗ ਜ਼ੋਨ]ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਤਕਨੀਕੀ ਵਿਸ਼ੇਸ਼ਤਾਵਾਂ ਦੀ ਪੜਚੋਲ ਕਰਨ ਲਈ।

ਚਿੱਤਰ 2: S-AG ਵਿਖੇ VET ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲਾਂ ਨੂੰ ਅਪਣਾਉਣ ਤੋਂ ਪਹਿਲਾਂ ਅਤੇ ਬਾਅਦ ਵਿੱਚ ਘੱਟ ਗਿਣਤੀ ਕੈਰੀਅਰ ਲਾਈਫਟਾਈਮ ਵੰਡ ਤੁਲਨਾ

ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲਾਂ ਰਾਹੀਂ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਸਟ੍ਰਕਚਰ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਸਦਮਾ ਪ੍ਰਤੀਰੋਧ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣਾ

ਮੁੱਖ ਸਿੱਟਾ: ਉੱਚ ਮਕੈਨੀਕਲ ਤਾਕਤ ਦੇ ਨਾਲ ਮਿਲ ਕੇ ਇਕਸਾਰ ਆਈਸੋਟ੍ਰੋਪਿਕ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਵਾਰ-ਵਾਰ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਕਰੂਸੀਬਲ ਡਿਫਾਰਮੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਕ੍ਰੈਕ ਪੈਦਾ ਹੋਣ ਨੂੰ ਪ੍ਰਭਾਵਸ਼ਾਲੀ ਢੰਗ ਨਾਲ ਰੋਕਦੀ ਹੈ।

1. ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਗਾਹਕ ਦੇ ਦਰਦ ਦੇ ਨੁਕਤੇ

S-AG ਦੇ ਮੂਲ ਐਕਸਟਰੂਡਡ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲਾਂ ਨੂੰ ਅਕਸਰ ਗੈਰ-ਯੂਨੀਫਾਰਮ ਰੇਡੀਅਲ ਥਰਮਲ ਵਿਸਥਾਰ, ਕੰਧ ਮਾਈਕ੍ਰੋ-ਕ੍ਰੈਕਿੰਗ, ਜਾਂ ਦਰਜਨਾਂ ਥਰਮਲ ਚੱਕਰਾਂ ਤੋਂ ਬਾਅਦ ਤਲ ਝੁਲਸਣ ਦਾ ਅਨੁਭਵ ਹੁੰਦਾ ਸੀ। ਇਸ ਨਾਲ ਅੰਦਰੂਨੀ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਕਰੂਸੀਬਲ ਦੇ ਅਸਮਾਨ ਤਣਾਅ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਨਰਮ/ਢਹਿ ਜਾਣ ਦਾ ਕਾਰਨ ਬਣਿਆ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਭੱਠੀ ਬੰਦ ਹੋ ਗਈ। ਔਸਤ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਜੀਵਨ ਕਾਲ 180 ਥਰਮਲ ਚੱਕਰਾਂ ਤੋਂ ਘੱਟ ਸੀ, ਜਿਸਦੇ ਨਤੀਜੇ ਵਜੋਂ ਕਾਫ਼ੀ ਰੱਖ-ਰਖਾਅ ਅਤੇ ਡਾਊਨਟਾਈਮ ਲਾਗਤਾਂ ਆਈਆਂ।

2. ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਹੱਲ ਅਤੇ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਲਾਗੂਕਰਨ

ਉੱਚ-ਤਾਪਮਾਨ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਵਿਕਾਰ ਨੂੰ ਹੱਲ ਕਰਨ ਲਈ, ਡਾ. ਮਾਰਕਸ ਨੇ VET ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਟੀਮ ਦੀ ਅਗਵਾਈ ਇੱਕ ਮਿਆਰੀ ਤਿੰਨ-ਪੜਾਅ ਵਾਲੀ ਤਬਦੀਲੀ ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਰਾਹੀਂ ਕੀਤੀ:

[ਪੜਾਅ 1: ਨਿਦਾਨ] • FEA ਥਰਮਲ ਮਾਡਲਿੰਗ • CTE ਫਾਈਨ-ਟਿਊਨਿੰਗ (4.8×10−&sup6;/K)

[ਪੜਾਅ 2: ਨਿਰਮਾਣ] • ਕੋਲਡ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਪ੍ਰੈਸਿੰਗ • 45 MPa ਲਚਕਦਾਰ ਤਾਕਤ

[ਪੜਾਅ 3: ਪੁਸ਼ਟੀਕਰਨ] • 60-ਦਿਨਾਂ ਦਾ ਸਾਈਟ 'ਤੇ ਟ੍ਰਾਇਲ • 220+ ਥਰਮਲ ਸਾਈਕਲ

• ਢਾਂਚਾਗਤ ਮੁਲਾਂਕਣ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਮੈਚਿੰਗ (ਨਿਦਾਨ):ਟੀਮ ਨੇ S-AG ਦੇ ਥਰਮਲ ਗਰੇਡੀਐਂਟ 'ਤੇ ਫਿਨਾਈਟ ਐਲੀਮੈਂਟ ਵਿਸ਼ਲੇਸ਼ਣ (FEA) ਮਾਡਲਿੰਗ ਕੀਤੀ ਅਤੇ 3-ਪੀਸ ਸਪਲਿਟ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਲੇਆਉਟ ਨੂੰ ਦੁਬਾਰਾ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਕੀਤਾ। ਸਮੱਗਰੀ ਫਾਰਮੂਲੇਸ਼ਨ ਨੂੰ 4.8×10−&sup6;/K 'ਤੇ ਥਰਮਲ ਐਕਸਪੈਂਸ਼ਨ (CTE) ਦੇ ਗੁਣਾਂਕ ਨੂੰ ਇਕਸਾਰ ਕਰਨ ਲਈ ਐਡਜਸਟ ਕੀਤਾ ਗਿਆ ਸੀ, 1,450°C 'ਤੇ ਕੁਆਰਟਜ਼ ਲਾਈਨਰ ਨਾਲ ਉੱਚ ਅਨੁਕੂਲਤਾ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ ਅਤੇ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪਿੰਚਿੰਗ ਤਣਾਅ ਨੂੰ ਖਤਮ ਕੀਤਾ ਗਿਆ।
• ਉੱਚ-ਸ਼ਕਤੀ ਬਣਾਉਣ ਅਤੇ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੀ ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ (ਨਿਰਮਾਣ):ਕੋਲਡ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਪ੍ਰੈਸਿੰਗ (CIP) ਨੇ 45 MPa ਫਲੈਕਸਰਲ ਤਾਕਤ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਬਲਾਕ ਤਿਆਰ ਕੀਤੇ। ਸ਼ੁੱਧਤਾ 5-ਧੁਰੀ CNC ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ (±0.01mm ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ) ਨੇ ਇਹ ਯਕੀਨੀ ਬਣਾਇਆ ਕਿ ਸੈਂਕੜੇ ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ ਸਿਲੀਕਾਨ ਚਾਰਜ ਨਾਲ ਲੋਡ ਹੋਣ 'ਤੇ ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਮਕੈਨੀਕਲ ਪ੍ਰਭਾਵਾਂ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਝਟਕੇ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਦੇ ਹਨ।
• ਸਾਈਟ 'ਤੇ ਟੈਸਟਿੰਗ ਅਤੇ ਜੀਵਨ ਕਾਲ ਪ੍ਰਮਾਣਿਕਤਾ (ਤਸਦੀਕ):S-AG ਨੇ ਜਰਮਨੀ ਵਿੱਚ 60-ਦਿਨਾਂ ਦਾ ਨਿਰੰਤਰ ਟ੍ਰਾਇਲ ਕੀਤਾ। 220+ ਥਰਮਲ ਚੱਕਰਾਂ (ਬਹੁਤ ਜ਼ਿਆਦਾ ਗਰਮੀ 'ਤੇ ~1,500 ਘੰਟੇ) ਤੋਂ ਬਾਅਦ, ਮਾਪ ਬਿਨਾਂ ਕਿਸੇ ਸੂਖਮ-ਦਰਦ ਦੇ ਵਿਗਾੜ-ਮੁਕਤ ਰਹੇ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਕਰੂਸੀਬਲ ਅਸਫਲਤਾ ਕਾਰਨ ਭੱਠੀ ਬੰਦ ਹੋਣ ਨੂੰ ਸਫਲਤਾਪੂਰਵਕ ਖਤਮ ਕੀਤਾ ਗਿਆ।

ਚਿੱਤਰ 3: VET 5-ਧੁਰੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ CNC ਮਸ਼ੀਨਿੰਗ ਅਤੇ GDMS ਪੁੰਜ ਸਪੈਕਟ੍ਰੋਮੈਟਰੀ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਨਿਰੀਖਣ ਵਰਕਫਲੋ

CZ ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਗ੍ਰੋਥ ਵਿੱਚ ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੀ ਵਰਤੋਂ

ਮੁੱਖ ਸਿੱਟਾ: ਜਿਓਮੈਟ੍ਰਿਕ ਸਮਰੂਪਤਾ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਚਾਲਕਤਾ ਵੰਡ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਨਾਲ ਠੋਸ-ਤਰਲ ਇੰਟਰਫੇਸਾਂ ਸਥਿਰ ਹੁੰਦੀਆਂ ਹਨ, ਵਿਸਤ੍ਰਿਤ ਕ੍ਰਿਸਟਲ ਵਾਧੇ ਦੌਰਾਨ ਆਕਸੀਜਨ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਦੇ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਨੂੰ ਘੱਟ ਕੀਤਾ ਜਾਂਦਾ ਹੈ।

1. ਐਪਲੀਕੇਸ਼ਨ ਅਤੇ ਗਾਹਕ ਦੇ ਦਰਦ ਦੇ ਨੁਕਤੇ

12-ਇੰਚ ਭਾਰੀ ਡੋਪਡ ਜਾਂ ਨੁਕਸ-ਮੁਕਤ ਸਿਲੀਕਾਨ ਇੰਗੌਟਸ ਨੂੰ ਲੰਬੇ ਸਮੇਂ ਤੱਕ ਖਿੱਚਣ ਦੌਰਾਨ, ਠੋਸ-ਤਰਲ ਇੰਟਰਫੇਸ 'ਤੇ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਅਸਮਾਨਤਾ ਪਿਘਲਣ ਵਾਲੀ ਸੰਵਹਿਣ ਗੜਬੜ ਨੂੰ ਪ੍ਰੇਰਿਤ ਕਰਦੀ ਹੈ। ਇਸ ਨਾਲ ਧੁਰੀ ਅਤੇ ਰੇਡੀਅਲ ਆਕਸੀਜਨ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਵਿੱਚ ਉਤਰਾਅ-ਚੜ੍ਹਾਅ ਆਉਂਦੇ ਹਨ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਬਾਅਦ ਦੇ ਵੇਫਰ ਸਲਾਈਸਿੰਗ ਦੌਰਾਨ ਐਨੀਲਿੰਗ ਉਪਜ ਘਟਦੀ ਹੈ।

2. ਤਕਨੀਕੀ ਲਾਗੂਕਰਨ ਅਤੇ ਮੁੱਲ

• ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਸਿਮੂਲੇਸ਼ਨ:FEA ਸਿਮੂਲੇਸ਼ਨ ਨੇ 1,450°C ਅਤੇ 1,550°C ਦੇ ਵਿਚਕਾਰ ਤਾਪ ਸੰਚਾਲਨ ਮਾਰਗਾਂ ਨੂੰ ਮੈਪ ਕੀਤਾ, ਕਰੂਸੀਬਲ ਕੰਧ ਮੋਟਾਈ ਗਰੇਡੀਐਂਟ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਇਆ।
• ਸਮਰੂਪਤਾ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ਨਿਯੰਤਰਣ:ਕੰਧ ਦੀ ਮੋਟਾਈ ਸਹਿਣਸ਼ੀਲਤਾ ±0.005mm ਦੇ ਅੰਦਰ ਸੀਮਤ ਸੀ, ਜਿਸ ਨਾਲ ਥਰਮਲ ਸਮਰੂਪਤਾ 18% ਵਧ ਗਈ।

ਸਟੀਕ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਨਿਯੰਤਰਣ ਦੁਆਰਾ, S-AG ਨੇ ਇੰਗੋਟ ਐਕਸੀਅਲ ਆਕਸੀਜਨ ਗਾੜ੍ਹਾਪਣ ਇਕਸਾਰਤਾ ਵਿੱਚ 22% ਸੁਧਾਰ, ਖਿੱਚਣ ਦੀ ਗਤੀ ਵਿੱਚ 8% ਵਾਧਾ, ਅਤੇ ਡਿਸਲੋਕੇਸ਼ਨ ਨੁਕਸਾਂ ਵਿੱਚ ਇੱਕ ਮਹੱਤਵਪੂਰਨ ਕਮੀ ਪ੍ਰਾਪਤ ਕੀਤੀ। ਕੰਪੋਨੈਂਟ ਵੇਰਵਿਆਂ ਲਈ, ਸਾਡੇ[ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਪਾਰਟਸ]ਉਤਪਾਦ ਕੈਟਾਲਾਗ।

ਅਕਸਰ ਪੁੱਛੇ ਜਾਂਦੇ ਸਵਾਲ (FAQ)

ਸਿੱਟਾ ਅਤੇ ਗਾਹਕ ਮੁੱਲ

VET ਦੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਆਈਸੋਸਟੈਟਿਕ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲਾਂ ਅਤੇ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਸਮਾਧਾਨਾਂ ਨੂੰ ਅਪਣਾ ਕੇ, ਯੂਰਪੀਅਨ ਵੇਫਰ ਦਿੱਗਜ S-AG ਨੇ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਪ੍ਰਸਾਰ ਅਤੇ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਰੁਕਾਵਟਾਂ ਨੂੰ ਦੂਰ ਕੀਤਾ। ਮੁੱਖ ਪ੍ਰੋਜੈਕਟ ਨਤੀਜਿਆਂ ਵਿੱਚ ਸ਼ਾਮਲ ਹਨ:

• ਮੋਨੋਕ੍ਰਿਸਟਲਾਈਨ ਸਿਲੀਕਾਨ ਖਿੱਚਣ ਦੀ ਪੈਦਾਵਾਰ ਵਿੱਚ ਵਾਧਾ ਹੋਇਆ ਹੈ14.2%
• ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਪਾਰਟ ਦੀ ਸੇਵਾ ਜੀਵਨ ਵਧਾਇਆ ਗਿਆ25%(220+ ਥਰਮਲ ਚੱਕਰਾਂ ਤੋਂ ਵੱਧ)
• ਪ੍ਰਤੀ ਕਿਲੋਗ੍ਰਾਮ ਸਿਲੀਕਾਨ ਵੇਫਰ ਦੀ ਕੁੱਲ ਊਰਜਾ ਖਪਤ ਲਗਭਗ ਘਟੀ11%

ਲੇਖਕ ਅਤੇ ਤਕਨੀਕੀ ਟੀਮ ਬਾਰੇ ਡਾ. ਮਾਰਕਸ — ਸੀਨੀਅਰ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਅਤੇ ਐਡਵਾਂਸਡ ਮਟੀਰੀਅਲ ਇੰਜੀਨੀਅਰ, VET ਡਾ. ਮਾਰਕਸ ਕੋਲ ਸੈਮੀਕੰਡਕਟਰ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਡਿਜ਼ਾਈਨ ਅਤੇ ਕਾਰਬਨ-ਅਧਾਰਤ ਕੰਪੋਜ਼ਿਟ ਸ਼ੁੱਧੀਕਰਨ ਵਿੱਚ 15 ਸਾਲਾਂ ਤੋਂ ਵੱਧ ਦਾ ਖੋਜ ਅਤੇ ਵਿਕਾਸ ਦਾ ਤਜਰਬਾ ਹੈ, ਉਹ CZ ਫਰਨੇਸ ਥਰਮਲ ਤਣਾਅ ਮਾਡਲਿੰਗ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਗ੍ਰਾਫਾਈਟ (<5 ppm) ਪ੍ਰਕਿਰਿਆ ਵਿਕਾਸ ਵਿੱਚ ਮਾਹਰ ਹਨ। ਇਹ ਕੇਸ ਸਟੱਡੀ ਯੂਰਪੀਅਨ ਕਲਾਇੰਟ S-AG (ਰਿਪੋਰਟ ਨੰਬਰ: VET-CS-2025-SAG04) ਤੋਂ ਫੀਲਡ ਲਾਗੂਕਰਨ ਡੇਟਾ 'ਤੇ ਅਧਾਰਤ ਹੈ।

ਕੀ ਤੁਸੀਂ ਆਪਣੇ CZ ਪੁਲਿੰਗ ਫਰਨੇਸ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਹੋ? ਜੇਕਰ ਤੁਹਾਨੂੰ ਉੱਚੇ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਪੱਧਰ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਵਾਰਪਿੰਗ, ਜਾਂ ਘੱਟ ਘੱਟ ਗਿਣਤੀ ਕੈਰੀਅਰ ਲਾਈਫਟਾਈਮ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨਾ ਪੈਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਅਨੁਕੂਲਿਤ FEA ਮਾਡਲਿੰਗ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਬਦਲਣ ਦੇ ਹੱਲ ਲਈ VET ਦੀ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਟੀਮ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਕਰੋ। ਕੀ ਤੁਸੀਂ ਆਪਣੇ CZ ਪੁਲਿੰਗ ਫਰਨੇਸ ਥਰਮਲ ਫੀਲਡ ਨੂੰ ਅਨੁਕੂਲ ਬਣਾਉਣ ਲਈ ਤਿਆਰ ਹੋ? ਜੇਕਰ ਤੁਹਾਨੂੰ ਉੱਚੇ ਅਸ਼ੁੱਧਤਾ ਦੇ ਪੱਧਰ, ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਕਰੂਸੀਬਲ ਵਾਰਪਿੰਗ, ਜਾਂ ਘੱਟ ਘੱਟ ਗਿਣਤੀ ਕੈਰੀਅਰ ਲਾਈਫਟਾਈਮ ਦਾ ਸਾਹਮਣਾ ਕਰਨਾ ਪੈਂਦਾ ਹੈ, ਤਾਂ ਅਨੁਕੂਲਿਤ FEA ਮਾਡਲਿੰਗ ਅਤੇ ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਬਦਲਣ ਦੇ ਹੱਲ ਲਈ VET ਦੀ ਇੰਜੀਨੀਅਰਿੰਗ ਟੀਮ ਨਾਲ ਸੰਪਰਕ ਕਰੋ। ਉੱਚ-ਸ਼ੁੱਧਤਾ ਵਾਲੇ ਗ੍ਰੇਫਾਈਟ ਉਤਪਾਦ ਵੇਖੋ ਅਨੁਕੂਲਿਤ ਹੱਲ ਅਤੇ GDMS ਨਮੂਨਿਆਂ ਦੀ ਬੇਨਤੀ ਕਰੋ