Nozûlên karbîda silîkonê di çêkirina nîvconductorên elektronîkî de roleke girîng dilîzin. Ew amûrek e ku ji bo rijandina şilek an gazan tê bikar anîn, û pir caran di çêkirina nîvconductoran de ji bo dermankirina kîmyewî ya şil tê bikar anîn. Nozûla Sic xwedî avantajên berxwedana germahiya bilind, berxwedana korozyonê û berxwedana lixwekirinê ye, ji ber vê yekê ew bi berfirehî di pîşesaziya hilberîna nîvconductorên elektronîkî de tê bikar anîn.
Di çêkirina nîvconductorên elektronîkî de, nozulên karbîda silîkonê pir caran di pêvajoyên pêçandin û paqijkirinê de têne bikar anîn. Bo nimûne, di pêvajoya fotolîtografiyê de, nozulek karbîda silîkonê tê bikar anîn da ku çareseriyek fotoresîst li ser wafera silîkonê were rijandin da ku qalibek nazik çêbibe. Ji ber ku nozula karbîda silîkonê xwedî taybetmendiyên rijandina yekreng e, ew dikare belavkirina yekreng a fotoresîstê li ser rûyê wafera silîkonê misoger bike, bi vî rengî karîgeriya hilberînê û kalîteya hilberê baştir dike.
Herwiha, nozulên karbîda silîkonê pir caran di pêvajoyên paqijkirinê de têne bikar anîn. Di dema çêkirina nîvconductoran de, pêdivî ye ku waflên silîkonê werin paqijkirin da ku qirêjî û gemarên rûyê werin rakirin. Nozulên karbîda silîkonê dikarin rûyê waflên silîkonê bi rijandina hewaya bilez an çareseriyên kîmyewî paqij bikin, bi bandor gemaran ji holê rakin û pêbawerî û aramiya pêvajoya hilberînê baştir bikin.
Ji bo kargehên çêkirina nîvconductorên elektronîkî, pir girîng e ku nozula karbîda silîkonê ya rast were hilbijartin. Berî her tiştî, divê nozula karbîda silîkonê berxwedana germahiyên pir zêde hebe da ku di pêvajoya çêkirinê de li hember jîngeha germahiyên bilind bisekine. Ya duyemîn, berxwedana korozyonê jî girîng e, ji ber ku hin kîmyewî yên wekî asîd û bazên bihêz di pêvajoya çêkirinê de têne bikar anîn. Wekî din, berxwedana li hember aşînê jî tê hesibandin, ji ber ku nozula di dema karanînê de rastî xişandin û aşînê tê.
Ji bo baştirkirina performansa nozulên silicon carbide, hilberîner bi gelemperî hin teknîkên çêkirinê yên pêşketî bi kar tînin. Bo nimûne, nozul ji materyalên silicon carbide yên paqijiya bilind têne çêkirin da ku aramiya taybetmendiyên wan ên fîzîkî û kîmyewî misoger bikin. Wekî din, bi rêya pêvajoyek rast û dermankirina rûyê, bandora spreykirinê û temenê karûbarê nozula silicon carbide dikare were baştir kirin.
Bi kurtasî, nozulên karbîda silîkonê di çêkirina nîvconductorên elektronîkî de roleke girîng dilîzin. Ew xwedî avantajên germahiya bilind, korozyon û berxwedana li hember aşînê ne û dikarin di pêvajoyên dermankirina şilek an gazê de werin bikar anîn. Karsaziyên hilberîna nîvconductorên elektronîkî divê nozula karbîda silîkonê ya rast hilbijêrin û teknolojiya hilberînê ya pêşkeftî bi kar bînin da ku karîgeriya pêvajoya hilberînê û kalîteya hilberê baştir bikin.
Nozulên karbîda silîkonê di çêkirina nîvconductorên elektronîkî de roleke girîng dilîzin. Ew xwedî avantajên germahiya bilind, korozyon û berxwedana li hember aşînê ne û dikarin di pêvajoyên dermankirina spreykirina şilek an gazê de werin bikar anîn. Di pêvajoya fotolîtografiyê de, nozulên karbîda silîkonê dikarin çareseriya fotoberxwedêr bi rengek wekhev li ser wafera silîkonê birijînin, karîgeriya hilberînê û kalîteya hilberê baştir bikin. Di pêvajoya paqijkirinê de, nozulên karbîda silîkonê dikarin rûyê wafera silîkonê bi rijandina herikîna hewayê ya bilez an rijandina çareseriya kîmyewî paqij bikin, gemaran jê bikin, û pêbawerî û aramiya pêvajoya hilberînê baştir bikin. Karsaziyên hilberîna nîvconductorên elektronîkî divê nozulên karbîda silîkonê yên rast hilbijêrin û teknolojiya hilberînê ya pêşkeftî bipejirînin da ku karîgeriya pêvajoya hilberînê û kalîteya hilberê baştir bikin.
Dema weşandinê: 11ê Kanûna Pêşîn a 2023an