ഇലക്ട്രോണിക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസിലുകൾ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ദ്രാവകങ്ങളോ വാതകങ്ങളോ സ്പ്രേ ചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്ന ഒരു ഉപകരണമാണിത്, പലപ്പോഴും സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ നനഞ്ഞ രാസ സംസ്കരണത്തിന് ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം, നാശന പ്രതിരോധം, വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങൾ സിക് നോസിലിനുണ്ട്, അതിനാൽ ഇത് ഇലക്ട്രോണിക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ വ്യവസായത്തിൽ വ്യാപകമായി ഉപയോഗിച്ചുവരുന്നു.
ഇലക്ട്രോണിക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസിലുകൾ പലപ്പോഴും കോട്ടിംഗ്, ക്ലീനിംഗ് പ്രക്രിയകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയിൽ, ഒരു സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസൽ ഉപയോഗിച്ച് ഒരു സിലിക്കൺ വേഫറിൽ ഒരു ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ലായനി സ്പ്രേ ചെയ്ത് ഒരു മികച്ച പാറ്റേൺ ഉണ്ടാക്കുന്നു. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസലിന് ഏകീകൃത സ്പ്രേയിംഗിന്റെ സവിശേഷതകൾ ഉള്ളതിനാൽ, സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റിന്റെ ഏകീകൃത വിതരണം ഉറപ്പാക്കാൻ ഇതിന് കഴിയും, അതുവഴി ഉൽപാദനക്ഷമതയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരവും മെച്ചപ്പെടുത്താൻ കഴിയും.
കൂടാതെ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസിലുകൾ പലപ്പോഴും വൃത്തിയാക്കൽ പ്രക്രിയകളിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നു. സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ സമയത്ത്, ഉപരിതല മാലിന്യങ്ങളും മാലിന്യങ്ങളും നീക്കം ചെയ്യുന്നതിന് സിലിക്കൺ വേഫറുകൾ വൃത്തിയാക്കേണ്ടതുണ്ട്. സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസിലുകൾക്ക് ഉയർന്ന വേഗതയുള്ള വായു അല്ലെങ്കിൽ രാസ ലായനികൾ തളിക്കുന്നതിലൂടെ സിലിക്കൺ വേഫറുകളുടെ ഉപരിതലം വൃത്തിയാക്കാൻ കഴിയും, മലിനീകരണം ഫലപ്രദമായി നീക്കം ചെയ്യുകയും നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ വിശ്വാസ്യതയും സ്ഥിരതയും മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യുന്നു.
ഇലക്ട്രോണിക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ സംരംഭങ്ങൾക്ക്, ശരിയായ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസൽ തിരഞ്ഞെടുക്കേണ്ടത് വളരെ പ്രധാനമാണ്. ഒന്നാമതായി, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിലെ ഉയർന്ന താപനില പരിസ്ഥിതിയെ നേരിടാൻ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസലിന് വളരെ ഉയർന്ന താപനില പ്രതിരോധം ഉണ്ടായിരിക്കണം. രണ്ടാമതായി, ശക്തമായ ആസിഡുകളും ബേസുകളും പോലുള്ള ചില രാസവസ്തുക്കൾ നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയിൽ ഉപയോഗിക്കുന്നതിനാൽ, നാശന പ്രതിരോധവും അത്യാവശ്യമാണ്. കൂടാതെ, ഉപയോഗ സമയത്ത് നോസൽ ഘർഷണത്തിനും തേയ്മാനത്തിനും വിധേയമാകുന്നതിനാൽ, വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധവും ഒരു പരിഗണനയാണ്.
സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസിലുകളുടെ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനായി, നിർമ്മാതാക്കൾ സാധാരണയായി ചില നൂതന നിർമ്മാണ സാങ്കേതിക വിദ്യകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഉദാഹരണത്തിന്, അവയുടെ ഭൗതികവും രാസപരവുമായ ഗുണങ്ങളുടെ സ്ഥിരത ഉറപ്പാക്കാൻ ഉയർന്ന ശുദ്ധതയുള്ള സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് വസ്തുക്കൾ ഉപയോഗിച്ചാണ് നോസിലുകൾ നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്. കൂടാതെ, കൃത്യമായ പ്രോസസ്സിംഗിലൂടെയും ഉപരിതല ചികിത്സയിലൂടെയും, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസിലിന്റെ സ്പ്രേയിംഗ് ഇഫക്റ്റും സേവന ജീവിതവും മെച്ചപ്പെടുത്താൻ കഴിയും.
ചുരുക്കത്തിൽ, ഇലക്ട്രോണിക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസിലുകൾ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഉയർന്ന താപനില, നാശന പ്രതിരോധം, വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങൾ ഇവയ്ക്കുണ്ട്, കൂടാതെ സ്പ്രേ ലിക്വിഡ് അല്ലെങ്കിൽ ഗ്യാസ് ട്രീറ്റ്മെന്റ് പ്രക്രിയകളിൽ ഇവ ഉപയോഗിക്കാം. ഇലക്ട്രോണിക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ സംരംഭങ്ങൾ ശരിയായ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസൽ തിരഞ്ഞെടുത്ത് നൂതന നിർമ്മാണ സാങ്കേതികവിദ്യ സ്വീകരിച്ച് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ കാര്യക്ഷമതയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരവും മെച്ചപ്പെടുത്തണം.
ഇലക്ട്രോണിക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണത്തിൽ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസിലുകൾ ഒരു പ്രധാന പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. ഉയർന്ന താപനില, നാശന പ്രതിരോധം, വസ്ത്രധാരണ പ്രതിരോധം എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങൾ ഇവയ്ക്കുണ്ട്, കൂടാതെ സ്പ്രേ ലിക്വിഡ് അല്ലെങ്കിൽ ഗ്യാസ് ട്രീറ്റ്മെന്റ് പ്രക്രിയകളിൽ ഇവ ഉപയോഗിക്കാം. ഫോട്ടോലിത്തോഗ്രാഫി പ്രക്രിയയിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസലിന് സിലിക്കൺ വേഫറിലേക്ക് ഫോട്ടോറെസിസ്റ്റ് ലായനി തുല്യമായി സ്പ്രേ ചെയ്യാൻ കഴിയും, ഇത് ഉൽപാദന കാര്യക്ഷമതയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരവും മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നു. ക്ലീനിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ, സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസലിന് അതിവേഗ വായുപ്രവാഹം സ്പ്രേ ചെയ്യുന്നതിലൂടെയോ രാസ ലായനി സ്പ്രേ ചെയ്യുന്നതിലൂടെയോ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസലിന് സിലിക്കൺ വേഫറിന്റെ ഉപരിതലം വൃത്തിയാക്കാനും, മലിനീകരണം നീക്കം ചെയ്യാനും, നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ വിശ്വാസ്യതയും സ്ഥിരതയും മെച്ചപ്പെടുത്താനും കഴിയും. ഇലക്ട്രോണിക് സെമികണ്ടക്ടർ നിർമ്മാണ സംരംഭങ്ങൾ ശരിയായ സിലിക്കൺ കാർബൈഡ് നോസൽ തിരഞ്ഞെടുത്ത് നൂതന നിർമ്മാണ സാങ്കേതികവിദ്യ സ്വീകരിക്കണം, ഇത് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയുടെ കാര്യക്ഷമതയും ഉൽപ്പന്ന ഗുണനിലവാരവും മെച്ചപ്പെടുത്തും.
പോസ്റ്റ് സമയം: ഡിസംബർ-11-2023