සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඒවා ද්රව හෝ වායූන් ඉසීමට භාවිතා කරන උපකරණයක් වන අතර, බොහෝ විට අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී තෙත් රසායනික ප්රතිකාර සඳහා භාවිතා වේ. Sic තුණ්ඩයට ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධය, විඛාදන ප්රතිරෝධය සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධය යන වාසි ඇත, එබැවින් එය ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන කර්මාන්තයේ බහුලව භාවිතා වී ඇත.
ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ බොහෝ විට ආලේපන සහ පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලීන්හි භාවිතා වේ. නිදසුනක් ලෙස, ෆොටෝලිතොග්රැෆි ක්රියාවලියේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයක් සිලිකන් වේෆරයක් මතට ෆොටෝරෙසිස්ට් ද්රාවණයක් ඉසීමට භාවිතා කරයි, එමඟින් සියුම් රටාවක් සාදයි. සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයට ඒකාකාර ඉසීමේ ලක්ෂණ ඇති බැවින්, සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිට ෆොටෝරෙසිස්ට් ඒකාකාරව බෙදා හැරීම සහතික කළ හැකි අතර එමඟින් නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු වේ.
මීට අමතරව, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ බොහෝ විට පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලීන්හි භාවිතා වේ. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය අතරතුර, මතුපිට අපද්රව්ය සහ දූෂක ඉවත් කිරීම සඳහා සිලිකන් වේෆර් පිරිසිදු කළ යුතුය. සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩවලට අධිවේගී වාතය හෝ රසායනික ද්රාවණ ඉසීමෙන් සිලිකන් වේෆර් මතුපිට පිරිසිදු කළ හැකි අතර, දූෂක ඵලදායී ලෙස ඉවත් කර නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ විශ්වසනීයත්වය සහ ස්ථාවරත්වය වැඩි දියුණු කරයි.
ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ව්යවසායන් සඳහා, නිවැරදි සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩය තෝරා ගැනීම ඉතා වැදගත් වේ. පළමුවෙන්ම, නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී ඉහළ උෂ්ණත්ව පරිසරයට මුහුණ දීම සඳහා සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයට අතිශයින් ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිරෝධයක් තිබිය යුතුය. දෙවනුව, නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී ශක්තිමත් අම්ල සහ භෂ්ම වැනි සමහර රසායනික ද්රව්ය භාවිතා කරන බැවින්, විඛාදන ප්රතිරෝධය ද අත්යවශ්ය වේ. ඊට අමතරව, භාවිතයේදී තුණ්ඩය ඝර්ෂණයට සහ ඇඳීමට ලක්වන බැවින්, ඇඳුම් ප්රතිරෝධය ද සලකා බැලිය යුතුය.
සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩවල ක්රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා, නිෂ්පාදකයින් සාමාන්යයෙන් සමහර දියුණු නිෂ්පාදන ශිල්පීය ක්රම භාවිතා කරයි. උදාහරණයක් ලෙස, තුණ්ඩ ඒවායේ භෞතික හා රසායනික ගුණාංගවල ස්ථායිතාව සහතික කිරීම සඳහා ඉහළ සංශුද්ධතාවයකින් යුත් සිලිකන් කාබයිඩ් ද්රව්ය වලින් සාදා ඇත. ඊට අමතරව, නිවැරදි සැකසුම් සහ මතුපිට ප්රතිකාර හරහා, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයේ ඉසින බලපෑම සහ සේවා කාලය වැඩිදියුණු කළ හැකිය.
කෙටියෙන් කිවහොත්, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඒවාට ඉහළ උෂ්ණත්වය, විඛාදනය සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයේ වාසි ඇති අතර ඉසින ද්රව හෝ වායු ප්රතිකාර ක්රියාවලීන්හි භාවිතා කළ හැකිය. ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ව්යවසායන් නිවැරදි සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩය තෝරාගෙන නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා උසස් නිෂ්පාදන තාක්ෂණය අනුගමනය කළ යුතුය.
සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩ ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනයේ වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. ඒවාට ඉහළ උෂ්ණත්වය, විඛාදනය සහ ඇඳුම් ප්රතිරෝධයේ වාසි ඇති අතර ඉසින ද්රව හෝ වායු ප්රතිකාර ක්රියාවලීන්හි භාවිතා කළ හැකිය. ෆොටෝලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලියේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයට සිලිකන් වේෆරය මත ෆොටෝරෙසිස්ට් ද්රාවණය ඒකාකාරව ඉසිය හැකි අතර එමඟින් නිෂ්පාදන කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු වේ. පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලියේදී, සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩයට අධිවේගී වායු ප්රවාහ ඉසීමෙන් හෝ රසායනික ද්රාවණයක් ඉසීමෙන් සිලිකන් වේෆරයේ මතුපිට පිරිසිදු කළ හැකිය, දූෂක ඉවත් කළ හැකිය, සහ නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ විශ්වසනීයත්වය සහ ස්ථායිතාව වැඩි දියුණු කළ හැකිය. ඉලෙක්ට්රොනික අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ව්යවසායන් නිවැරදි සිලිකන් කාබයිඩ් තුණ්ඩය තෝරාගෙන නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ කාර්යක්ෂමතාව සහ නිෂ්පාදන ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා උසස් නිෂ්පාදන තාක්ෂණය අනුගමනය කළ යුතුය.
පළ කිරීමේ කාලය: දෙසැම්බර්-11-2023