Lêkolîna Dozê: Pêkhateyên Grafîtê yên Paqijiya Bilind ji bo Zeviyên Termal ên Monokrîstalîn ên 32-Înç di Mezinbûna Silîkonê ya Tîpa-N de

Pêşgotin: Pirsgirêka Qada Termal a 32-Înç di Mezinbûna Silîkonê ya Tîpa N-ya Karîgeriya Bilind de

Ji ber ku pîşesaziya fotovoltaîk bi lez ji PERC-a cureya P ber bi TOPCon-a cureya N û xaneyên rojê yên Heterojunction (HJT) ve diçe, daxwaza waflên silîkonê yên bi paqijiya bilindtir pir zêde bûye. Substratên silîkonê yên cureya N temenê hilgirên kêmneteweyan pir zêde (bi gelemperî >300 μs) û qirêjiya nepakiya metalên veguhêz ên nêzîkî sifir hewce dikin.

Ji bo zêdekirina hilberînê, hilberînerên waferên silîkonê mezinahiyên xaçerêyan berfireh dikin heta 32 înç û ji wan jî zêdetir. Lêbelê, xebitandina di germahiyên ji 1,450°C zêdetir de di zeviyek germî ya 32 înç de dibe sedema pirsgirêkên endezyariyê yên giran:

1. Hilweşîna Germahî û Asîmetrî:Gradientên germî yên mezin dibin sedema deformasyon û şikestina avahîsaziyê di germkerên grafît ên standard û pedestalan de.
2. Gemarbûna Metalên Guherbar:Hêmanên nepak ên şopî (Fe, Ni, Cu, V) ên di nav grafîta kevneşopî de di dema kişandina dirêj a krîstalê de buhar dibin, rasterast koçî silîkona heliyayî dikin û dibin sedema hilweşîna giran a temenê hilgirên kêmneteweyan.

Çareseriya Endezyariyê: Parastina Grafîta Îzostatîk a Ultra-Paqijkirî û CVD SiC

Ji bo derbaskirina van astengiyên teknîkî, VeTek Semiconductor nûvekirinek berfireh a materyalê li seranserê tevahiya civata zeviya germî ya 32 înç bicîh kir, ku ji grafîta îzostatîk a dendika bilind pêk tê ku paqijkirina halojenê ya germahiya bilind û pêçanên parastinê yên CVD Silicon Carbide (SiC) hatine kirin.

1. Paqijkirina Kûr a Halogenê (Naveroka Xwelîyê ≤ 2-5 ppm)

Grafîta pîşesaziyê ya standard di navbera 50 ppm û 200 ppm de xwelî dihewîne. Di 1,450°C de di bin valahiyê de, ev elementên şopîner dihelin. Pêvajoya me ya Paqijkirina Gaza Halojenê ya Germahiya Bilind a taybet, qirêjiyên metalî di germahiyên jortir ji 2,400°C de vediguherîne pêkhateyên halojenê yên dihele (klorîd/florîd).

• Testa Spektrometrîya Girseyî ya Berdana Ronî (GDMS)piştrast dike ku tevahîya qirêjiyên metalî (Fe, Cr, Ni, Cu, V) kêm dibin û dibin kêmtirî 0.5 ppm, û rêjeya xweliyê ya giştî ≤ 2 ppm tê bidestxistin.
• Netîce:Di dema çerxên kişandina berdewam ên 120+ saetan de, belavbûna gaza metalîk a paşxaneyê ji holê radike û gola silîkona heliyayî ji qirêjbûnê diparêze.

2. Avahiya Grafîtê ya Îzostatîk a Densiya Bilind ji bo Aramiya Termal

Parçeyên wekî germkera grafîtê, pêgirta xaçerêyê, û bermîla îzolekirinê ji grafîta îzostatîk a bi densiteya bilind (1.85 g/cm³), genimê zirav (mezinahiya genim <10 μm) têne çêkirin. Pêçandina îzostatîk berfirehbûna germî ya îzotropîk (CTE) ya yekreng misoger dike, û di bin çerxên germî yên dubare de pêşî li stresa germî ya herêmî, xwarbûn û şikestina mekanîkî digire.

3. Pêçandina Parastî ya CVD ya Sîlîkon Karbîd (SiC)

Pêkhateyên krîtîk ên ku rastî buxara silîkonê û gazên paqijkirina korozîf tên, bi qatek 50-80 μm ya Karbîda Silîkonê (SiC) ya Depozîsyona Buxara Kîmyewî (CVD) têne pêçandin.

• Astengiya Korozyonê:Pêşî li reaksiyona kîmyayî ya rasterast di navbera buxara silîkonê ya firîner (SiO) û substrata grafîtê (SiO + 2C → SiC + CO) digire, û erozyona rûberê û çêbûna toza karbonê ji holê radike.
• Rastbûna Geometrîk:Geometrîya qada germî ya rast di navbera xizmetê de ji %30 dirêjtir diparêze.

Daneyên Performansa Pîvandî & Tesdîqkirina Ceribandina Meydanê

Ceribandineke zeviyê ya berawirdî ya 6-mehî li ser 50 firneyên CZ yên 32-inç ên asta hilberînê li tesîseke çêkirina waferên silîkonê ya TOPCon a asta 1-ê hate kirin. Li jêr pîvana performansê ya ku pêkhateyên grafîtê yên standard bi çareseriya zeviya germî ya paqijkirî ya VeTek Semiconductor re berawird dike heye:

Pirsên Pir tên Pirsîn (FAQ)

Encam û Şêwirmendiya Teknîkî

Nûvekirina pêkhateyên grafîtê yên îzostatîk ên ultra-paqijkirî bi parastina CVD SiC rêyek rasterast û pîvandî peyda dike ji bo çareserkirina tengasiyên berhem û nepakiyê di mezinbûna silîkona monokrîstalîn a tîpa N ya 32 înç de. Bi başbûnek 18% di berhemdariya sereke û temenê zeviya germî ya dirêjkirî 30%, hilberînerên waferên rojê dikarin ROI-ya girîng bi dest bixin.