ການສຶກສາກໍລະນີ: ການເພີ່ມຜົນຜະລິດ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງການດຶງຜລຶກ CZ ດ້ວຍໝໍ້ຫຸງແກ້ວກຣາໄຟດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ການສຶກສາກໍລະນີ: ການເພີ່ມຜົນຜະລິດ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງການດຶງຜລຶກ CZ ດ້ວຍໝໍ້ຫຸງແກ້ວກຣາໄຟດທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ

ຫົວໜ້າວິສະວະກຳ:ດຣ. ມາຄັສ ແລະ ທີມງານວິສະວະກຳສະໜາມຄວາມຮ້ອນຜລຶກ ແລະ ວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ VET

ບົດລາຍງານດ້ານເຕັກນິກ:ການສຶກສາກໍລະນີວັດສະດຸ ແລະ ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ VET Semiconductor (ລາຍງານເລກທີ: VET-CS-2025-SAG04)

ບົດສະຫຼຸບຜູ້ບໍລິຫານ ແລະ ພາບລວມຂອງໂຄງການ

  • ອຸດສາຫະກຳ:ການຜະລິດເວເຟີເຊມິຄອນດັກເຕີ ແລະ ໂຊລາເຊນ
  • ລູກຄ້າ:S-AG (ຜູ້ຜະລິດເວເຟີເຄິ່ງຕົວນຳ 300 ມມ, ເຢຍລະມັນ)
  • ຂະບວນການ:ຮູດຶງຊິລິໂຄນ Monocrystalline ຂະໜາດ 12 ນິ້ວ Czochralski (CZ)
  • ວິທີແກ້ໄຂ:ເຕົາອົບກຣາໄຟທ໌ໄອໂຊສະແຕຕິກທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດສູງ (ຂີ້ເທົ່າ < 5 ppm) + ເຄື່ອງຈັກ CNC ຄວາມແມ່ນຍຳສູງ 5 ແກນ + ການສ້າງແບບຈຳລອງຄວາມຮ້ອນ FEA
  • ຜົນໄດ້ຮັບທີ່ມີປະລິມານ:ຜົນຜະລິດການດຶງຜລຶກເພີ່ມຂຶ້ນ 14.2%, ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຖ້ວຍກາໄຟຟຣັດໄດ້ຍືດອອກ 25%, ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ລະລາຍຫຼຸດລົງຕໍ່າກວ່າມາດຕະຖານມາດຕະຖານອຸດສາຫະກໍາ.

ໃນການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ monocrystalline ຂອງ Czochralski (CZ), ຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ເຮັດໜ້າທີ່ເປັນອົງປະກອບຮັບນ້ຳໜັກ ແລະ ການນຳຄວາມຮ້ອນຫຼັກທີ່ຮອງຮັບຖ້ວຍຄວດ quartz ແລະ ຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ (>1,450°C). ຄວາມບໍລິສຸດ ແລະ ປະສິດທິພາບຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນຂອງມັນກຳນົດຜົນຜະລິດການດຶງໄປເຊຍກັນ ແລະ ຄຸນສົມບັດທາງໄຟຟ້າໂດຍກົງ. ວັດສະດຸກຣາໄຟທ໌ທຳມະດາມັກຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການຜິດຮູບຂອງຖ້ວຍຄວດ quartz, ການແຜ່ກະຈາຍຂອງສິ່ງເຈືອປົນຂອງໂລຫະ, ແລະ ການປົນເປື້ອນຂອງຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ. ການສຶກສາກໍລະນີນີ້ລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບວິທີທີ່ທີມງານວິສະວະກຳສະໜາມຄວາມຮ້ອນອາວຸໂສທີ່ VET ໄດ້ປັບແຕ່ງຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງສຳລັບ S-AG (ເຢຍລະມັນ), ແກ້ໄຂບັນຫາການປົນເປື້ອນຂອງສິ່ງເຈືອປົນ ແລະ ຄວາມທ້າທາຍຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງທີ່ສຸດເພື່ອໃຫ້ບັນລຸປະສິດທິພາບດ້ານຕົ້ນທຶນທີ່ສຳຄັນ.

ຮູບທີ 1: ແຜນວາດການຕິດຕັ້ງເຕົາອົບແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ VET ພາຍໃນເຕົາດຶງແກ້ວ Czochralski (CZ)

ວິທີທີ່ໝໍ້ຫຸງຕົ້ມກຣາໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການປົນເປື້ອນຂອງສິ່ງເຈືອປົນ ແລະ ຂໍ້ບົກຜ່ອງໃນຊິລິໂຄນ CZ

ສະຫຼຸບຫຼັກ: ຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີປະລິມານຂີ້ເທົ່າ < 5 ppm ສາມາດສະກັດກັ້ນການແຜ່ກະຈາຍຂອງໂລຫະຮ່ອງຮອຍເຂົ້າໄປໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍ, ເຊິ່ງຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການເຄື່ອນທີ່ຂອງຜລຶກ ແລະ ເພີ່ມອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວນຳສ່ວນນ້ອຍໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

1. ຈຸດອ່ອນຂອງໃບສະໝັກ ແລະ ລູກຄ້າ

ໃນຂະນະທີ່ໃຊ້ເຕົາອົບດຶງຊິລິໂຄນ CZ ຊັ້ນເຄິ່ງຕົວນຳຂະໜາດ 12 ນິ້ວ (300 ມມ) ຢູ່ໂຮງງານຜະລິດຂອງຕົນໃນປະເທດເຢຍລະມັນ, ລູກຄ້າ S-AG ໄດ້ປະເຊີນກັບການຫຼຸດລົງຢ່າງຮ້າຍແຮງຂອງອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວຮັບສ່ວນໜ້ອຍຂອງແທ່ງໂລຫະ ແລະ ອັດຕາການເຄື່ອນທີ່ຂອງຂອບທີ່ສູງຂຶ້ນ. ການທົດສອບສະແດງໃຫ້ເຫັນວ່າສິ່ງເຈືອປົນຂອງຂີ້ເທົ່າຮ່ອງຮອຍ (B, Fe, Cu) ພາຍໃນເຕົາອົບແກຣໄຟທ໌ທຳມະດາໄດ້ເຈາະເຂົ້າໄປໃນຝາເຕົາອົບ quartz ໃນລະຫວ່າງການດຶງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງທີ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 1,450°C. ສິ່ງປົນເປື້ອນເຫຼົ່ານີ້ແຜ່ກະຈາຍໂດຍກົງເຂົ້າໄປໃນຊິລິໂຄນທີ່ລະລາຍ, ລົບກວນຄວາມສົມບູນຂອງໂຄງສ້າງຜລຶກ ແລະ ປ້ອງກັນບໍ່ໃຫ້ແຜ່ນເວເຟີຕອບສະໜອງມາດຕະຖານຄຸນນະພາບ SEMI C12 ແລະ ISO 9001.

2. ວິທີແກ້ໄຂດ້ານວິສະວະກຳ ແລະ ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດຂະບວນການ

ທີມງານວິສະວະກອນ VET ໄດ້ສະໜອງຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມໜາແໜ້ນສູງ ເຊິ່ງໄດ້ຮັບການກັ່ນຕອງອາຍແກັສຮາໂລເຈນທີ່ອຸນຫະພູມສູງຢ່າງເລິກເຊິ່ງ:

  • ການຄັດເລືອກວັດສະດຸ ແລະ ການບໍລິສຸດຢ່າງເລິກເຊິ່ງ:ແກຣໄຟທ໌ໄອໂຊສະແຕັກທີ່ມີເມັດລະອຽດ (ຂະໜາດເມັດ ≤ 8 μm) ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ (≥ 1.85 g/cm³) ໄດ້ຖືກບໍລິສຸດໃນເຕົາອົບສູນຍາກາດໃນໄລຍະວົງຈອນອາຍແກັສຮາໂລເຈນທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ 72 ຊົ່ວໂມງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ປະລິມານຂີ້ເທົ່າທັງໝົດຫຼຸດລົງເຫຼືອ < 5 ppm.
  • ການທົດສອບແບບ Batch ຂອງ GDMS:ການວັດແທກຄວາມເປິະເປື້ອນຂອງໂລຫະທີ່ມີຄວາມລະອຽດສູງ (GDMS) ໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອກວດສອບສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະທີ່ສຳຄັນເປັນຊຸດໆ, ຮັບປະກັນວ່າອົງປະກອບສິ່ງປົນເປື້ອນຫຼັກຖືກຫຼຸດລົງເຖິງລະດັບ ppb (ເບິ່ງຕາຕະລາງຂໍ້ມູນຂ້າງລຸ່ມນີ້).

ອົງປະກອບມົນລະພິດ ແກຣໄຟດ໌ອັດແໜ້ນແບບດັ້ງເດີມ ແກຣໄຟດ໌ໄອໂຊສະແຕັກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ VET ມາດຕະຖານ S-AG (ເຄິ່ງ C12)
ຂີ້ເທົ່າທັງໝົດ ≈ 150 ppm < 3.8 ppm < 5.0 ppm
ທາດເຫຼັກ (Fe) 12.5 ppm 18 ppb < 50 ppb
ທອງແດງ (Cu) 3.2 ppm < 5 ppb < 10 ppb
ໂບຣອນ (B) 1.8 ppm 12 ppb < 20 ppb
ນິກເກີນ (Ni) 4.1 ppm 15 ppb < 30 ppb

ຫຼັງຈາກການນຳໃຊ້ການຜະລິດ, ການປົນເປື້ອນຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ລະລາຍດ້ວຍຊິລິກອນໄດ້ຫຼຸດລົງຫຼາຍກວ່າ 85%, ໃນຂະນະທີ່ອາຍຸການໃຊ້ງານສະເລ່ຍຂອງຕົວຂົນສົ່ງສ່ວນໜ້ອຍຂອງໂລຫະປະສົມເພີ່ມຂຶ້ນ 32%. ເຂົ້າເບິ່ງເວັບໄຊທ໌ຂອງພວກເຮົາ[ເຂດທົດສອບ GDMS ແລະ ການກັ່ນອາຍແກັສຮາໂລເຈນອຸນຫະພູມສູງ]ເພື່ອຄົ້ນຫາລາຍລະອຽດທາງເທັກນິກຢ່າງລະອຽດ.

ຮູບທີ 2: ການປຽບທຽບການແຈກຢາຍຕະຫຼອດຊີວິດຂອງຜູ້ຂົນສົ່ງສ່ວນນ້ອຍກ່ອນ ແລະ ຫຼັງການຮັບຮອງເອົາຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ VET ທີ່ S-AG

ການເພີ່ມປະສິດທິພາບໂຄງສ້າງສະໜາມຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນຜ່ານໝໍ້ຫຸງຕົ້ມກາໄຟດແບບໄອໂຊສະຖິດ

ສະຫຼຸບຫຼັກ: ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນແບບໄອໂຊໂທຣປິກທີ່ເປັນເອກະພາບລວມກັບຄວາມແຂງແຮງທາງກົນຈັກສູງຊ່ວຍປ້ອງກັນການຜິດຮູບຂອງໝໍ້ປັ້ນ ແລະ ການສ້າງຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍໃນລະຫວ່າງວົງຈອນຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.

1. ຈຸດອ່ອນຂອງໃບສະໝັກ ແລະ ລູກຄ້າ

ຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ທີ່ຖືກບີບອັດແບບດັ້ງເດີມຂອງ S-AG ມັກຈະປະສົບກັບການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນແບບລັດສະໝີທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີ, ການແຕກຂອງຝາ, ຫຼື ການຫຍ่อนຍານຂອງພື້ນຜິວຫຼັງຈາກຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນຫຼາຍສິບຮອບ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມກົດດັນທີ່ບໍ່ສະເໝີພາບ ແລະ ການອ່ອນລົງ/ການຍຸບຕົວຂອງຖ້ວຍຄວອດພາຍໃນໃນອຸນຫະພູມສູງ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເຕົາໄຟປິດ. ອາຍຸການໃຊ້ງານໂດຍສະເລ່ຍຂອງຖ້ວຍກຣາໄຟທ໌ແມ່ນຕໍ່າກວ່າ 180 ຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາ ແລະ ເວລາຢຸດເຮັດວຽກຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

2. ວິທີແກ້ໄຂດ້ານວິສະວະກຳ ແລະ ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດຂະບວນການ

ເພື່ອແກ້ໄຂບັນຫາການຜິດຮູບທີ່ເກີດຈາກຄວາມຮ້ອນສູງ, ດຣ. ມາຄັສ ໄດ້ນຳພາທີມງານວິສະວະກຳ VET ຜ່ານຂະບວນການທົດແທນທີ່ໄດ້ມາດຕະຖານສາມຂັ້ນຕອນຄື:

[ໄລຍະທີ 1: ການວິນິດໄສ]

• ການສ້າງແບບຈຳລອງຄວາມຮ້ອນ FEA
• ການປັບແຕ່ງ CTE ລະອຽດ (4.8×10− ±6;/K)

[ໄລຍະທີ 2: ການຜະລິດ]

• ການກົດດ້ວຍລະບົບໄອໂຊສະແຕຕິກເຢັນ
• ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍ 45 MPa

[ໄລຍະທີ 3: ການຢັ້ງຢືນ]

• ທົດລອງໃຊ້ຢູ່ໃນສະຖານທີ່ 60 ມື້
• ຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນ 220+

  • ການປະເມີນໂຄງສ້າງ ແລະ ການຈັບຄູ່ຄວາມຮ້ອນ (ການວິນິດໄສ):ທີມງານໄດ້ປະຕິບັດການສ້າງແບບຈຳລອງການວິເຄາະອົງປະກອບທີ່ຈຳກັດ (FEA) ກ່ຽວກັບການປ່ຽນສີຄວາມຮ້ອນຂອງ S-AG ແລະ ໄດ້ອອກແບບຮູບແບບການວາງຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟທ໌ແບບແຍກ 3 ຊິ້ນຄືນໃໝ່. ສູດວັດສະດຸໄດ້ຖືກປັບປຸງໃຫ້ສອດຄ່ອງກັບຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນ (CTE) ທີ່ 4.8 × 10− µ6;/K, ເຊິ່ງບັນລຸຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ສູງກັບຊັ້ນໃນ quartz ທີ່ 1,450°C ແລະ ກຳຈັດຄວາມເຄັ່ງຕຶງທາງກົນຈັກ.
  • ການຂຶ້ນຮູບດ້ວຍຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ ແລະ ເຄື່ອງຈັກທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (ການຜະລິດ):ການບີບອັດດ້ວຍຄວາມຮ້ອນແບບໄອໂຊສະຖິດ (CIP) ໄດ້ຜະລິດບລັອກແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍ 45 MPa. ການເຄື່ອງຈັກ CNC 5 ແກນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ (ຄວາມທົນທານ ±0.01 ມມ) ຮັບປະກັນວ່າອົງປະກອບຕ່າງໆຈະທົນທານຕໍ່ຜົນກະທົບທາງກົນຈັກ ແລະ ອາການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນເມື່ອໂຫຼດດ້ວຍປະຈຸໄຟຟ້າຊິລິໂຄນຫຼາຍຮ້ອຍກິໂລກຣາມ.
  • ການທົດສອບຢູ່ໃນສະຖານທີ່ ແລະ ການຢັ້ງຢືນອາຍຸການໃຊ້ງານ (ການຢັ້ງຢືນ):S-AG ໄດ້ດຳເນີນການທົດລອງຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງເປັນເວລາ 60 ມື້ໃນປະເທດເຢຍລະມັນ. ຫຼັງຈາກຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນຫຼາຍກວ່າ 220 ຄັ້ງ (~1,500 ຊົ່ວໂມງໃນຄວາມຮ້ອນສູງສຸດ), ຂະໜາດຍັງຄົງບໍ່ມີການຜິດຮູບໂດຍບໍ່ມີຮອຍແຕກຂະໜາດນ້ອຍ, ເຊິ່ງໄດ້ກຳຈັດການປິດເຕົາໄຟທີ່ເກີດຈາກຄວາມລົ້ມເຫຼວຂອງແມ່ເຫຼັກໄດ້ຢ່າງສຳເລັດຜົນ.

ຮູບທີ 3: ຂະບວນການເຄື່ອງຈັກ CNC ຄວາມແມ່ນຍໍາ 5 ແກນ VET ແລະ ການກວດສອບຄວາມບໍລິສຸດຂອງມວນສານ GDMS

ການນຳໃຊ້ການຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງໃນການເຕີບໂຕຂອງຊິລິໂຄນ monocrystalline CZ

ສະຫຼຸບຫຼັກ: ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຄວາມສົມມາດທາງເລຂາຄະນິດ ແລະ ການແຈກຢາຍການນຳຄວາມຮ້ອນເຮັດໃຫ້ການປະສານລະຫວ່າງຂອງແຂງ ແລະ ຂອງແຫຼວມີຄວາມໝັ້ນຄົງ, ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອົກຊີເຈນໃນລະຫວ່າງການເຕີບໂຕຂອງຜລຶກທີ່ຍາວນານ.

1. ຈຸດອ່ອນຂອງໃບສະໝັກ ແລະ ລູກຄ້າ

ໃນລະຫວ່າງການດຶງເປັນເວລາດົນນານຂອງແທ່ງຊິລິໂຄນທີ່ມີສານປະສົມຫຼາຍ ຫຼື ບໍ່ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງ, ຄວາມບໍ່ສົມດຸນຂອງຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນຢູ່ທີ່ຈຸດຕິດຕໍ່ລະຫວ່າງຂອງແຂງ ແລະ ຂອງແຫຼວເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມວຸ້ນວາຍຂອງການພາຄວາມຮ້ອນຂອງລະລາຍ. ສິ່ງນີ້ນຳໄປສູ່ການປ່ຽນແປງຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອົກຊີເຈນໃນແກນ ແລະ ຮั້ວ, ເຮັດໃຫ້ຜົນຜະລິດຂອງການອົບອ່ອນຫຼຸດລົງໃນລະຫວ່າງການຕັດແຜ່ນເວເຟີຕໍ່ມາ.

2. ການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດດ້ານວິຊາການ ແລະ ມູນຄ່າ

  • ການຈຳລອງພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນ:ການຈຳລອງ FEA ໄດ້ສ້າງແຜນທີ່ເສັ້ນທາງການນຳຄວາມຮ້ອນລະຫວ່າງ 1,450°C ແລະ 1,550°C, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຄວາມໜາຂອງຝາຜະໜັງຂອງໝໍ້ຕົ້ມດີຂຶ້ນ.
  • ການຄວບຄຸມຄວາມທົນທານຂອງຄວາມສົມມາດ:ຄວາມທົນທານຂອງຄວາມໜາຂອງຝາຖືກຈຳກັດພາຍໃນ ±0.005 ມມ, ເຊິ່ງເພີ່ມຄວາມສົມມາດທາງຄວາມຮ້ອນຂຶ້ນ 18%.

ຜ່ານການຄວບຄຸມຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ຊັດເຈນ, S-AG ບັນລຸການປັບປຸງ 22% ໃນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຄວາມເຂັ້ມຂຸ້ນຂອງອົກຊີເຈນຕາມແກນຂອງແທ່ງ, ຄວາມໄວໃນການດຶງເພີ່ມຂຶ້ນ 8%, ແລະ ການຫຼຸດຜ່ອນຂໍ້ບົກຜ່ອງໃນການເຄື່ອນທີ່ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ. ສຳລັບລາຍລະອຽດກ່ຽວກັບສ່ວນປະກອບ, ສຳຫຼວດເບິ່ງ[ໝໍ້ຫຸງຕົ້ມກຣາໄຟດໄອໂຊສະແຕຕິກທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ຊິ້ນສ່ວນສະໜາມຄວາມຮ້ອນ]ລາຍການຜະລິດຕະພັນ.

ຄຳຖາມທີ່ຖືກຖາມເລື້ອຍໆ (FAQ)

ຄຳຖາມທີ 1: ເປັນຫຍັງການຄວບຄຸມປະລິມານຂີ້ເທົ່າຈຶ່ງມີຄວາມສຳຄັນຫຼາຍສຳລັບໝໍ້ຕົ້ມແກຣໄຟທ໌ທີ່ໃຊ້ໃນການດຶງຊິລິໂຄນ CZ?

A:ເມື່ອສູງກວ່າ 1,450°C, ສິ່ງເຈືອປົນໂລຫະທີ່ມີຮ່ອງຮອຍ (Fe, Cu, B) ຈະແຜ່ກະຈາຍຜ່ານເຕົາຫລອມ quartz ເຂົ້າໄປໃນຊິລິກອນທີ່ລະລາຍ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ເກີດຂໍ້ບົກຜ່ອງທາງໄຟຟ້າ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວນຳສ່ວນໜ້ອຍລົງຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ຄຳຖາມທີ 2: ຄວາມແຕກຕ່າງດ້ານປະສິດທິພາບຫຼັກລະຫວ່າງ graphite isostatic ແລະ extruded ໃນເຕົາ CZ ແມ່ນຫຍັງ?

A:ແກຣໄຟທ໌ໄອໂຊສະແຕັກມີຄຸນສົມບັດທາງຄວາມຮ້ອນແບບໄອໂຊໂທຣປິກ, ຄວາມໜາແໜ້ນສູງກວ່າ, ໂຄງສ້າງເມັດລະອຽດ, ແລະ ຄວາມແຂງແຮງໃນການບິດງໍທີ່ດີກວ່າ (≥ 45 MPa). ມັນທົນທານຕໍ່ການຊ໊ອກຄວາມຮ້ອນຊ້ຳໆໂດຍບໍ່ມີການບິດເບືອນ, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານໄດ້ 20% ຫາ 30% ເມື່ອທຽບກັບແກຣໄຟທ໌ທີ່ຖືກບີບອັດ.

ຄຳຖາມທີ 3: ການຈັບຄູ່ CTE ຊ່ວຍຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງໝໍ້ຫຸງ quartz ແລະ graphite ໄດ້ແນວໃດ?

A:ຄ່າສຳປະສິດການຂະຫຍາຍຕົວທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ກົງກັນຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນແຮງສຽດທານ ແລະ ຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກລະຫວ່າງຝາຫີນຄວດສ໌ ແລະ ແກຣໄຟທ໌ ໃນລະຫວ່າງວົງຈອນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ/ຄວາມເຢັນ, ປ້ອງກັນການແຕກ ຫຼື ການຍຸບຕົວຂອງຫີນຄວດສ໌ກ່ອນໄວອັນຄວນ.

ສະຫຼຸບ ແລະ ຄຸນຄ່າຂອງລູກຄ້າ

ໂດຍການນຳໃຊ້ຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງ VET ແລະ ວິທີແກ້ໄຂພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນທີ່ກຳນົດເອງ, ບໍລິສັດເວເຟີຍັກໃຫຍ່ຂອງເອີຣົບ S-AG ໄດ້ເອົາຊະນະການແຜ່ກະຈາຍຂອງສິ່ງປົນເປື້ອນ ແລະ ອຸປະສັກດ້ານຄວາມກົດດັນທາງຄວາມຮ້ອນ. ຜົນໄດ້ຮັບຫຼັກຂອງໂຄງການລວມມີ:

  • ຜົນຜະລິດການດຶງຊິລິໂຄນ monocrystalline ເພີ່ມຂຶ້ນ14.2%
  • ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິ້ນສ່ວນສະໜາມຄວາມຮ້ອນຂອງແກຣໄຟຣ໌ໄດ້ຂະຫຍາຍອອກໄປໂດຍ25%(ເກີນ 220+ ຮອບວຽນຄວາມຮ້ອນ)
  • ການໃຊ້ພະລັງງານໂດຍລວມຕໍ່ກິໂລຂອງແຜ່ນຊິລິໂຄນຫຼຸດລົງປະມານ11%

ກ່ຽວກັບຜູ້ຂຽນ ແລະ ທີມງານດ້ານວິຊາການ

ດຣ. ມາຄັສ — ວິສະວະກອນອາວຸໂສດ້ານຄວາມຮ້ອນ ແລະ ວັດສະດຸຂັ້ນສູງ, ນັກຮົບເກົ່າ

ດຣ. ມາຄັສ ມີປະສົບການດ້ານການຄົ້ນຄວ້າ ແລະ ພັດທະນາຫຼາຍກວ່າ 15 ປີ ໃນການອອກແບບພາກສະໜາມຄວາມຮ້ອນຂອງເຄິ່ງຕົວນຳ ແລະ ການກັ່ນຕອງວັດສະດຸປະສົມທີ່ອີງໃສ່ຄາບອນ, ໂດຍມີຄວາມຊ່ຽວຊານໃນການສ້າງແບບຈຳລອງຄວາມກົດດັນຄວາມຮ້ອນຂອງເຕົາອົບ CZ ແລະ ການພັດທະນາຂະບວນການແກຣໄຟດ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ (<5 ppm). ການສຶກສາກໍລະນີນີ້ແມ່ນອີງໃສ່ຂໍ້ມູນການຈັດຕັ້ງປະຕິບັດພາກສະໜາມຈາກລູກຄ້າເອີຣົບ S-AG (ລາຍງານເລກທີ: VET-CS-2025-SAG04).

ພ້ອມທີ່ຈະເພີ່ມປະສິດທິພາບສະໜາມຄວາມຮ້ອນຂອງເຕົາເຜົາ CZ ຂອງທ່ານແລ້ວບໍ?

ຖ້າທ່ານປະເຊີນກັບລະດັບສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ສູງ, ການບິດເບືອນຂອງຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟ, ຫຼື ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວຮັບສ່ວນນ້ອຍຕໍ່າ, ໃຫ້ຕິດຕໍ່ທີມງານວິສະວະກອນຂອງ VET ສຳລັບການສ້າງແບບຈຳລອງ FEA ທີ່ກຳນົດເອງ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂການທົດແທນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.

ພ້ອມທີ່ຈະເພີ່ມປະສິດທິພາບສະໜາມຄວາມຮ້ອນຂອງເຕົາເຜົາ CZ ຂອງທ່ານແລ້ວບໍ?

ຖ້າທ່ານປະເຊີນກັບລະດັບສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ສູງ, ການບິດເບືອນຂອງຖ້ວຍແກ້ວແກຣໄຟ, ຫຼື ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຕົວຮັບສ່ວນນ້ອຍຕໍ່າ, ໃຫ້ຕິດຕໍ່ທີມງານວິສະວະກອນຂອງ VET ສຳລັບການສ້າງແບບຈຳລອງ FEA ທີ່ກຳນົດເອງ ແລະ ວິທີແກ້ໄຂການທົດແທນທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ.


ເວລາໂພສ: ສິງຫາ-22-2026
ສົນທະນາ WhatsApp ອອນໄລນ໌!