ຄວາມຕ້ອງການຂອງອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາແມ່ນສູງໂດຍສະເພາະ, ຂະໜາດອະນຸພາກລະອຽດຂອງ graphite ມີຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ, ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ, ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງສູງ, ການສູນເສຍນ້ອຍ ແລະ ຂໍ້ໄດ້ປຽບອື່ນໆ, ເຊັ່ນ: ແມ່ພິມຜະລິດຕະພັນ graphite ທີ່ຖືກລະລາຍ.ເນື່ອງຈາກອຸປະກອນແກຣໄຟທ໌ທີ່ໃຊ້ໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ (ລວມທັງເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ ແລະ ແມ່ພິມທີ່ຖືກເຜົາໄໝ້) ຕ້ອງທົນທານຕໍ່ຂະບວນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມເຢັນຊ້ຳໆ, ເພື່ອຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງອຸປະກອນແກຣໄຟທ໌, ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວ ວັດສະດຸແກຣໄຟທ໌ທີ່ໃຊ້ຕ້ອງມີປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ໜ້າທີ່ທົນຕໍ່ຜົນກະທົບຄວາມຮ້ອນ.
01 ອຸປະກອນເສີມ Graphite ສຳລັບການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຜລຶກ semiconductor
ຂະບວນການທັງໝົດທີ່ໃຊ້ໃນການປູກຜລຶກເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນດຳເນີນງານພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ກັດກ່ອນ. ເຂດຮ້ອນຂອງເຕົາເຜົາຜລຶກມັກຈະມີອົງປະກອບແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ທົນຄວາມຮ້ອນ ແລະ ທົນຕໍ່ການກັດກ່ອນ, ເຊັ່ນ: ເຄື່ອງເຮັດຄວາມຮ້ອນ, ເຕົາອົບ, ຖັງກັນຄວາມຮ້ອນ, ຖັງນຳທາງ, ຂົ້ວໄຟຟ້າ, ຕົວຍຶດເຕົາອົບ, ນັອດຂົ້ວໄຟຟ້າ, ແລະອື່ນໆ.
ພວກເຮົາສາມາດຜະລິດຊິ້ນສ່ວນແກຣໄຟທ໌ທັງໝົດຂອງອຸປະກອນການຜະລິດຜລຶກ, ເຊິ່ງສາມາດສະໜອງໄດ້ເປັນສ່ວນບຸກຄົນ ຫຼື ເປັນຊຸດ, ຫຼື ຊິ້ນສ່ວນແກຣໄຟທ໌ທີ່ກຳນົດເອງໄດ້ໃນຂະໜາດຕ່າງໆຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ. ຂະໜາດຂອງຜະລິດຕະພັນສາມາດວັດແທກໄດ້ໃນສະຖານທີ່, ແລະ ປະລິມານຂີ້ເທົ່າຂອງຜະລິດຕະພັນສຳເລັດຮູບສາມາດໜ້ອຍລົງ.ຫຼາຍກວ່າ 5 ppm.
02 ອຸປະກອນເສີມ Graphite ສຳລັບ semiconductor epitaxy
ຂະບວນການ Epitaxial ໝາຍເຖິງການເຕີບໂຕຂອງຊັ້ນຂອງວັດສະດຸຜລຶກດຽວທີ່ມີການຈັດລຽງແບບຕາໜ່າງດຽວກັນກັບຊັ້ນຮອງພື້ນເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນຜລຶກດຽວ. ໃນຂະບວນການ epitaxial, ແຜ່ນ wafer ຈະຖືກໂຫຼດຢູ່ເທິງແຜ່ນ graphite. ປະສິດທິພາບ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງແຜ່ນ graphite ມີບົດບາດສຳຄັນຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຊັ້ນ epitaxial ຂອງແຜ່ນ wafer. ໃນຂົງເຂດການຜະລິດ epitaxial, ຕ້ອງການ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຫຼາຍ ແລະ ພື້ນຖານ graphite ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີການເຄືອບ SIC.
ຖານແກຣໄຟດ໌ຂອງບໍລິສັດຂອງພວກເຮົາສຳລັບສານເຄິ່ງຕົວນຳ epitaxy ມີການນຳໃຊ້ທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ສາມາດຈັບຄູ່ກັບອຸປະກອນສ່ວນໃຫຍ່ທີ່ໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກຳ, ແລະ ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ການເຄືອບສະໝໍ່າສະເໝີ, ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ດີເລີດ, ແລະ ທົນທານຕໍ່ສານເຄມີສູງ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ.
03 ອຸປະກອນເສີມ Graphite ສຳລັບການຝັງໄອອອນ
ການຝັງໄອອອນໝາຍເຖິງຂະບວນການເລັ່ງລຳແສງພລາສມາຂອງໂບຣອນ, ຟອສຟໍຣັດ ແລະ ອາເຊນິກໃຫ້ມີພະລັງງານທີ່ແນ່ນອນ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນສັກມັນເຂົ້າໄປໃນຊັ້ນໜ້າດິນຂອງວັດສະດຸແຜ່ນເພື່ອປ່ຽນຄຸນສົມບັດຂອງວັດສະດຸຂອງຊັ້ນໜ້າດິນ. ອົງປະກອບຂອງອຸປະກອນຝັງໄອອອນຕ້ອງເຮັດດ້ວຍວັດສະດຸທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ການນຳຄວາມຮ້ອນ, ການກັດກ່ອນໜ້ອຍລົງທີ່ເກີດຈາກລຳແສງໄອອອນ ແລະ ມີປະລິມານສິ່ງເຈືອປົນຕ່ຳ. ແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງການນຳໃຊ້, ແລະ ສາມາດໃຊ້ສຳລັບທໍ່ບິນ, ຮອຍແຕກຕ່າງໆ, ຂົ້ວໄຟຟ້າ, ຝາປິດຂົ້ວໄຟຟ້າ, ທໍ່ສົ່ງ, ຕົວຢຸດລຳແສງ, ແລະອື່ນໆຂອງອຸປະກອນຝັງໄອອອນ.
ພວກເຮົາບໍ່ພຽງແຕ່ສາມາດສະໜອງຝາປິດປ້ອງກັນແກຣໄຟທ໌ສຳລັບເຄື່ອງຈັກຝັງໄອອອນຕ່າງໆເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງສະໜອງເອເລັກໂຕຣດແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ແຫຼ່ງໄອອອນທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນສູງໃນຫຼາຍສະເປັກ. ຮຸ່ນທີ່ໃຊ້ໄດ້: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM ແລະ ອຸປະກອນອື່ນໆ. ນອກຈາກນັ້ນ, ພວກເຮົາຍັງສາມາດສະໜອງຜະລິດຕະພັນເຊລາມິກ, ທັງສະເຕນ, ໂມລິບດີນຳ, ອາລູມິນຽມ ແລະ ຊິ້ນສ່ວນເຄືອບທີ່ກົງກັນ.
04 ວັດສະດຸກັນຄວາມຮ້ອນ Graphite ແລະອື່ນໆ
ວັດສະດຸກັນຄວາມຮ້ອນທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳປະກອບມີ graphite ແຂງ, ຜ້າອ່ອນ, ຟອຍ graphite, ເຈ້ຍ graphite, ແລະ ເຊືອກ graphite.
ວັດຖຸດິບທັງໝົດຂອງພວກເຮົາແມ່ນ graphite ນຳເຂົ້າ, ເຊິ່ງສາມາດຕັດໄດ້ຕາມຂະໜາດສະເພາະຂອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລູກຄ້າ ຫຼື ຂາຍທັງໝົດ.
ຖາດຄາບອນ-ຄາບອນຖືກໃຊ້ເປັນຕົວນຳສຳລັບການເຄືອບຟິມໃນຂະບວນການຜະລິດຊິລິໂຄນ monocrystalline ແລະ polycrystalline ທີ່ມີພະລັງງານແສງຕາເວັນ. ຫຼັກການເຮັດວຽກແມ່ນ: ໃສ່ຊິບຊິລິໂຄນເຂົ້າໄປໃນຖາດ CFC ແລະສົ່ງມັນເຂົ້າໄປໃນທໍ່ເຕົາເພື່ອປຸງແຕ່ງການເຄືອບຟິມ.
