پورس سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس پروسيسنگ ۽ خاصيتون

Ⅰ. تعارف

پورس سلڪون ڪاربائيڊ (پورس سي آءِ سي) سيرامڪسترقي يافته سيرامڪ مواد آهن جيڪي سلڪون ڪاربائيڊ جي شاندار خاصيتن کي احتياط سان انجنيئر ٿيل پورس ڍانچي سان گڏ ڪن ٿا. گهاٽي SiC سيرامڪس جي برعڪس، پورس SiC هڪ ٻئي سان ڳنڍيل سوراخ متعارف ڪرائيندو آهي جيڪي اضافي ڪم مهيا ڪن ٿا، جن ۾ ڪنٽرول ٿيل پارگميتا، هلڪو وزن ڊيزائن، حرارتي موصليت، ۽ بهتر سيال ٽرانسپورٽ صلاحيت شامل آهن.

بهترين حرارتي استحڪام، ڪيميائي مزاحمت، ۽ ميڪيڪل اعتبار سان، پورس SiC سيرامڪس اعليٰ درجه حرارت واري صنعتن ۾، خاص طور تي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾، جتي پروسيس ماحول اعليٰ پاڪائي، سنکنرن جي مزاحمت، ۽ ڊگهي مدت جي آپريشنل استحڪام جي گهرج ۾، تيزي سان اهم بڻجي ويا آهن.

Ⅱ. پورس سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس جون مادي خاصيتون

1. تيز گرمي پد جي استحڪام

سلڪون ڪاربائڊ پنهنجي مضبوط Si-C ڪوويلنٽ بانڊنگ جي ڪري انتهائي گرمي پد ۾ پنهنجي بهترين ڪارڪردگي لاءِ مشهور آهي. پورس SiC اعليٰ درجه حرارت واري ماحول ۾ ساخت جي سالميت کي برقرار رکي ٿو، ان کي سيمي ڪنڊڪٽر ٿرمل پروسيسنگ، ايپيٽيڪسي سسٽم، ۽ فرنس حصن لاءِ موزون بڻائي ٿو.

ان جو گهٽ حرارتي توسيع جو ڪوئفيشيٽ ۽ بهترين حرارتي جھٽڪو مزاحمت خرابي کي گهٽائڻ ۽ عمل جي استحڪام کي بهتر بڻائڻ ۾ مدد ڪري ٿو.

2. اعليٰ ڪيميائي ۽ پلازما مزاحمت

سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ جارحاڻي گيسون ۽ پلازما ماحول شامل آهن، جن ۾ ڪلورين تي ٻڌل گيسون، فلورين پلازما، ۽ اعليٰ درجه حرارت تي رد عمل ڪندڙ ماحول شامل آهن.

پورس سي سي سيرامڪس پيش ڪن ٿا:

• بهترين آڪسائيڊشن مزاحمت
• اعلي ڪيميائي استحڪام
• مضبوط پلازما ڪٽڻ جي مزاحمت
• گھٽ آلودگي جون خاصيتون

اهي فائدا سيمي ڪنڊڪٽر سامان ۾ ذرڙن جي پيداوار کي گهٽائڻ ۽ جزو جي زندگي وڌائڻ ۾ مدد ڪن ٿا.

3. ڪنٽرول ٿيل پورسيٽي ۽ گيس پارگميتا

پورس سي آءِ سي جو اهم فائدو ان جي ترتيب ڏيڻ واري پورس جي جوڙجڪ آهي. پورس جي سائيز، ورڇ ۽ ڪنيڪٽوٽي کي ڪنٽرول ڪندي، ٺاهيندڙ ميڪيڪل طاقت ۽ پارگميتا جي وچ ۾ توازن کي بهتر بڻائي سگهن ٿا.

هي منفرد خصوصيت پورس سي سي کي ڪم ڪرڻ جي قابل بڻائي ٿي:

• گئس پکيڙڻ وارو مواد
• فلٽريشن جي جوڙجڪ
• حرارتي انتظام جا جزا

Ⅲ. پورس سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪس جي پروسيسنگ ٽيڪنالاجيون

سڪل SiC سيرامڪس جي ڪارڪردگي گهڻو ڪري پيداوار جي طريقن ۽ مائڪرو اسٽرڪچر ڊيزائن تي منحصر آهي.

ڪاربوٿرمل گھٽتائي

هي روايتي عمل سلڪون تي مشتمل مواد ۽ ڪاربان ذريعن جي وچ ۾ اعليٰ درجه حرارت جي رد عمل ذريعي پورس SiC پيدا ڪري ٿو. اهو بهترين حرارتي استحڪام سان اعليٰ پاڪائي واري SiC فريم ورڪ جي ٺهڻ کي قابل بڻائي ٿو.

مائع فيز سنٽرنگ

مائع-مرحلي سنٽرنگ ذرڙن جي بانڊنگ ۽ کثافت کي بهتر بڻائڻ لاءِ اضافو استعمال ڪري ٿي. سنٽرنگ جي درجه حرارت ۽ اضافي ڪيمسٽري کي ترتيب ڏيڻ سان، ٺاهيندڙ بهتر ميڪيڪل طاقت ۽ سوراخ جي ورڇ حاصل ڪري سگهن ٿا.

ڪيميائي بخارات جي ڦهلاءُ (CVI)

CVI گيس جي اڳڪٿين کي سوراخ واري بناوتن ۾ متعارف ڪرائيندو آهي، جتي SiC اندروني سطحن تي جمع ٿئي ٿو. هي طريقو ساخت جي طاقت، پاڪائي، ۽ اعليٰ درجه حرارت جي استحڪام کي بهتر بڻائي ٿو.

فومنگ ۽ ٽيمپليٽ جا طريقا

فومنگ ۽ ٽيمپليٽ تي ٻڌل ٽيڪنالاجيون پوئر ٺاهڻ واري ايجنٽ يا قرباني ٽيمپليٽ کي ڪنٽرول ڪندي درجي بندي پوئر structures ٺاهينديون آهن. اهي طريقا بهترين پارگميتا ۽ ڪسٽمائيز پوئر آرڪيٽيڪچر فراهم ڪن ٿا.

Ⅳ. سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ ايپليڪيشنون

حرارتي، ڪيميائي، ۽ ساخت جي خاصيتن جي منفرد ميلاپ جي ڪري، پورس SiC سيرامڪس سيمي ڪنڊڪٽر عملن ۾ تيزي سان استعمال ٿي رهيا آهن.

گئس ورڇ جا جزا

سي وي ڊي، پي اي سي وي ڊي، ۽ اي ايل ڊي سسٽم ۾، پورس سي آءِ سي گيس ڊفيوزر ۽ ڊسٽريبيوشن پليٽس طور ڪم ڪري سگهي ٿو ته جيئن هڪجهڙائي واري عمل جي گئس جي وهڪري حاصل ڪري سگهجي ۽ فلم جي جمع ٿيڻ جي تسلسل کي بهتر بڻائي سگهجي.

پلازما پروسيسنگ جو سامان

پلازما ايچنگ ۽ صفائي جي نظامن ۾، پورس سي سي جزا corrosive پلازما ماحول جي خلاف بهترين مزاحمت پيش ڪن ٿا، ذرات جي آلودگي کي گهٽائين ٿا ۽ سامان جي اعتبار کي بهتر بڻائين ٿا.

سي آءِ سي ۽ گا اين ايپيٽيڪسي سسٽم

ٽئين نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار لاءِ، پورس سي آءِ سي اعليٰ درجه حرارت واري ايپيٽيڪسيل واڌ واري ماحول ۾ بهتر حرارتي انتظام ۽ عمل جي استحڪام ۾ حصو وٺندو آهي.

ويفر هينڊلنگ اجزاء

پورس سي سي ويڪيوم چڪس۽ويفر سپورٽ ڪري ٿوويفر انسپيڪشن، لٿوگرافي، ۽ ٿرمل پروسيسنگ لاءِ اعليٰ درستگي، گهٽ آلودگي، ۽ بهترين ڪيميائي مزاحمت فراهم ڪن ٿا.

Ⅴ. نتيجو

پورس سلڪون ڪاربائيڊ سيرامڪسارتقا جي نمائندگي ڪن ٿاسي سي موادروايتي ساختياتي سيرامڪس کان فنڪشنل سيمي ڪنڊڪٽر حصن ڏانهن. ترقي يافته پروسيسنگ ٽيڪنالاجيز ۽ صحيح پور اسٽرڪچر ڪنٽرول ذريعي، پورس سي آءِ سي طاقت، پارگميتا، حرارتي ڪارڪردگي، ۽ ڪيميائي استحڪام جي وچ ۾ هڪ مثالي توازن حاصل ڪري ٿو.

جيئن ته سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار وڌيڪ گرمي پد ۽ سخت آلودگي ڪنٽرول ڏانهن اڳتي وڌندي رهي ٿي، پورس سي سي سيرامڪس وڌندڙ اهم ڪردار ادا ڪندا.سي وي ڊي سسٽم، پلازما پروسيسنگ سامان، ويفر هينڊلنگ، ۽ ايندڙ نسل جي سيمي ڪنڊڪٽر فيبريڪيشن ٽيڪنالاجيون.