سلڪون ايپيٽيڪسي (سي ايپي) لاءِ سي وي ڊي سي سي ڪوٽيڊ اجزا

سنگل-ويفر ۽ بيچ سلڪون ايپيٽيڪسيل ڊپوزيشن سسٽم لاءِ پريسيشن-انجنيئر ٿيل، اسان جا سي وي ڊي ايس آءِ سي ڪوٽيڊ سسپيٽر، سيٽلائيٽ ڊسڪ، ۽ ٿرمل فيلڊ جزا شاندار ٿرمل يونيفارمي ۽ صفر آئوٽ گيسنگ فراهم ڪن ٿا. هاءِ ڊينسٽي ڪيوبڪ β-سي آءِ سي ڪوٽنگ پرت مڪمل طور تي اعليٰ پاڪائي واري گريفائيٽ سبسٽريٽ کي ڍڪي ٿي، رد عمل واري گئس ايچنگ (SiH₄، SiH₂Cl₂، HCl) کي روڪي ٿي ۽ هاءِ-ٽيمپريچر سي ايپي پروسيسنگ (1000°C - 1200°C) دوران الٽرا لو ميٽالڪ امپورٽي ليول (< 5 ppm) جي ضمانت ڏئي ٿي.