Anell de focus CVD SiC per al procés de gravat de semiconductors
ElAnell de focus CVD SiCés un component clau utilitzat en equips de gravat, deposició i processament de làmines de semiconductors. Les seves funcions principals inclouen:
1. Enfocament i confinament del plasma per millorar la uniformitat i la precisió del gravat a la superfície de la oblia.
2. Protegir la cambra i altres parts de l'erosió del plasma i la corrosió química.
3. Estabilització del camp elèctric i del camp de flux de gas per garantir resultats de procés consistents.
4. Reducció de la contaminació per partícules i millora del rendiment de les oblies i la fiabilitat del producte.
VET Energy és un fabricant i proveïdor professional d'anells de focus de SiC CVD a la Xina, que ofereix anells de focus de carbur de silici personalitzats i d'alta qualitat per a clients globals de semiconductors. El nostre anell de focus de SiC CVD està fabricat amb carbur de silici de deposició química de vapor d'alta puresa, oferint propietats físiques i químiques excepcionals per complir els estrictes requisits de la fabricació de semiconductors avançats.

Per què escollir VET Energy per al vostre anell de focus de SiC CVD?
· Control de qualitat estricte
Disposem d'una línia completa de producció CVD SiC i mecanitzat de precisió. Cada anell focal CVD SiC s'inspecciona completament per garantir una alta consistència i un rendiment estable en la producció en massa.
· Matèria primera d'alta puresa
Els nostres anells d'enfocament utilitzen SiC CVD d'alta puresa amb una excel·lent resistència al plasma, estabilitat a altes temperatures i una llarga vida útil, reduint eficaçment la contaminació per partícules.
· Mecanitzat de precisió a mida
Donem suport a la personalització OEM i ODM basada en dibuixos i necessitats del procés.
· Subministrament estable i lliurament ràpid
Amb una capacitat de producció madura, garantim el lliurament a temps tant per a mostres com per a comandes a granel, escurçant el termini de lliurament.
· Assistència tècnica professional
El nostre equip experimentat ofereix selecció de materials, optimització d'estructures i servei postvenda per millorar l'eficiència del vostre procés.

VET Energy és un fabricant professional centrat en la R+D i la producció de materials avançats d'alta gamma com ara grafit, carbur de silici, quars, així com el tractament de materials com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc. Els productes s'utilitzen àmpliament en fotovoltaica, semiconductors, noves energies, metal·lúrgia, etc.
El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i us pot proporcionar solucions de materials més professionals.
Us convidem a visitar la nostra fàbrica i laboratori en qualsevol moment!
-
Anell recobert de carbur de tàntal d'alta puresa
-
Bona resistència al desgast i a la corrosió T...
-
Anell recobert de carbur de tàntal superdur
-
Tubs de creixement de cristalls de SiC amb carbur de tàntal...
-
Recobriment de carbur de tàntal: resistent al desgast, d'alta...
-
Gresol de grafit recobert de TaC personalitzat





