CVD SiC-fokusring for halvlederetsingsprosess
DeCVD SiC-fokusringer en nøkkelkomponent som brukes i utstyr for etsing, avsetning og behandling av wafere for halvledere. Hovedfunksjonene inkluderer:
1. Fokusering og inneslutning av plasma for å forbedre etsningsjevnhet og nøyaktighet over waferoverflaten.
2. Beskytter kammeret og andre deler mot plasmaerosjon og kjemisk korrosjon.
3. Stabilisering av det elektriske feltet og gassstrømningsfeltet for å sikre konsistente prosessresultater.
4. Reduserer partikkelforurensning og forbedrer waferutbyttet og produktets pålitelighet.
VET Energy er en profesjonell produsent og leverandør av CVD SiC-fokusringer i Kina, og leverer høykvalitets og tilpassede silisiumkarbidfokusringer til globale halvlederkunder. Vår CVD SiC-fokusring er produsert av høyrent kjemisk dampavsetningssilisiumkarbid, som gir enestående fysiske og kjemiske egenskaper for å oppfylle de strenge kravene til avansert halvlederproduksjon.
Hvorfor velge VET Energy til din CVD SiC-fokusring?
· Streng kvalitetskontroll
Vi eier en komplett CVD SiC-produksjons- og presisjonsmaskineringslinje. Hver CVD SiC-fokusring er grundig inspisert for å sikre høy konsistens og stabil ytelse i masseproduksjon.
· Råmateriale med høy renhet
Fokusringene våre bruker CVD SiC med høy renhet med utmerket plasmaresistens, høy temperaturstabilitet og lang levetid, noe som effektivt reduserer partikkelforurensning.
· Tilpasset presisjonsmaskinering
Vi støtter OEM- og ODM-tilpasning basert på tegninger og prosessbehov.
· Stabil forsyning og rask levering
Med moden produksjonskapasitet garanterer vi levering til rett tid for både prøver og bulkbestillinger, noe som forkorter ledetiden.
· Profesjonell teknisk støtte
Vårt erfarne team tilbyr materialvalg, strukturoptimalisering og ettersalgsservice for å forbedre prosesseffektiviteten din.
VET Energy er en profesjonell produsent som fokuserer på forskning og utvikling og produksjon av avanserte materialer som grafitt, silisiumkarbid, kvarts, samt materialbehandling som SiC-belegg, TaC-belegg, glassaktig karbonbelegg, pyrolytisk karbonbelegg, etc. Produktene er mye brukt innen solcellepanel, halvledere, ny energi, metallurgi, etc.
Vårt tekniske team kommer fra ledende innenlandske forskningsinstitusjoner, og kan tilby deg mer profesjonelle materialløsninger.
Vi ønsker deg velkommen til å besøke fabrikken og laboratoriet vårt når som helst!
