Vaixell de galeta de quarsés una eina clau en la fabricació de semiconductors, la producció de cèl·lules fotovoltaiques i la investigació i desenvolupament de materials avançats, dissenyada per a la transferència i el posicionament estables d'oblies en processos d'alta temperatura. Aquest producte està fet de sílice fosa (SiO2) d'ultra alta puresa, amb excel·lent resistència a la temperatura, estabilitat química i característiques de contaminació metàl·lica ultrabaixa, adequat per a forns de difusió, forns d'oxidació, PECVD/LPCVD i altres equips, àmpliament utilitzat en el recobriment d'oblies, la implantació d'ions, el recuit d'alta temperatura i altres processos de nuclis.
Els principals avantatges del vaixell de quars de VET Energy:
- Material d'ultra alta puresa
Puresa ≥99,99%: contingut d'impureses (Na, K, Fe, etc.) <5 ppm, evitant la contaminació de les oblies i garantint el rendiment del xip.
Baixa precipitació i adsorció: la superfície està súper polida (Ra≤0.4μm) per reduir l'adhesió de partícules i els residus de gas. - Estabilitat a alta temperatura
Límit de temperatura: temperatura de treball a llarg termini de 1100 ℃, pic a curt termini de 1300 ℃, sense deformació, sense precipitació de cristalls.
Baix coeficient d'expansió tèrmica (5,5x10-7/℃), excel·lent resistència al xoc tèrmic, adaptable a processos ràpids d'augment i disminució de temperatura (per exemple, recuit ràpid RTP). - Disseny estructural precís
Precisió de la ranura ± 0,1 mm: coincidència d'oblies de 2 "a 12", error d'uniformitat d'espaiat <0,05 mm, garantint que les oblies no tinguin desplaçament.
Alta capacitat de càrrega: càrrega màxima de 50 oblies (en termes d'oblíes de 12") en una sola barca, cosa que permet una transferència estable d'oblíes primes (≥100um). - Inertisme químic
Resistència a la corrosió: resistent a la corrosió per àcids (excepte HF), àlcalis i dissolvents orgànics, compatible amb el procés de neteja CMP.
Excel·lent estanquitat als gasos: taxa de fuites <5x10-10 Pa.m3/s, adequada per a ambients de buit i gas protector. - Llarga vida útil i manteniment
Esperança de vida ≥ 5000 cicles (condicions de treball normals), la superfície es pot netejar i utilitzar repetidament, reduint el cost total.
Disseny modular: admet la substitució parcial (per exemple, una sola dent de vaixell), reduint el temps d'inactivitat.
Oferim superfícies transparents i esmerilades segons els requisits del client:
Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd és una empresa d'alta tecnologia centrada en la producció i venda de materials avançats d'alta gamma, materials i tecnologia com ara grafit, carbur de silici, ceràmica, tractament de superfícies com ara recobriment de SiC, recobriment de TaC, recobriment de carboni vitri, recobriment de carboni pirolític, etc., aquests productes s'utilitzen àmpliament en fotovoltaica, semiconductors, noves energies, metal·lúrgia, etc.
El nostre equip tècnic prové de les principals institucions de recerca nacionals i ha desenvolupat múltiples tecnologies patentades per garantir el rendiment i la qualitat del producte, i també pot oferir als clients solucions de materials professionals.
