Els avantatges especials dels nostres susceptors de grafit recoberts de SiC inclouen una puresa extremadament alta, un recobriment homogeni i una vida útil excel·lent.També tenen una alta resistència química i propietats d'estabilitat tèrmica.

El recobriment de SiC del substrat de grafit per a aplicacions de semiconductors produeix una peça amb una puresa i resistència superiors a l'atmosfera oxidant.
CVD SiC o CVI SiC s'aplica al grafit de peces de disseny simples o complexes.El recobriment es pot aplicar en diferents gruixos i a peces molt grans.

Característiques:
· Excel·lent resistència al xoc tèrmic
· Excel·lent resistència als cops físics
· Excel·lent resistència química
· Puresa súper alta
· Disponibilitat en forma complexa
· Utilitzable en atmosfera comburent

Aplicació:

Propietats típiques del material de grafit base:

El carboni subministra susceptors i components de grafit per a tots els reactors d'epitaxi actuals.La nostra cartera inclou susceptors de barril per a unitats aplicades i LPE, susceptors de pancake per a unitats LPE, CSD i Gemini i susceptors d'hòstia única per a unitats aplicades i ASM. En combinar sòlides associacions amb OEM líders, experiència en materials i coneixements de fabricació, SGL ofereix el disseny òptim per a la seva aplicació.