حلقه فوکوس SiC برای فرآیند اچینگ نیمه هادی CVD
حلقه فوکوس SiC به روش CVDیک جزء کلیدی مورد استفاده در تجهیزات حکاکی، رسوبگذاری و پردازش ویفر نیمههادی است. وظایف اصلی آن عبارتند از:
۱. متمرکز کردن و محدود کردن پلاسما برای بهبود یکنواختی و دقت اچینگ در سراسر سطح ویفر.
۲. محافظت از محفظه و سایر قسمتها در برابر فرسایش پلاسما و خوردگی شیمیایی.
۳. پایدارسازی میدان الکتریکی و میدان جریان گاز برای اطمینان از نتایج فرآیند پایدار.
۴. کاهش آلودگی ذرات و بهبود عملکرد ویفر و قابلیت اطمینان محصول.
شرکت VET Energy تولیدکننده و تأمینکننده حرفهای حلقه فوکوس SiC با فناوری رسوب بخار شیمیایی (CVD) در چین است که حلقههای فوکوس کاربید سیلیکون با کیفیت بالا و سفارشی را برای مشتریان نیمههادی جهانی ارائه میدهد. حلقه فوکوس SiC با فناوری رسوب بخار شیمیایی ما از کاربید سیلیکون با خلوص بالا ساخته شده است و خواص فیزیکی و شیمیایی برجستهای را برای برآورده کردن الزامات سختگیرانه تولید نیمههادی پیشرفته ارائه میدهد.
چرا VET Energy را برای حلقه فوکوس SiC مربوط به CVD خود انتخاب کنید؟
· کنترل کیفیت دقیق
ما صاحب یک خط کامل تولید CVD SiC و ماشینکاری دقیق هستیم. هر حلقه فوکوس CVD SiC به طور کامل بازرسی میشود تا از ثبات بالا و عملکرد پایدار در تولید انبوه اطمینان حاصل شود.
· مواد اولیه با خلوص بالا
حلقههای فوکوس ما از SiC با خلوص بالا CVD با مقاومت پلاسمای عالی، پایداری در دمای بالا و عمر طولانی استفاده میکنند که به طور موثر آلودگی ذرات را کاهش میدهد.
· ماشینکاری دقیق سفارشی
ما از سفارشیسازی OEM و ODM بر اساس نقشهها و نیازهای فرآیند پشتیبانی میکنیم.
· تامین پایدار و تحویل سریع
با ظرفیت تولید بالغ، ما تحویل به موقع را برای نمونهها و سفارشات عمده تضمین میکنیم و زمان تحویل شما را کوتاه میکنیم.
· پشتیبانی فنی حرفهای
تیم باتجربه ما، انتخاب مواد، بهینهسازی ساختار و خدمات پس از فروش را برای بهبود کارایی فرآیند شما ارائه میدهد.
شرکت VET Energy یک تولیدکننده حرفهای است که بر تحقیق و توسعه و تولید مواد پیشرفته با کیفیت بالا مانند گرافیت، کاربید سیلیکون، کوارتز و همچنین عملیات حرارتی مواد مانند پوشش SiC، پوشش TaC، پوشش کربن شیشهای، پوشش کربن پیرولیتیک و غیره تمرکز دارد. این محصولات به طور گسترده در صنایع فتوولتائیک، نیمههادیها، انرژیهای نو، متالورژی و غیره مورد استفاده قرار میگیرند.
تیم فنی ما از موسسات تحقیقاتی برتر داخلی تشکیل شده است و میتواند راهحلهای حرفهایتری برای شما ارائه دهد.
ما از شما استقبال میکنیم تا در هر زمانی از کارخانه و آزمایشگاه ما بازدید کنید!
