Aşkerekirina Taybetmendiyên Girîng ên Qeyikên Grafît di Çêkirina Seramîkên Nîvconductor de

Qeyikên Grafît, ku wekî qeyikên grafîtê jî têne zanîn, di pêvajoyên tevlihev ên çêkirina seramîkên nîvconductor de roleke girîng dilîzin. Ev qeyikên taybet wekî hilgirên pêbawer ji bo waferên nîvconductor di dema dermankirinên germahiya bilind de kar dikin, û pêvajoyek rast û kontrolkirî misoger dikin. Bi taybetmendiyên xwe yên bêhempa û sepanên xwe yên piralî,Qeyikên grafîtdi pîşesaziya nîvconductor de bûne amûrên girîng. Werin em taybetmendiyên sereke yên ku çêdikin bikolinQeyikên grafîtpêkhateyên bingehîn di hilberîna seramîkên nîvconductor de.

1. Toleransa Germahiya Bilind:

Qeyikên grafîtji materyalên grafîtê yên bi kalîte bilind têne çêkirin ku bi berxwedana xwe ya germê ya bêhempa têne nasîn. Ev taybetmendî dihêle ku qeyikên grafîtê li hember germahiyên zêde yên ku di pêvajoyên çêkirina nîvconductoran de têne dîtin, wek mînak danîna buxara kîmyewî (CVD) û pêçandina karbîda silîkonê, li ber xwe bidin. Şîyana parastina yekparçeyiya avahî û aramiya pîvanî di bin şert û mercên germê yên dijwar de ji bo misogerkirina hilberîna nîvconductor a domdar û pêbawer girîng e.

2. Bêçalakiya Kîmyewî:

Grafît, materyalê sereke yê ku tê bikaranîn diQeyikên grafît, bêbandoriyeke kîmyewî ya berbiçav nîşan dide, ku wê li hember korozyon û reaksiyonên kîmyewî berxwedêr dike. Ev taybetmendî bi taybetî di çêkirina seramîkên nîvconductor de avantajek e, ku kîmyewîyên dijwar û gazên reaktîf pir caran têne bikar anîn. Qeyikên grafît ji bo waflên nîvconductor hawîrdorek parastinê peyda dikin, pêşî li qirêjbûnê digirin û paqijiya hilbera dawîn misoger dikin.

3. Kontrola Pîvanî ya Rast:

Qeyikên grafîtBi awayekî rast hatine çêkirin da ku waferên nîvconductor ên bi mezinahî û şeklên cûda bicîh bînin. Sêwiranên wan ên xwerû kontrola pîvanî ya rast peyda dikin, ji bo waferan cîhek baş peyda dikin û xetera zirarê di dema destgirtin û pêvajoyê de kêm dikin. Ev asta rastbûnê ji bo bidestxistina qalindahiya pêçandinê ya yekreng û rastbûna danîna di pêvajoyên çêkirina nîvconductor de girîng e.

4. Pirrengî di Serlêdanan de:

Qeyikên grafîtdi gelek pêvajoyên çêkirina nîvconductoran de, di nav de epitaksî, belavbûn, germkirin û danîna fîlma zirav, bi berfirehî têne bikar anîn. Qeyikên Grafît, çi di dema pêvajoya germî de piştgirîkirina waferên silîkonê be, çi jî hêsankirina mezinbûna tebeqeyên epitaksî be, li seranserê sepanên cûrbecûr pirrengî û pêbaweriyê pêşkêş dikin. Şîyana wan a li hember rûbirûbûna dirêj a germahiyên bilind û jîngehên korozîf wan dike amûrên neçar di çêkirina seramîkên nîvconductor de.

5. Lihevhatina Pêçandina Karbîda Sîlîkonê:

Qeyikên grafîtê ji bo sepanên ku pêçanên silîkon karbîd (SiC) tê de hene, ku pêkhateyek girîng di cîhazên nîvconductor ên pêşkeftî de ye, pir guncaw in. Lihevhatina grafîtê bi silîkon karbîdê re dihêle ku tebeqeyên SiC li ser substratên nîvconductor bi bandor û yekreng werin danîn, performansa cîhazê û pêbaweriyê zêde bike. Qeyikên grafîtê roleke girîng di hêsankirina pêvajoya danînê de dilîzin, dabînkirina vegirtinek yekreng û kontrola rast li ser stûriya pêçanê.

Di encamê de, qeyikên Grafît wekî pêkhateyên bingehîn di çêkirina seramîkên nîvconductor de kar dikin, û tevlîheviyek bêhempa ya toleransa germahiya bilind, bêserûberiya kîmyewî, kontrola pîvanî ya rast, û lihevhatina bi pêçanên karbîda silîkonê pêşkêş dikin. Pirrengî û pêbaweriya wan wan dike amûrên neçar ji bo pêvajoyên çêkirina nîvconductor, ku hilberîna cîhazên nîvconductor ên bi kalîte û performansa bilind gengaz dike. Her ku teknolojiya nîvconductor pêşve diçe, qeyikên Grafît dê wekî hebûnên neçar bimînin, ku nûjenî û pêşkeftinê di pîşesaziya nîvconductor de dimeşînin.