గ్రాఫైట్ పడవలుగ్రాఫైట్ బోట్లు అని కూడా పిలువబడేవి, సెమీకండక్టర్ సిరామిక్స్ తయారీ యొక్క సంక్లిష్ట ప్రక్రియలలో కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి. ఈ ప్రత్యేకమైన పాత్రలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత చికిత్సల సమయంలో సెమీకండక్టర్ వేఫర్లకు నమ్మకమైన క్యారియర్లుగా పనిచేస్తాయి, ఖచ్చితమైన మరియు నియంత్రిత ప్రాసెసింగ్ను నిర్ధారిస్తాయి. వాటి ప్రత్యేక లక్షణాలు మరియు బహుముఖ అనువర్తనాలతో,గ్రాఫైట్ పడవలుసెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో అనివార్యమైన సాధనాలుగా మారాయి. వీటిని తయారు చేసే ముఖ్య లక్షణాలను అన్వేషిద్దాంగ్రాఫైట్ పడవలుసెమీకండక్టర్ సిరామిక్స్ తయారీలో ముఖ్యమైన భాగాలు.
1. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సహనం:
గ్రాఫైట్ పడవలుఅసాధారణమైన ఉష్ణ నిరోధకతకు ప్రసిద్ధి చెందిన అధిక-నాణ్యత గ్రాఫైట్ పదార్థాల నుండి తయారు చేయబడ్డాయి. ఈ లక్షణం గ్రాఫైట్ బోట్లు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత వంటి సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియల సమయంలో ఎదురయ్యే తీవ్ర ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకునేలా చేస్తుంది. తీవ్రమైన వేడి పరిస్థితులలో నిర్మాణ సమగ్రత మరియు డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించే సామర్థ్యం స్థిరమైన మరియు నమ్మదగిన సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిని నిర్ధారించడానికి చాలా ముఖ్యమైనది.
2. రసాయన జడత్వం:
గ్రాఫైట్, దీనిలో ఉపయోగించే ప్రాథమిక పదార్థంగ్రాఫైట్ పడవలు, అద్భుతమైన రసాయన జడత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది తుప్పు మరియు రసాయన ప్రతిచర్యలకు నిరోధకతను కలిగిస్తుంది. ఈ లక్షణం సెమీకండక్టర్ సిరామిక్స్ తయారీలో ముఖ్యంగా ప్రయోజనకరంగా ఉంటుంది, ఇక్కడ కఠినమైన రసాయనాలు మరియు రియాక్టివ్ వాయువులు తరచుగా ఉపయోగించబడతాయి. గ్రాఫైట్ పడవలు సెమీకండక్టర్ వేఫర్లకు రక్షణాత్మక వాతావరణాన్ని అందిస్తాయి, కాలుష్యాన్ని నివారిస్తాయి మరియు తుది ఉత్పత్తి యొక్క స్వచ్ఛతను నిర్ధారిస్తాయి.
3. ఖచ్చితమైన డైమెన్షనల్ కంట్రోల్:
గ్రాఫైట్ పడవలువివిధ పరిమాణాలు మరియు ఆకారాల సెమీకండక్టర్ వేఫర్లను ఉంచడానికి ఖచ్చితత్వంతో రూపొందించబడ్డాయి. వాటి అనుకూలీకరించదగిన డిజైన్లు ఖచ్చితమైన డైమెన్షనల్ నియంత్రణను అనుమతిస్తాయి, వేఫర్లకు చక్కగా సరిపోతాయని నిర్ధారిస్తాయి మరియు నిర్వహణ మరియు ప్రాసెసింగ్ సమయంలో నష్టం జరిగే ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తాయి. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో ఏకరీతి పూత మందం మరియు నిక్షేపణ ఖచ్చితత్వాన్ని సాధించడానికి ఈ స్థాయి ఖచ్చితత్వం అవసరం.
4. అప్లికేషన్లలో బహుముఖ ప్రజ్ఞ:
గ్రాఫైట్ పడవలుఎపిటాక్సీ, డిఫ్యూజన్, ఎనియలింగ్ మరియు థిన్-ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ వంటి వివిధ రకాల సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ ప్రక్రియలలో గ్రాఫైట్ బోట్లు విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి. థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ సమయంలో సిలికాన్ వేఫర్లకు మద్దతు ఇవ్వడం లేదా ఎపిటాక్సియల్ పొరల పెరుగుదలను సులభతరం చేయడం వంటివి చేసినా, గ్రాఫైట్ బోట్లు విభిన్న అనువర్తనాల్లో బహుముఖ ప్రజ్ఞ మరియు విశ్వసనీయతను అందిస్తాయి. అధిక ఉష్ణోగ్రతలు మరియు తినివేయు వాతావరణాలకు ఎక్కువ కాలం గురికావడాన్ని తట్టుకునే వాటి సామర్థ్యం సెమీకండక్టర్ సిరామిక్స్ తయారీలో వాటిని అనివార్య సాధనాలుగా చేస్తుంది.
5. సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత అనుకూలత:
గ్రాఫైట్ పడవలు సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) పూతలను కలిగి ఉన్న అనువర్తనాలకు బాగా సరిపోతాయి, ఇది అధునాతన సెమీకండక్టర్ పరికరాలలో కీలకమైన భాగం. సిలికాన్ కార్బైడ్తో గ్రాఫైట్ యొక్క అనుకూలత సెమీకండక్టర్ ఉపరితలాలపై SiC పొరలను సమర్థవంతంగా మరియు ఏకరీతిలో నిక్షేపించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, పరికర పనితీరు మరియు విశ్వసనీయతను పెంచుతుంది. నిక్షేపణ ప్రక్రియను సులభతరం చేయడంలో, ఏకరీతి కవరేజ్ మరియు పూత మందంపై ఖచ్చితమైన నియంత్రణను నిర్ధారించడంలో గ్రాఫైట్ పడవలు కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి.
ముగింపులో, గ్రాఫైట్ పడవలు సెమీకండక్టర్ సిరామిక్స్ తయారీలో ముఖ్యమైన భాగాలుగా పనిచేస్తాయి, అధిక-ఉష్ణోగ్రత సహనం, రసాయన జడత్వం, ఖచ్చితమైన డైమెన్షనల్ నియంత్రణ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలతో అనుకూలత యొక్క ప్రత్యేకమైన కలయికను అందిస్తాయి. వాటి బహుముఖ ప్రజ్ఞ మరియు విశ్వసనీయత వాటిని సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్ ప్రక్రియలకు అనివార్యమైన సాధనాలుగా చేస్తాయి, అధిక-నాణ్యత మరియు అధిక-పనితీరు గల సెమీకండక్టర్ పరికరాల ఉత్పత్తిని సాధ్యం చేస్తాయి. సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ అభివృద్ధి చెందుతున్నందున, గ్రాఫైట్ పడవలు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఆవిష్కరణ మరియు పురోగతిని నడిపిస్తూ అనివార్యమైన ఆస్తులుగా ఉంటాయి.
పోస్ట్ సమయం: ఏప్రిల్-22-2024
