මිනිරන් බෝට්ටුග්රැෆයිට් බෝට්ටු ලෙසද හැඳින්වෙන, අර්ධ සන්නායක සෙරමික් නිෂ්පාදනයේ සංකීර්ණ ක්රියාවලීන්හි තීරණාත්මක කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි. මෙම විශේෂිත යාත්රා ඉහළ උෂ්ණත්ව ප්රතිකාර අතරතුර අර්ධ සන්නායක වේෆර් සඳහා විශ්වාසදායක වාහක ලෙස සේවය කරයි, නිරවද්ය සහ පාලිත සැකසුම් සහතික කරයි. ඒවායේ අද්විතීය ලක්ෂණ සහ බහුකාර්ය යෙදුම් සමඟ,මිනිරන් බෝට්ටුඅර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ අත්යවශ්ය මෙවලම් බවට පත්ව ඇත. සාදන ප්රධාන ලක්ෂණ ගවේෂණය කරමුමිනිරන් බෝට්ටුඅර්ධ සන්නායක සෙරමික් නිෂ්පාදනයේ අත්යවශ්ය සංරචක.
1. ඉහළ උෂ්ණත්ව ඉවසීම:
මිනිරන් බෝට්ටුවිශිෂ්ට තාප ප්රතිරෝධය සඳහා ප්රසිද්ධ උසස් තත්ත්වයේ මිනිරන් ද්රව්ය වලින් නිර්මාණය කර ඇත. මෙම ගුණාංගය ග්රැෆයිට් බෝට්ටුවලට රසායනික වාෂ්ප තැන්පත් වීම (CVD) සහ සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපනය වැනි අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන්හිදී හමුවන අධික උෂ්ණත්වයන්ට ඔරොත්තු දීමට ඉඩ සලසයි. දැඩි තාප තත්වයන් යටතේ ව්යුහාත්මක අඛණ්ඩතාව සහ මාන ස්ථාවරත්වය පවත්වා ගැනීමේ හැකියාව ස්ථාවර සහ විශ්වාසදායක අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය සහතික කිරීම සඳහා ඉතා වැදගත් වේ.
2. රසායනික නිෂ්ක්රීයභාවය:
භාවිතා කරන ප්රධාන ද්රව්යය වන ග්රැෆයිට්මිනිරන් බෝට්ටු, කැපී පෙනෙන රසායනික නිෂ්ක්රීයතාවයක් පෙන්නුම් කරයි, එය විඛාදනයට සහ රසායනික ප්රතික්රියා වලට ප්රතිරෝධී කරයි. මෙම ලක්ෂණය විශේෂයෙන් අර්ධ සන්නායක සෙරමික් නිෂ්පාදනයේදී වාසිදායක වන අතර, එහිදී රළු රසායනික ද්රව්ය සහ ප්රතික්රියාශීලී වායූන් බොහෝ විට භාවිතා වේ. ග්රැෆයිට් බෝට්ටු අර්ධ සන්නායක වේෆර් සඳහා ආරක්ෂිත පරිසරයක් සපයයි, දූෂණය වීම වළක්වයි සහ අවසාන නිෂ්පාදනයේ සංශුද්ධතාවය සහතික කරයි.
3. නිරවද්ය මාන පාලනය:
මිනිරන් බෝට්ටුවිවිධ ප්රමාණවලින් සහ හැඩයන්ගෙන් යුත් අර්ධ සන්නායක වේෆර් සඳහා ඉඩ සැලසෙන පරිදි නිරවද්යතාවයෙන් නිර්මාණය කර ඇත. ඒවායේ අභිරුචිකරණය කළ හැකි නිර්මාණ මගින් නිරවද්ය මාන පාලනයට ඉඩ සලසයි, වේෆර් සඳහා හොඳින් ගැලපෙන බව සහතික කරයි සහ හැසිරවීමේදී සහ සැකසීමේදී හානි වීමේ අවදානම අවම කරයි. අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන්හි ඒකාකාර ආලේපන ඝණකම සහ තැන්පත් කිරීමේ නිරවද්යතාවය ලබා ගැනීම සඳහා මෙම මට්ටමේ නිරවද්යතාවය අත්යවශ්ය වේ.
4. යෙදුම්වල බහුකාර්යතාව:
මිනිරන් බෝට්ටුඑපිටැක්සි, විසරණය, ඇනීලිං සහ තුනී පටල තැන්පත් කිරීම ඇතුළු විවිධ අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන්හි පුළුල් භාවිතයක් සොයා ගනී. තාප සැකසුම් අතරතුර සිලිකන් වේෆර් සඳහා සහාය වීම හෝ එපිටැක්සියල් ස්ථර වර්ධනයට පහසුකම් සැලසීම වේවා, ග්රැෆයිට් බෝට්ටු විවිධ යෙදුම් හරහා බහුකාර්යතාව සහ විශ්වසනීයත්වය ලබා දෙයි. ඉහළ උෂ්ණත්වයන්ට සහ විඛාදන පරිසරයන්ට දිගුකාලීනව නිරාවරණය වීමට ඔරොත්තු දීමේ හැකියාව අර්ධ සන්නායක පිඟන් මැටි නිෂ්පාදනයේදී ඒවා අත්යවශ්ය මෙවලම් බවට පත් කරයි.
5. සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන අනුකූලතාව:
දියුණු අර්ධ සන්නායක උපාංගවල තීරණාත්මක අංගයක් වන සිලිකන් කාබයිඩ් (SiC) ආලේපන සම්බන්ධ යෙදුම් සඳහා ග්රැෆයිට් බෝට්ටු හොඳින් ගැලපේ. සිලිකන් කාබයිඩ් සමඟ ග්රැෆයිට් ගැළපුම මඟින් අර්ධ සන්නායක උපස්ථර මත SiC ස්ථර කාර්යක්ෂමව හා ඒකාකාරව තැන්පත් කිරීමට හැකි වන අතර, උපාංග ක්රියාකාරිත්වය සහ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කරයි. තැන්පත් කිරීමේ ක්රියාවලිය පහසු කිරීම, ඒකාකාර ආවරණය සහ ආලේපන ඝණකම පිළිබඳ නිරවද්ය පාලනය සහතික කිරීම සඳහා ග්රැෆයිට් බෝට්ටු වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කරයි.
අවසාන වශයෙන්, ග්රැෆයිට් බෝට්ටු අර්ධ සන්නායක සෙරමික් නිෂ්පාදනයේ අත්යවශ්ය සංරචක ලෙස සේවය කරන අතර, ඉහළ උෂ්ණත්ව ඉවසීම, රසායනික නිෂ්ක්රීයභාවය, නිරවද්ය මාන පාලනය සහ සිලිකන් කාබයිඩ් ආලේපන සමඟ අනුකූලතාවයේ අද්විතීය සංයෝජනයක් ලබා දෙයි. ඒවායේ බහුකාර්යතාව සහ විශ්වසනීයත්වය අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදන ක්රියාවලීන් සඳහා අත්යවශ්ය මෙවලම් බවට පත් කරයි, උසස් තත්ත්වයේ සහ ඉහළ කාර්යසාධනයක් සහිත අර්ධ සන්නායක උපාංග නිෂ්පාදනයට හැකියාව ලබා දෙයි. අර්ධ සන්නායක තාක්ෂණය අඛණ්ඩව ඉදිරියට යන විට, ග්රැෆයිට් බෝට්ටු අත්යවශ්ය වත්කම් ලෙස පවතිනු ඇත, අර්ධ සන්නායක කර්මාන්තයේ නවෝත්පාදනය සහ ප්රගතිය මෙහෙයවයි.
පළ කිරීමේ කාලය: 2024 අප්රේල්-22