ການຄົ້ນຄວ້າກ່ຽວກັບວິທີການຄວບຄຸມທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ປະຕິກິລິຍາໂດຍການເຜົາໄໝ້

ຊິລິກອນຄາໄບຣດ໌ທີ່ລະລາຍແລ້ວເປັນວັດສະດຸເຊລາມິກທີ່ສຳຄັນ, ເຊິ່ງຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂົງເຂດອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງ ແລະ ຄວາມແຂງແຮງສູງ. ການລະລາຍປະຕິກິລິຍາຂອງຊິລິກອນເປັນຂັ້ນຕອນທີ່ສຳຄັນໃນການກະກຽມວັດສະດຸ SIC ທີ່ລະລາຍແລ້ວ. ການຄວບຄຸມປະຕິກິລິຍາຂອງຊິລິກອນຄາໄບຣດ໌ທີ່ລະລາຍແລ້ວໃຫ້ດີທີ່ສຸດສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຮົາຄວບຄຸມສະພາບການປະຕິກິລິຍາໄດ້ດີຂຶ້ນ ແລະ ປັບປຸງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ.

1. ການເພີ່ມປະສິດທິພາບຂອງເງື່ອນໄຂການເຜົາຜະນຶກຊິລິກອນຄາໄບດ໌ປະຕິກິລິຍາ

ເງື່ອນໄຂປະຕິກິລິຍາແມ່ນຕົວກໍານົດທີ່ສໍາຄັນຂອງປະຕິກິລິຍາຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ທີ່ຖືກຊິນເຕີ, ລວມທັງອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາ, ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາ, ອັດຕາສ່ວນມວນສານຕົວຕັ້ງຕົວຕີ ແລະ ເວລາປະຕິກິລິຍາ. ເມື່ອເພີ່ມປະສິດທິພາບເງື່ອນໄຂປະຕິກິລິຍາ, ມັນຈໍາເປັນຕ້ອງປັບຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງການນໍາໃຊ້ສະເພາະ ແລະ ກົນໄກປະຕິກິລິຍາ.

(1) ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາ: ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາແມ່ນໜຶ່ງໃນປັດໄຈສຳຄັນທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ພາຍໃນຊ່ວງໃດໜຶ່ງ, ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາສູງເທົ່າໃດ, ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາກໍ່ຈະໄວຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນກໍ່ຈະສູງຂຶ້ນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາສູງເກີນໄປຍັງຈະນໍາໄປສູ່ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຮູຂຸມຂົນ ແລະ ຮອຍແຕກໃນຜະລິດຕະພັນ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.

(2) ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາ: ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາຍັງມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຜະລິດຕະພັນ. ພາຍໃນຊ່ວງໃດໜຶ່ງ, ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາສູງເທົ່າໃດ, ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາກໍ່ຈະໄວຂຶ້ນເທົ່ານັ້ນ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນຂອງຜະລິດຕະພັນກໍ່ຈະສູງຂຶ້ນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາສູງເກີນໄປຍັງສາມາດນຳໄປສູ່ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຮູຂຸມຂົນ ແລະ ຮອຍແຕກໃນຜະລິດຕະພັນ.

(3) ອັດຕາສ່ວນມວນສານຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນປະຕິກິລິຍາ: ອັດຕາສ່ວນມວນສານຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນປະຕິກິລິຍາແມ່ນປັດໄຈສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວໃນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ເມື່ອອັດຕາສ່ວນມວນສານຂອງຄາບອນຕໍ່ຊິລິກອນເໝາະສົມ, ອັດຕາການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນກໍ່ຈະເພີ່ມຂຶ້ນ. ຖ້າອັດຕາສ່ວນມວນສານຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນປະຕິກິລິຍາບໍ່ເໝາະສົມ, ມັນຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວໃນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.

(4) ເວລາປະຕິກິລິຍາ: ເວລາປະຕິກິລິຍາແມ່ນໜຶ່ງໃນປັດໃຈທີ່ສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ພາຍໃນໄລຍະເວລາໃດໜຶ່ງ, ເວລາປະຕິກິລິຍາຍິ່ງຍາວເທົ່າໃດ, ຄວາມໄວປະຕິກິລິຍາກໍ່ຈະຊ້າລົງ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນກໍ່ຈະສູງຂຶ້ນ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ເວລາປະຕິກິລິຍາທີ່ຍາວເກີນໄປຍັງຈະນໍາໄປສູ່ການເພີ່ມຂຶ້ນຂອງຮູຂຸມຂົນ ແລະ ຮອຍແຕກໃນຜະລິດຕະພັນ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ.

2. ການຄວບຄຸມຂະບວນການຊິລິກອນຄາໄບທີ່ເຮັດໃຫ້ເກີດປະຕິກິລິຍາການເຜົາໄໝ້

ໃນຂະບວນການປະຕິກິລິຍາຂອງຊິລິກອນຄາໄບຣ໌ທີ່ຖືກຊິນເຕີ, ມັນຈຳເປັນຕ້ອງຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ. ເປົ້າໝາຍຂອງການຄວບຄຸມແມ່ນເພື່ອຮັບປະກັນວ່າປະຕິກິລິຍາມີຄວາມໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນມີຄວາມສອດຄ່ອງ. ການຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາປະກອບມີການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ, ການຄວບຄຸມຄວາມດັນ, ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດ ແລະ ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ.

(1) ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ: ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມແມ່ນໜຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ສຳຄັນຂອງການຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ. ການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ ອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາຄວນໄດ້ຮັບການຄວບຄຸມຢ່າງແນ່ນອນເທົ່າທີ່ຈະເປັນໄປໄດ້ເພື່ອຮັບປະກັນຂະບວນການປະຕິກິລິຍາທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະ ຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນທີ່ສອດຄ່ອງ. ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມອຸນຫະພູມປະຕິກິລິຍາຢ່າງຖືກຕ້ອງ.

(2) ການຄວບຄຸມຄວາມດັນ: ການຄວບຄຸມຄວາມດັນແມ່ນລັກສະນະສຳຄັນອີກອັນໜຶ່ງຂອງການຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ. ໂດຍການຄວບຄຸມຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາ, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມຄວາມດັນປະຕິກິລິຍາຢ່າງຖືກຕ້ອງ.

(3) ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດ: ການຄວບຄຸມບັນຍາກາດໝາຍເຖິງການນຳໃຊ້ບັນຍາກາດສະເພາະ (ເຊັ່ນ: ບັນຍາກາດທີ່ບໍ່ມີປະຕິກິລິຍາ) ໃນຂະບວນການປະຕິກິລິຍາເພື່ອຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ. ໂດຍການຄວບຄຸມບັນຍາກາດ, ມັນເປັນໄປໄດ້ທີ່ຈະຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ບັນຍາກາດມັກຈະຖືກຄວບຄຸມໂດຍລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີ.

(4) ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ: ການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນແມ່ນໜຶ່ງໃນລັກສະນະທີ່ສຳຄັນເພື່ອຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໂດຍການຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໃນການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ລະບົບຄວບຄຸມຄອມພິວເຕີມັກຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມຄຸນນະພາບຂອງສານຕັ້ງຕົ້ນ.

ການຄວບຄຸມທີ່ດີທີ່ສຸດຂອງຊິລິກອນຄາໄບທີ່ເຜົາດ້ວຍປະຕິກິລິຍາແມ່ນຂັ້ນຕອນສຳຄັນໃນການກະກຽມວັດສະດຸຊິລິກອນຄາໄບທີ່ມີຄຸນນະພາບສູງ. ໂດຍການປັບປຸງເງື່ອນໄຂປະຕິກິລິຍາ, ການຄວບຄຸມຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາຜະລິດຕະພັນປະຕິກິລິຍາ, ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການປະຕິກິລິຍາ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງຄຸນນະພາບຜະລິດຕະພັນ. ໃນການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ, ປະຕິກິລິຍາຊິລິກອນຄາໄບທີ່ເຜົາດ້ວຍປະຕິກິລິຍາຈຳເປັນຕ້ອງໄດ້ປັບຕາມສະຖານະການການນຳໃຊ້ສະເພາະເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການການນຳໃຊ້ທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.