ອຸປະກອນກຣາໄຟດ໌ເຊມິຄອນດັກເຕີ: ອົງປະກອບຂະບວນການທີ່ສຳຄັນໃນການຜະລິດເຊມິຄອນດັກເຕີ

ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ວັດສະດຸ ແລະ ອົງປະກອບທີ່ສຳຄັນຫຼາຍຢ່າງກຳນົດຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຂະບວນການ ແລະ ຜົນຜະລິດຂອງຜະລິດຕະພັນ. ເຖິງແມ່ນວ່າອຸປະກອນກຣາໄຟດເຄິ່ງຕົວນຳບໍ່ໄດ້ຮັບຄວາມສົນໃຈຫຼາຍເທົ່າກັບແຜ່ນເວເຟີ ຫຼື ເປົ້າໝາຍ, ແຕ່ພວກມັນມີບົດບາດສຳຄັນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໃນການປຸງແຕ່ງທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ການເຕີບໂຕຂອງ epitaxial, ການอบອ່ອນ, ແລະ ການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳປະສົມ.

ເວົ້າງ່າຍໆ,ອຸປະກອນກຣາໄຟດເຄິ່ງຕົວນຳແມ່ນອົງປະກອບທີ່ເຮັດວຽກທີ່ໃຊ້ໃນອຸປະກອນຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຕົ້ນຕໍແມ່ນຮັບຜິດຊອບຕໍ່ວຽກງານຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການຮັບນໍ້າໜັກ, ການຮອງຮັບ, ການຈັດຕໍາແໜ່ງ, ແລະ ການຖ່າຍໂອນຄວາມຮ້ອນ. ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວພວກມັນແມ່ນເຮັດດ້ວຍແກຣໄຟທ໌ທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ, ແລະ ການເຄືອບພື້ນຜິວເຊັ່ນ: SiC ສາມາດຖືກນໍາໃຊ້ຕາມຄວາມຕ້ອງການຂອງຂະບວນການເພື່ອເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມຕ້ານທານການຜຸພັງ, ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ.

ກຣາໄຟທ໌ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ ສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຍ້ອນຂໍ້ໄດ້ປຽບດ້ານວັດສະດຸທີ່ໂດດເດັ່ນຫຼາຍຢ່າງ. ທຳອິດ, ກຣາໄຟທ໌ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມໝັ້ນຄົງທີ່ດີເລີດໃນອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ສາມາດທົນທານຕໍ່ສະພາບການປະມວນຜົນຄວາມຮ້ອນທີ່ຮຸນແຮງ. ອັນທີສອງ, ຄວາມນຳຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການກະແທກຄວາມຮ້ອນຂອງມັນຊ່ວຍຮັກສາການແຈກຢາຍອຸນຫະພູມທີ່ສະໝໍ່າສະເໝີ. ນອກຈາກນັ້ນ, ກຣາໄຟທ໌ຍັງມີຄວາມສາມາດໃນການປຸງແຕ່ງທີ່ດີ, ເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງໂຄງສ້າງທີ່ສັບສົນ ແລະ ຄວາມຕ້ອງການດ້ານມິຕິທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳສູງ.

ໃນການນຳໃຊ້ຕົວຈິງ, ອຸປະກອນກຣາໄຟທ໌ມັກຖືກນຳໃຊ້ທົ່ວໄປໃນຂະບວນການທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບ epitaxy, diffusion, annealing, ແລະ compound semiconductor. ໂດຍສະເພາະໃນການຜະລິດ semiconductor ທີ່ມີແຖບຄວາມຖີ່ກວ້າງເຊັ່ນ SiC ແລະ GaN, ບ່ອນທີ່ອຸນຫະພູມຂອງຂະບວນການສູງຂຶ້ນ ແລະ ສະພາບແວດລ້ອມມີຄວາມສັບສົນຫຼາຍຂຶ້ນ, ຄວາມຕ້ອງການທີ່ສູງຂຶ້ນແມ່ນວາງໄວ້ເທິງຄວາມບໍລິສຸດ, ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງໂຄງສ້າງ, ແລະ ຄວາມສາມາດໃນການຮັກສາພື້ນຜິວຂອງອຸປະກອນກຣາໄຟທ໌.

ນອກເໜືອໄປຈາກຄຸນສົມບັດທີ່ມີຢູ່ໃນວັດສະດຸແລ້ວ, ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງເຄື່ອງຈັກ ແລະ ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງອຸປະກອນກຣາໄຟຕ໌ກໍ່ມີຄວາມສຳຄັນເທົ່າທຽມກັນ. ສຳລັບອຸປະກອນເຄິ່ງຕົວນຳ, ອຸປະກອນບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນອົງປະກອບຮອງຮັບເທົ່ານັ້ນ ແຕ່ຍັງສົ່ງຜົນກະທົບໂດຍກົງຕໍ່ຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການແຈກຢາຍຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງຕຳແໜ່ງໃນລະຫວ່າງຂະບວນການຜະລິດ. ການຄວບຄຸມມິຕິທີ່ບໍ່ພຽງພໍ ຫຼື ການປິ່ນປົວພື້ນຜິວທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງມັກຈະສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳຂອງຂະບວນການ ແລະ ອາດຈະນຳໄປສູ່ການປົນເປື້ອນຂອງອະນຸພາກ ແລະ ຄ່າໃຊ້ຈ່າຍໃນການບຳລຸງຮັກສາທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນ.

ໃນຂະນະທີ່ອຸດສາຫະກໍາເຄິ່ງຕົວນໍາສືບຕໍ່ກ້າວໄປສູ່ຂະບວນການທີ່ຊັບຊ້ອນຫຼາຍຂຶ້ນ, ຄວາມຕ້ອງການຂອງຕະຫຼາດສໍາລັບອຸປະກອນກຣາໄຟທ໌ກໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນເຊັ່ນກັນ. ນອກເໜືອໄປຈາກຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ຄວາມໜາແໜ້ນສູງ, ປະລິມານອະນຸພາກຕໍ່າ, ການປົນເປື້ອນຕໍ່າ, ຄວາມສອດຄ່ອງຂອງມິຕິ, ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານທີ່ຍາວນານກໍາລັງກາຍເປັນເງື່ອນໄຂສໍາຄັນສໍາລັບການປະເມີນຄຸນນະພາບຂອງຜະລິດຕະພັນ. ນີ້ຫມາຍຄວາມວ່າອຸປະກອນກຣາໄຟທ໌ບໍ່ພຽງແຕ່ເປັນອົງປະກອບເສີມເທົ່ານັ້ນແຕ່ໄດ້ກາຍເປັນອົງປະກອບທີ່ສໍາຄັນທີ່ມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ປະສິດທິພາບຂອງຂະບວນການ.

ເມື່ອພິຈາລະນາເຖິງແນວໂນ້ມຂອງອຸດສາຫະກຳ, ອຸປະກອນກຣາໄຟຕ໌ປະສິດທິພາບສູງໃນອະນາຄົດຈະເນັ້ນໜັກໃສ່ການເຊື່ອມໂຍງການຍົກລະດັບວັດສະດຸ ແລະ ເຕັກໂນໂລຊີການປົກປ້ອງພື້ນຜິວຫຼາຍຂຶ້ນ. ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບການທີ່ມີຄວາມກ້າວໜ້າຢ່າງໄວວາໃນເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີແບນວິດກວ້າງ, ການແຍກສານດ້ວຍອຸນຫະພູມສູງ, ແລະ ຂະບວນການຄວາມຮ້ອນທີ່ມີຄວາມແມ່ນຍຳ, ອຸປະກອນກຣາໄຟຕ໌ທີ່ມີຄວາມສະອາດສູງຂຶ້ນ, ຄວາມທົນທານສູງຂຶ້ນ, ແລະ ປະສິດທິພາບຂອງການຜະລິດແບບ batch ທີ່ສອດຄ່ອງກັນຫຼາຍຂຶ້ນຈະມີບົດບາດສຳຄັນເພີ່ມຂຶ້ນໃນລະບົບຕ່ອງໂສ້ການສະໜອງເຄິ່ງຕົວນຳ.

ໂດຍລວມແລ້ວ,ອຸປະກອນກຣາໄຟດເຄິ່ງຕົວນຳມີບົດບາດພື້ນຖານທີ່ບໍ່ສາມາດທົດແທນໄດ້ໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ. ໃນອະນາຄົດ, ຍ້ອນວ່າຄວາມຕ້ອງການເຄິ່ງຕົວນຳທີ່ມີແບນວິດກວ້າງ ແລະ ຂະບວນການທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງສືບຕໍ່ເພີ່ມຂຶ້ນ, ອຸປະກອນແກຣໄຟທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງກໍ່ຈະພົບເຫັນການນຳໃຊ້ທີ່ກວ້າງຂວາງກວ່າເກົ່າ.