ຊິລິກອນຄາໄບ (SiC)ວັດສະດຸນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸປະກອນອຸດສາຫະກໍາຕ່າງໆພາຍໃຕ້ສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ຄວາມກົດດັນສູງ ແລະ ການກັດກ່ອນ ເນື່ອງຈາກມັນມີຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ທົນທານຕໍ່ການຜຸພັງ, ຄວາມເຂັ້ມແຂງທາງກົນຈັກ ແລະ ການນໍາໄຟຟ້າທີ່ດີເລີດ. ໃນຖານະເປັນໜຶ່ງໃນການນໍາໃຊ້ທີ່ສໍາຄັນຂອງວັດສະດຸຊິລິກອນຄາໄບ, ທໍ່ເຕົາຊິລິກອນຄາໄບ (ທໍ່ເຕົາ SiC) ມີບົດບາດສໍາຄັນທີ່ຂາດບໍ່ໄດ້ໃນອຸດສາຫະກໍາທີ່ທັນສະໄຫມ.
ຄຸນສົມບັດຜະລິດຕະພັນ
ຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງຈຸດລະລາຍຂອງວັດສະດຸຊິລິກອນຄາໄບສູງເຖິງ 2800 ℃. ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງຫຼາຍ, ທໍ່ເຕົາຊິລິກອນຄາໄບສາມາດຮັກສາໂຄງສ້າງແລະປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງໄດ້.
ຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ：ທໍ່ເຕົາຊິລິໂຄນຄາໄບສາມາດຕ້ານທານການກັດກ່ອນຂອງສານກັດກ່ອນທົ່ວໄປເຊັ່ນ: ຄລໍຣີນ ແລະ ຟລູອໍຣີນໃນລະຫວ່າງການຫຼອມ, ປະຕິກິລິຍາເຄມີ ແລະ ຂະບວນການອື່ນໆ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງມັນ.
ການນຳຄວາມຮ້ອນ：ທໍ່ເຕົາຊິລິໂຄນຄາໄບດ໌ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນອຸປະກອນຄວາມຮ້ອນ ແລະ ການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ ແລະ ສາມາດຮັບປະກັນຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ.
ຄວາມຕ້ານທານການຂັດ：ຊິລິໂຄນຄາໄບມີຄວາມແຂງ ແລະ ແຂງແຮງສູງ, ແລະ ສາມາດທົນຕໍ່ຄວາມກົດດັນທາງກົນຈັກ ແລະ ການສວມໃສ່ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ໂດຍສະເພາະໃນບາງສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີການສວມໃສ່ຮຸນແຮງ, ປະສິດທິພາບຂອງມັນດີເລີດເປັນພິເສດ.
ແອັບພລິເຄຊັນ
ການລະລາຍໂລຫະ:ໃນຂະບວນການຫຼອມໂລຫະ, ໂດຍສະເພາະໃນການລະລາຍອາລູມີນຽມ, ເຫຼັກກ້າ ແລະ ໂລຫະທີ່ມີຄ່າບາງຊະນິດ, ຕ້ອງມີວັດສະດຸທີ່ສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ການກັດກ່ອນເພື່ອຕ້ານທານກັບການກັດກ່ອນຂອງໂລຫະທີ່ລະລາຍ. ທໍ່ເຕົາຊິລິກອນຄາໄບສາມາດທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງກວ່າ 2000 ℃ ແລະ ເໝາະສົມຫຼາຍສຳລັບການໃຊ້ເປັນອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນ ຫຼື ວັດສະດຸຊັ້ນໃນໃນເຕົາຫຼອມໂລຫະ.
ອຸດສາຫະກຳແກ້ວ ແລະ ເຊລາມິກຂະບວນການຜະລິດແກ້ວກ່ຽວຂ້ອງກັບການລະລາຍ ແລະ ຄວາມຮ້ອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງ. ທໍ່ເຕົາຊິລິກອນຄາໄບ, ດ້ວຍຄວາມຕ້ານທານອຸນຫະພູມສູງ, ສາມາດເພີ່ມປະສິດທິພາບການຜະລິດໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ. ໃນລະຫວ່າງຂະບວນການເຜົາເຊລາມິກ, ທໍ່ເຕົາຊິລິກອນຄາໄບ, ເປັນວັດສະດຸທໍ່ໃນເຕົາເຜົາທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ, ກໍ່ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງເຊັ່ນກັນ.
ປະຕິກິລິຍາເຄມີໃນອຸດສາຫະກໍາເຄມີ, ປະຕິກິລິຍາເຄມີບາງຢ່າງຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ປະຕິບັດພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມກົດດັນສູງ, ແລະຂະບວນການປະຕິກິລິຍາອາດຈະຜະລິດອາຍແກັສທີ່ກັດກ່ອນ. ທໍ່ເຕົາຊິລິກອນຄາໄບມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນສູງຫຼາຍ ແລະ ສາມາດໃຫ້ການສະໜັບສະໜູນທີ່ໝັ້ນຄົງພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂທີ່ຮຸນແຮງເຫຼົ່ານີ້, ຮັບປະກັນຄວາມຄືບໜ້າຂອງປະຕິກິລິຍາຢ່າງລຽບງ່າຍ.
ການປິ່ນປົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນເຕັກໂນໂລຊີການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອປ່ຽນໂຄງສ້າງແລະປະສິດທິພາບຂອງໂລຫະຫຼືໂລຫະປະສົມ, ແລະທໍ່ເຕົາຊິລິໂຄນຄາໄບຖືກນໍາໃຊ້ໃນເຕົາປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນ, ໂດຍສະເພາະໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງສໍາລັບການແຂງແລະການຫລອມ, ເຊິ່ງສາມາດຮັບປະກັນຄວາມໝັ້ນຄົງຂອງອຸນຫະພູມແລະອາຍຸການຂອງເຕົາອົບໃນລະຫວ່າງການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນໄດ້ຢ່າງມີປະສິດທິພາບ.
ອຸດສາຫະກຳເຄິ່ງຕົວນຳ: ໃນຂະບວນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ, ໂດຍສະເພາະໃນຂະບວນການສະສົມໄອນ້ຳເຄມີ (CVD) ແລະ ຂະບວນການປິ່ນປົວອຸນຫະພູມສູງອື່ນໆ, ທໍ່ເຕົາຊິລິກອນຄາໄບມີບົດບາດສຳຄັນ. ຄຸນສົມບັດທີ່ທົນທານຕໍ່ອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ທົນທານຕໍ່ການກັດກ່ອນຊ່ວຍໃຫ້ມັນສາມາດຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການສູງສຳລັບການຄວບຄຸມອຸນຫະພູມ ແລະ ຄວາມບໍລິສຸດຂອງອາຍແກັສໃນການຜະລິດເຄິ່ງຕົວນຳ.
ເຕັກນິກການຜະລິດ
ຂະບວນການຜະລິດທໍ່ເຕົາຊິລິກອນຄາໄບແມ່ນຂ້ອນຂ້າງສັບສົນ ແລະ ຕ້ອງການເຕັກໂນໂລຊີການເຜົາໄໝ້ອຸນຫະພູມສູງພິເສດສຳລັບການກະກຽມ. ວິທີການກະກຽມທົ່ວໄປປະກອບມີ:
ການເຜົາໄໝ້ແບບກົດຮ້ອນ:ການເຜົາດ້ວຍຄວາມຮ້ອນແມ່ນວິທີການເຜົາຜົງຊິລິກອນຄາໄບພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ຄວາມກົດດັນສູງ. ວິທີການນີ້ສາມາດໄດ້ຮັບວັດສະດຸຊິລິກອນຄາໄບທີ່ຂ້ອນຂ້າງໜາແໜ້ນດ້ວຍຄຸນສົມບັດກົນຈັກທີ່ດີເລີດ ແລະ ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນ.
ການຕົກຕະກອນຂອງໄອນ້ຳວັດສະດຸຊິລິໂຄນຄາໄບທີ່ມີຄວາມບໍລິສຸດສູງ ແລະ ມີຂໍ້ບົກຜ່ອງຕ່ຳສາມາດກະກຽມໄດ້ໂດຍການວາງອາຍ. ການວາງອາຍສາມາດຄວບຄຸມຄວາມໜາ ແລະ ຮູບຮ່າງຜລຶກຂອງຊັ້ນທີ່ວາງພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສະເພາະ, ເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວຂອງທໍ່ເຕົາເຜົາລຽບນຽນ ແລະ ເພີ່ມຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ.
ການເຜົາຜະນຶກປະຕິກິລິຍາຊິລິໂຄນຄາໄບແມ່ນຜະລິດໂດຍການປະຕິກິລິຍາກັບສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ແຕກຕ່າງກັນຜ່ານວິທີການເຜົາຜະນຶກປະຕິກິລິຍາ. ວິທີການນີ້ມີຂະບວນການທີ່ຂ້ອນຂ້າງງ່າຍດາຍ ແລະ ສາມາດຜະລິດໄດ້ເປັນຈຳນວນຫຼາຍ, ແຕ່ຄວາມໜາແໜ້ນ ແລະ ຄຸນສົມບັດທາງກົນຈັກຂອງຜະລິດຕະພັນສຳເລັດຮູບແມ່ນຕ່ຳກວ່າການເຜົາຜະນຶກດ້ວຍຄວາມຮ້ອນເລັກນ້ອຍ.
ເຕົາເຜົາທໍ່ຊິລິກອນຄາໄບຂອງບໍລິສັດ VET, ຖືກອອກແບບມາເປັນພິເສດສຳລັບການນຳໃຊ້ການປິ່ນປົວດ້ວຍຄວາມຮ້ອນທີ່ຫຼາກຫຼາຍ, ມີອົງປະກອບຄວາມຮ້ອນຊິລິກອນຄາໄບ (SiC) ທີ່ທົນທານ, ສະແດງໃຫ້ເຫັນເຖິງຄວາມສະເໝີພາບຂອງອຸນຫະພູມທີ່ໂດດເດັ່ນ ແລະ ຄວາມໄວໃນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນທີ່ວ່ອງໄວ. ໂຄງສ້າງທີ່ແຂງແຮງນີ້ຮັບປະກັນປະສິດທິພາບທີ່ໝັ້ນຄົງເຖິງແມ່ນວ່າຈະຢູ່ພາຍໃຕ້ອຸນຫະພູມທີ່ຮຸນແຮງ. ເມື່ອລວມກັບລະບົບຄວບຄຸມອຸນຫະພູມທີ່ຊັດເຈນ, ມັນສາມາດໄດ້ຮັບຜົນການທົດລອງທີ່ຖືກຕ້ອງສູງ ແລະ ເຮັດຊ້ຳໄດ້. ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືທີ່ຍາວນານຂອງມັນເຮັດໃຫ້ອຸປະກອນນີ້ເປັນທາງເລືອກທີ່ເໝາະສົມສຳລັບຂົງເຂດຕ່າງໆເຊັ່ນ: ການຄົ້ນຄວ້າວັດສະດຸ ແລະ ການປຸງແຕ່ງເຊລາມິກ. ບໍ່ວ່າຈະຢູ່ໃນຫ້ອງທົດລອງ ຫຼື ສະພາບແວດລ້ອມອຸດສາຫະກຳ, ເຕົາເຜົາທໍ່ຫຼາຍໜ້າທີ່ ແລະ ມີປະສິດທິພາບສູງນີ້ສາມາດໃຫ້ການແກ້ໄຂທີ່ສົມບູນແບບສຳລັບຄວາມຕ້ອງການໃນການປິ່ນປົວຄວາມຮ້ອນທຸກປະເພດ.
ເວລາໂພສ: ສິງຫາ-12-2025