Nośniki płytek MOCVD z powłoką grafitową SiC, susceptory grafitowe do epitaksji SiC,
-Wafer SiCGraphite, Węgiel dostarcza susceptory, susceptory epitaksji, Grafit dostarcza susceptory, Susceptory wafli grafitowych, https://www.vet-china.com/sic-coating-graphite-mocvd-wafer-carriers-2.html#:~:text=SicGraphiteSusceptors-, SicGraphiteTrays,

Powłoka CVD-SiC charakteryzuje się jednorodną strukturą, zwartym materiałem, odpornością na wysoką temperaturę, odpornością na utlenianie, wysoką czystością, odpornością na kwasy i zasady oraz odczynniki organiczne, przy zachowaniu stabilnych właściwości fizycznych i chemicznych.

W porównaniu z materiałami grafitowymi o wysokiej czystości, grafit zaczyna się utleniać w temperaturze 400°C, co powoduje utratę proszku z powodu utleniania, co skutkuje zanieczyszczeniem środowiska urządzeniami peryferyjnymi i komorami próżniowymi oraz wzrostem zanieczyszczeń w środowisku o wysokiej czystości.

Jednakże powłoka SiC może zachować stabilność fizyczną i chemiczną w temperaturze 1600 stopni. Jest ona szeroko stosowana w nowoczesnym przemyśle, szczególnie w przemyśle półprzewodników.

Nasza firma świadczy usługi powlekania SiC metodą CVD na powierzchni grafitu, ceramiki i innych materiałów, tak aby specjalne gazy zawierające węgiel i krzem reagowały w wysokiej temperaturze w celu uzyskania cząsteczek SiC o wysokiej czystości, cząsteczek osadzonych na powierzchni powlekanych materiałów, tworząc warstwę ochronną SIC. Powstały SIC jest mocno związany z bazą grafitową, nadając bazie grafitowej specjalne właściwości, dzięki czemu powierzchnia grafitu jest zwarta, wolna od porowatości, odporna na wysoką temperaturę, korozję i utlenianie.

Główne cechy:

1. Odporność na utlenianie w wysokiej temperaturze:

Odporność na utlenianie jest nadal bardzo dobra, nawet w temperaturach dochodzących do 1700 C.

2. Wysoka czystość: uzyskana poprzez osadzanie chemiczne z fazy gazowej w warunkach chlorowania w wysokiej temperaturze.

3. Odporność na erozję: duża twardość, zwarta powierzchnia, drobne cząsteczki.

4. Odporność na korozję: kwasy, zasady, sole i odczynniki organiczne.

Główne specyfikacje powłok CVD-SIC:

Możliwość dostawy:

10000 sztuk/sztuk miesięcznie
Opakowanie i dostawa:
Opakowanie: standardowe i mocne
Worek foliowy + Pudełko + Karton + Paleta
Port:
Ningbo/Shenzhen/Szanghaj
Czas realizacji: