Wymagania przemysłu półprzewodnikowego w stosunku do materiału grafitowego są szczególnie wysokie; drobny rozmiar cząstek grafitu charakteryzuje się wysoką precyzją, odpornością na wysoką temperaturę, dużą wytrzymałością, małymi stratami i innymi zaletami, takimi jak: formy do produkcji wyrobów ze spiekanego grafitu.Ponieważ urządzenia grafitowe używane w przemyśle półprzewodnikowym (w tym grzejniki i ich spiekane matryce) muszą wytrzymywać powtarzające się procesy nagrzewania i chłodzenia, w celu wydłużenia żywotności urządzeń grafitowych zwykle wymaga się, aby używane materiały grafitowe charakteryzowały się stabilną wydajnością i były odporne na uderzenia cieplne.
01 Akcesoria grafitowe do wzrostu kryształów półprzewodników
Wszystkie procesy hodowli kryształów półprzewodnikowych przebiegają w wysokiej temperaturze i środowisku korozyjnym. Strefa gorąca pieca do hodowli kryształów jest zazwyczaj wyposażona w odporne na ciepło i korozję elementy grafitowe o wysokiej czystości, takie jak grzałka, tygiel, cylinder izolacyjny, cylinder prowadzący, elektroda, uchwyt tygla, nakrętka elektrody itp.
Możemy wyprodukować wszystkie grafitowe elementy urządzeń do produkcji kryształów, dostarczane pojedynczo lub w zestawach, a także niestandardowe elementy grafitowe o różnych rozmiarach, zgodnie z wymaganiami klienta. Rozmiar produktów można zmierzyć na miejscu, a zawartość popiołu w gotowych produktach może być mniejsza.niż 5 ppm.
02 Akcesoria grafitowe do epitaksji półprzewodników
Proces epitaksjalny odnosi się do wzrostu warstwy monokrystalicznego materiału o takiej samej strukturze sieciowej jak podłoże na podłożu monokrystalicznym. W procesie epitaksjalnym wafel jest ładowany na dysk grafitowy. Wydajność i jakość dysku grafitowego odgrywają kluczową rolę w jakości warstwy epitaksjalnej wafla. W dziedzinie produkcji epitaksjalnej potrzebne są duże ilości grafitu o ultra wysokiej czystości oraz grafitu bazowego o wysokiej czystości z powłoką SIC.
Grafitowa baza naszej firmy do epitaksji półprzewodników ma szeroki zakres zastosowań, może być stosowana z większością powszechnie stosowanych w przemyśle urządzeń, charakteryzuje się wysoką czystością, jednorodną powłoką, doskonałą żywotnością oraz wysoką odpornością chemiczną i stabilnością termiczną.
03 Akcesoria grafitowe do implantacji jonów
Implantacja jonowa to proces przyspieszania wiązki plazmowej boru, fosforu i arsenu do określonej energii, a następnie wstrzykiwania jej do warstwy powierzchniowej materiału wafla w celu zmiany jej właściwości. Elementy urządzenia do implantacji jonowej powinny być wykonane z materiałów o wysokiej czystości, charakteryzujących się doskonałą odpornością na ciepło, przewodnością cieplną, mniejszą podatnością na korozję powodowaną przez wiązkę jonów oraz niską zawartością zanieczyszczeń. Grafit o wysokiej czystości spełnia wymagania aplikacyjne i może być stosowany do rur przelotowych, różnego rodzaju szczelin, elektrod, osłon elektrod, przewodów, terminatorów wiązki itp. w urządzeniach do implantacji jonowej.
Oferujemy nie tylko grafitowe osłony ekranowe do różnych urządzeń do implantacji jonów, ale także elektrody grafitowe o wysokiej czystości i źródła jonów o wysokiej odporności na korozję, o różnych parametrach. Dotyczy to modeli: Eaton, Azcelis, Quatum, Varian, Nissin, AMAT, LAM i innych urządzeń. Ponadto oferujemy również dopasowane produkty ceramiczne, wolframowe, molibdenowe, aluminiowe oraz części powlekane.
04 Materiały izolacyjne grafitowe i inne
Materiały termoizolacyjne stosowane w urządzeniach do produkcji półprzewodników obejmują twardy filc grafitowy, miękki filc grafitowy, folię grafitową, papier grafitowy i linę grafitową.
Wszystkie nasze surowce to importowany grafit, który możemy ciąć zgodnie ze szczegółowymi wymaganiami klienta lub sprzedawać w całości.
Tacka węglowo-węglowa służy jako nośnik powłoki foliowej w procesie produkcji monokrystalicznych i polikrystalicznych ogniw słonecznych z krzemu. Zasada działania jest następująca: wkłada się chip krzemowy do tacy CFC i umieszcza go w piecu rurowym w celu nałożenia powłoki foliowej.
