Łódka kwarcowa o wysokiej czystości do obróbki płytek

Łódka z kwarcowego waflaTo kluczowe narzędzie w produkcji półprzewodników, ogniw fotowoltaicznych oraz w badaniach i rozwoju zaawansowanych materiałów, zaprojektowane do stabilnego transportu i pozycjonowania płytek w procesach wysokotemperaturowych. Produkt ten wykonany jest z topionej krzemionki (SiO₂) o ultrawysokiej czystości, charakteryzującej się doskonałą odpornością temperaturową, stabilnością chemiczną i ultraniskim zanieczyszczeniem metalami. Nadaje się do pieców dyfuzyjnych, pieców utleniających, PECVD/LPCVD i innych urządzeń. Jest szeroko stosowany w powlekaniu płytek, implantacji jonów, wyżarzaniu wysokotemperaturowym i innych procesach rdzeniowych.

Główne zalety łodzi kwarcowej VET Energy:

• Materiał o bardzo wysokiej czystości
  Czystość ≥99,99%: Zawartość zanieczyszczeń (Na, K, Fe itp.) <5 ppm, co pozwala uniknąć zanieczyszczenia wafli i zagwarantować wydajność produkcji układów scalonych.
  Niskie wytrącanie i adsorpcja: powierzchnia jest superpolerowana (Ra≤0,4 μm) w celu zmniejszenia przylegania cząstek i pozostałości gazu.
• Wysoka stabilność temperaturowa
  Ograniczenie temperatury: długotrwała temperatura robocza 1100℃, krótkotrwała temperatura szczytowa 1300℃, brak odkształceń, brak wytrącania się kryształów.
  Niski współczynnik rozszerzalności cieplnej (5,5x10-7/℃), doskonała odporność na szok termiczny, możliwość dostosowania do procesów szybkiego wzrostu i spadku temperatury (np. szybkie wyżarzanie RTP).
• Precyzyjna konstrukcja
  Dokładność szczeliny ±0,1 mm: dopasowanie płytek o średnicy od 2” do 12”, błąd jednorodności odstępu <0,05 mm, co gwarantuje brak przesunięcia płytek.
  Wysoka ładowność: Maksymalne obciążenie 50 płytek (w przeliczeniu na płytki 12”) w jednym pojemniku, co umożliwia stabilne przenoszenie cienkich płytek (≥100um).
• Obojętność chemiczna
  Odporność na korozję: Odporny na działanie kwasów (z wyjątkiem HF), zasad i rozpuszczalników organicznych, kompatybilny z procesem czyszczenia CMP.
  Doskonała szczelność gazowa: współczynnik nieszczelności <5x10-10 Pa.m3/s, nadaje się do stosowania w próżni i środowiskach z gazem ochronnym.
• Długa żywotność i łatwość konserwacji
  Żywotność ≥ 5000 cykli (normalne warunki pracy), powierzchnia może być wielokrotnie czyszczona i używana, co obniża całkowity koszt.
  Modułowa konstrukcja: umożliwia częściową wymianę (np. pojedynczego zęba łodzi), co skraca czas przestoju.

Oferujemy powierzchnie transparentne i matowe według wymagań klienta:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd to przedsiębiorstwo high-tech, którego działalność skupia się na produkcji i sprzedaży zaawansowanych materiałów najwyższej jakości, w tym grafitu, węglika krzemu, ceramiki, obróbki powierzchni, np. powłoki SiC, powłoki TaC, powłoki z węgla szklistego, powłoki z węgla pirolitycznego itp. Produkty te są szeroko stosowane w fotowoltaice, półprzewodnikach, nowych źródłach energii, metalurgii itp.

Nasz zespół techniczny składa się z pracowników czołowych krajowych instytutów badawczych i opracował wiele opatentowanych technologii gwarantujących wydajność i jakość produktów. Możemy także zapewnić klientom profesjonalne rozwiązania materiałowe.