Fa'agasologa ma Meatotino o le Porous Silicon Carbide Ceramics

Ⅰ. Fa'atomuaga

Omea Porous Silicon Carbide (Porous SiC)o mea fa'a-keramika fa'aonaponei e tu'ufa'atasia ai meatotino mata'ina o le silicon carbide ma se fausaga porous ua mamanuina ma le fa'aeteete. E le pei o keramika SiC mafiafia, o le porous SiC e fa'alauiloa ai pu feso'ota'i e maua ai galuega fa'aopoopo, e aofia ai le fa'atonutonuina o le permeability, mamanu mama, fa'amafanafanaga fa'avevela, ma le fa'aleleia atili o le gafatia e feavea'i ai le vai.

Faatasi ai ma le mautu lelei o le vevela, tete'e atu i vaila'au, ma le fa'atuatuaina fa'amekanika, ua fa'ateleina le taua o porous SiC ceramics i pisinisi e maualuga le vevela, aemaise lava le gaosiga o semiconductor, lea e mana'omia ai e siosiomaga fa'agasologa le mama maualuga, tete'e atu i le 'ele, ma le mautu o le fa'agaioiga i se taimi umi.

II. Uiga o Meafaitino o Porous Silicon Carbide Ceramics

1. Mausali i le Vevela Maualuga

Ua lauiloa le silicon carbide i lona faatinoga lelei tele i lalo o le vevela tele ona o lona malosi o le Si-C covalent bonding. O le Porous SiC e faatumauina le tulaga mautu o le fausaga i siosiomaga vevela maualuga, ma avea ai ma mea talafeagai mo le semiconductor thermal processing, epitaxy systems, ma vaega o le ogaumu.

O lona maualalo o le fa'alauteleina o le vevela ma le tete'e lelei i le te'i vevela e fesoasoani e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina ma fa'aleleia atili ai le mautu o le fa'agasologa.

2. Tete'e Sili Atu i Vailaau Fa'akemikolo ma Plasma

O le gaosiga o semiconductor e aofia ai kasa malolosi ma siosiomaga plasma, e aofia ai kasa e faʻavae i le chlorine, plasma fluorine, ma ea e tali atu i le vevela maualuga.

O mea e ofoina atu e le porous SiC ceramics:

• Tete'e sili ona lelei i le fa'a'okesa
• Maualuga le mautu o vailaʻau
• Tete'e malosi i le soloia o le plasma
• Uiga maualalo o le fa'aleagaina

O nei penefiti e fesoasoani e faʻaitiitia ai le gaosiga o vaega laiti ma faʻateleina ai le umi e ola ai vaega i masini semiconductor.

3. Fa'atonutonuina o le Porosity ma le Gas Permeability

O le tulaga lelei autū o le porous SiC o lona fausaga o pu e mafai ona fetu'una'i. E ala i le puleaina o le tele o pu, le tufatufaina atu, ma le feso'ota'iga, e mafai ai e le au gaosi oloa ona fa'aleleia le paleni i le va o le malosi fa'amekanika ma le permeability.

O lenei uiga tulaga ese e mafai ai e le porous SiC ona galue e pei o:

• Mea e fa'asalalauina ai le kesi
• Fausaga fa'amamā
• Vaega o le pulega o le vevela

III. Tekinolosi Fa'agasologa o Porous Silicon Carbide Ceramics

O le faʻatinoga o porous SiC ceramics e faʻalagolago tele lava i metotia gaosiga ma le mamanu o microstructure.

Fa'aitiitia o le Carbothermal

O lenei faiga masani e maua ai le SiC porous e ala i ni tali i le vevela maualuga i le va o mea o loʻo i ai le silicon ma punaoa o le kaponi. E mafai ai ona fausia ni faʻavae SiC mama maualuga ma le mautu lelei i le vevela.

Sintering Vaega Vai

O le sintering vai-phase e faʻaaogaina ai mea faʻaopoopo e faʻaleleia atili ai le pipii ma le faʻamaʻaʻaina o vaega. E ala i le fetuʻunaʻiina o le vevela o le sintering ma le kemisi faʻaopoopo, e mafai ai e le au gaosi oloa ona ausia le malosi faʻapitoa ma le tufatufaina o pu.

Fa'asusuina o le Ausa Fa'akemikolo (CVI)

E fa'aofi e le CVI ni kasa e pei o ni mea e fa'asolo i totonu o ni fausaga e iai pu, lea e fa'aputu ai le SiC i luga o ni mea i totonu. O lenei metotia e fa'aleleia atili ai le malosi o le fausaga, le mama, ma le tumau i le vevela maualuga.

Metotia o le Foaming ma le Template

O tekinolosi fa'apupuna ma fa'ata'ita'iga e fa'atupuina ai ni fausaga fa'asolosolo o pu e ala i le puleaina o mea e fa'atupuina ai pu po'o ni fa'ata'ita'iga fa'apitoa. O nei metotia e maua ai le permeability sili ona lelei ma fausaga fa'apitoa o pu.

I. Fa'aoga i le Gaosiga o Semiconductor

Ona o lona tuufaatasiga tulaga ese o meatotino fa'avevela, vaila'au, ma fausaga, o lo'o fa'ateleina ai le fa'aaogaina o keramika porous SiC i faiga fa'asemconductor.

Vaega o le Tufaina o le Kasa

I faiga CVD, PECVD, ma le ALD, e mafai e le porous SiC ona avea o ni fa'asalalau kesi ma ni papatusi tufatufaina e ausia ai le tafe tutusa o le kesi i le faagasologa ma fa'aleleia atili ai le tumau o le teuina o le ata tifaga.

Meafaigaluega Fa'agasologa o le Plasma

I totonu o faiga e fa'amama ma fa'amamāina ai le plasma, o vaega porous SiC e ofoina atu le tete'e sili atu i siosiomaga fa'aleagaina o le plasma, e fa'aitiitia ai le fa'aleagaina o vaega ma fa'aleleia atili ai le fa'atuatuaina o meafaigaluega.

SiC ma GaN Epitaxy Systems

Mo le gaosiga o semiconductor o le tupulaga lona tolu, o le porous SiC e fesoasoani i le faʻaleleia atili o le pulega o le vevela ma le mautu o le faagasologa i siosiomaga tuputupu aʻe epitaxial e maualuga le vevela.

Vaega o le Taulimaina o le Wafer

Pusa fa'amama SiC porousmalagolago wafere tuʻuina atu le saʻo maualuga, maualalo le faʻaleagaina, ma teteʻe lelei i vailaʻau faʻakemikolo mo le siakiina o le wafer, lithography, ma le faʻagasologaina o le vevela.

Ⅴ. Faaiuga

Omea Fa'a-silicon Carbide Porousfa'atusalia ai le evolusione oMeafaitino SiCmai keramika fausaga masani agai atu i vaega semiconductor aoga. E ala i tekinolosi fa'agasologa fa'aonaponei ma le pulea sa'o o le fausaga o pu, e ausia ai e le porous SiC se paleni lelei i le va o le malosi, permeability, fa'atinoga fa'avevela, ma le mautu fa'akemikolo.

A o faʻaauau pea ona agaʻi i luma le gaosiga o semiconductor agai i le maualuga o le vevela ma le pulea lelei o le faʻaleagaina, o le a faia e porous SiC ceramics se sao taua tele i leFaiga CVD, meafaigaluega fa'agasolo plasma, taulimaina o wafer, ma tekinolosi gaosiga semiconductor o le isi tupulaga.