Ho tloha ha e sibolloa, silicon carbide e hohetse tlhokomelo e pharaletseng. Silicon carbide e entsoe ka liathomo tse halofo tsa Si le liathomo tse halofo tsa C, tse hokahaneng ka litlamo tsa covalent ka lipara tsa lielektrone tse arolelanang li-orbitals tsa sp3 hybrid. Karolong ea motheo ea sebopeho sa kristale ea eona e le 'ngoe, liathomo tse 'ne tsa Si li hlophisitsoe ka sebopeho se tloaelehileng sa tetrahedral, 'me athomo ea C e bohareng ba tetrahedron e tloaelehileng. Ka lehlakoreng le leng, athomo ea Si e ka boela ea nkoa e le setsi sa tetrahedron, ka hona e theha SiC4 kapa CSi4. Sebopeho sa tetrahedral. Tlamo ea covalent ho SiC e na le ionic e ngata, 'me matla a tlamo ea silicon-carbon a phahame haholo, a ka bang 4.47eV. Ka lebaka la matla a tlase a stacking fault, likristale tsa silicon carbide li theha li-polytype tse fapaneng habonolo nakong ea ts'ebetso ea kholo. Ho na le li-polytype tse fetang 200 tse tsejoang, tse ka aroloang ka mekhahlelo e meraro e meholo: cubic, hexagonal le trigonal.
Hona jwale, mekgwa e meholo ya kgolo ya dikristale tsa SiC e kenyeletsa Mokgwa wa ho Tsamaisa Mouoane wa Sesebediswa (mokgwa wa PVT), Ho Tloswa ha Mouoane wa Khemikhale wa Mocheso o Phahameng (mokgwa wa HTCVD), Mokgwa wa Mokgahlelo wa Metsi, jj. Har'a tsona, mokgwa wa PVT o hodile haholo mme o loketse tlhahiso ya bongata ba diindasteri.
Mokhoa o bitsoang PVT o bolela ho beha likristale tsa peo ea SiC holim'a sebopi, le ho beha phofo ea SiC e le thepa e tala tlase ho sebopi. Tikolohong e koetsoeng ea mocheso o phahameng le khatello e tlase, phofo ea SiC ea inela 'me ea nyolohela holimo tlas'a ketso ea phapang ea mocheso le mahloriso. Mokhoa oa ho e isa haufi le kristale ea peo ebe u e sebelisa hape kamora ho fihla boemong bo tletseng metsi. Mokhoa ona o ka fihlella kholo e laoloang ea boholo ba kristale ea SiC le mefuta e itseng ea kristale.
Leha ho le jwalo, ho sebedisa mokgwa wa PVT ho hodisa dikristale tsa SiC ho hloka hore ho bolokwe maemo a loketseng a kgolo nakong ya tshebetso ya kgolo ya nako e telele, ho seng jwalo ho tla lebisa ho se sebetseng hantle ha lattice, ka hona ho ama boleng ba kristale. Leha ho le jwalo, kgolo ya dikristale tsa SiC e phethelwa sebakeng se kwetsweng. Ho na le mekgwa e mmalwa e sebetsang ya ho lekola le diphetoho tse ngata, kahoo taolo ya tshebetso e thata.
Mokhoeng oa ho holisa likristale tsa SiC ka mokhoa oa PVT, mokhoa oa kholo ea phallo ea mohato (Khōlo ea Phallo ea Mohato) o nkoa e le mokhoa o ka sehloohong oa kholo e tsitsitseng ea foromo e le 'ngoe ea kristale.
Liathomo tsa Si tse nang le mouoane le liathomo tsa C li tla kopana ka ho khetheha le liathomo tsa bokaholimo ba kristale ntlheng ea kink, moo li tla mela 'me li hole, e leng se etsang hore mohato ka mong o phallele pele ka ho lekana. Ha bophara ba mohato holim'a bokaholimo ba kristale bo feta hole tsela e sa phalleng ea adatoms, palo e kholo ea adatoms e ka 'na ea kopana, 'me mokhoa oa kholo o kang oa sehlekehleke o entsoeng o tla senya mokhoa oa kholo ea phallo ea mohato, e leng se fellang ka tahlehelo ea tlhahisoleseling ea sebopeho sa kristale sa 4H, e leng se fellang ka liphoso tse ngata. Ka hona, phetoho ea liparamente tsa ts'ebetso e tlameha ho fihlella taolo ea sebopeho sa mohato oa bokaholimo, ka hona e hatella tlhahiso ea liphoso tsa polymorphic, e fihlelle morero oa ho fumana foromo e le 'ngoe ea kristale, 'me qetellong e lokise likristale tsa boleng bo holimo.
Jwalo ka mokgwa wa pele wa kgolo ya kristale ya SiC o ntshetsweng pele, mokgwa wa ho tsamaisa mouwane wa mmele ke wona mokgwa o tsebahalang haholo wa kgolo bakeng sa ho hodisa dikristale tsa SiC. Ha o bapiswa le mekgwa e meng, mokgwa ona o na le ditlhoko tse tlase bakeng sa disebediswa tsa kgolo, mokgwa o bonolo wa kgolo, taolo e matla, dipatlisiso tse tebileng tsa ntshetsopele, mme o se o fihletse tshebediso ya indasteri. Molemo wa mokgwa wa HTCVD ke hore o ka hodisa di-wafer tse tsamaisang motlakase (n, p) le tse hlwekileng haholo, mme o ka laola kgatello ya doping e le hore kgatello ya mojari ka hara wafer e ka fetolwa pakeng tsa 3 × 1013 ~ 5 × 1019/cm3. Mathata ke moedi o phahameng wa tekheniki le karolo e tlase ya mmaraka. Ha theknoloji ya kgolo ya kristale ya SiC ya moedi e ntse e tswela pele ho hola, e tla bontsha bokgoni bo boholo ba ho ntshetsa pele indasteri yohle ya SiC nakong e tlang mme ho ka etsahala hore e be ntlha e ntjha ya katleho kgolong ya kristale ya SiC.
Nako ea poso: Mmesa-16-2024