N'ime ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-agbanwe agbanwe nke anyanwụ (PV), nhazi na imepụta ihe dị oke mkpa iji melite arụmọrụ mgbanwe ike. N'ime ndị dike a na-anaghị akpọ aha n'ime usoro a bụ Ụgbọ Mmiri Graphite Solar, ihe pụrụ iche emere maka imepụta semiconductor dị elu. VET Energy, onye na-emepụta ihe kachasị elu, mepụtara ụgbọ mmiri graphite ndị a, na-arụ ọrụ dị mkpa n'ịmepụta mkpụrụ ndụ anyanwụ dị elu. Ka anyị nyochaa ngwa ha, ihe onwunwe anụ ahụ, na ihe kpatara ha ji dị mkpa na teknụzụ anyanwụ nke oge a.
Kedu ụgbọ mmiri graphite nke anyanwụ?
Ụgbọ mmiri Graphite nke anyanwụ bụ ihe eji ebu ihe eji eme ihe na usoro Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), nke bụ isi ihe dị mkpa n'ịmepụta mkpụrụ ndụ anyanwụ. Ọ na-ejide wafer silicon n'ụzọ dị nchebe n'oge a na-etinye ihe nkiri dị gịrịgịrị, dị ka mkpuchi mgbochi ntụgharị na oyi akwa passivation, nke dị mkpa maka ịbawanye nnabata ìhè na ibelata mfu ike na mkpụrụ ndụ anyanwụ.
Ndị ọrụ VET EnergyỤgbọ mmiri graphite PECVDA na-emepụta ha ka ha nagide ọnọdụ dị oke njọ ma na-ahụ na ha dị n'otu ma bụrụkwa ndị a pụrụ ịtụkwasị obi. Nhazi ha na-emetụta kpọmkwem ịdị mma nke ihe nkiri ndị e tinyere n'ime igbe, nke na-ekpebikwa arụmọrụ na ogologo oge nke ngwaahịa anyanwụ ikpeazụ.
Ngwa dị mkpa na mmepụta PV anyanwụ
1. Mkpuchi Mkpuchi Na-egbochi Mmetụta Uche
Mkpụrụ ndụ anyanwụ na-adabere na mkpuchi mgbochi-mgbapụta iji belata ntụgharị ìhè ma mee ka nnabata foton dịkwuo elu. Ụgbọ mmiri graphite ahụ na-eme ka a hụ na wafers silicon na-apụta ìhè nke ọma na gas ndị na-emegharị ahụ n'oge PECVD, na-emepụta mkpuchi otu nke na-eme ka njide ìhè dịkwuo mma.
2. Ntugharị Elu
A na-etinye akwa ngafe (dịka ọmụmaatụ, silicon nitride) iji belata ntụpọ elu na mfu njikọta. Ụgbọ mmiri VET Energy na-ejikwa njikwa okpomọkụ na nkesa gas kpọmkwem, nke dị oke mkpa maka ịmepụta akwa ngafe na-enweghị ntụpọ nke na-eme ka ogologo ndụ sel dịkwuo mma.
3. Mmepụta Ihe Dị Elu
E mere ụgbọ mmiri ndị a ka ha kwekọọ na sistemụ PECVD nke ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ha na-akwado nhazi ngwa ngwa nke ọtụtụ wafers n'otu oge, na-eme ka arụmọrụ mmepụta dịkwuo mma maka nnukwu ahịrị mmepụta panel anyanwụ.
Njirimara Anụ Ahụ Kachasị Elu nke Ụgbọ Mmiri Graphite nke VET Energy
Arụmọrụ nke ụgbọ mmiri graphite dabere na ihe onwunwe ya. VET Energy na-ejikọta injinia graphite dị elu na mkpuchi nkeonwe iji nye:
1. Ike zuru oke nke okpomọkụ
- Okpomọkụ ọrụ na PECVD na-agafekarị 1,200°C. Ụgbọ mmiri ndị a na-ejigide iguzosi ike n'ezi ihe owuwu ma na-ebelata mgbasawanye okpomọkụ, na-ahụ na nhazi wafer na-agbanwe agbanwe ọbụlagodi n'okpuru usoro okpomọkụ/oyi ngwa ngwa.
- Oke ike okpomọkụ (23 W/m·K) na-eme ka okpomọkụ kesaa otu nha, na-egbochi ebe okpomọkụ nwere ike imebi wafers.
2. Nguzogide Kemịkalụ
- Na-eguzogide gas ndị na-emebi emebi dịka NH₃ na SiH₄, nke a na-ahụkarị na usoro PECVD. Nke a na-agbatị ndụ ụgbọ mmiri ahụ ma na-ebelata ihe egwu nke mmetọ.
3. Nhazi Gas Na-eme Kachasị Mma
- Nhazi ndị nwere ike ime ka ikuku na-asọfe n'ofe wafer niile, nke dị mkpa maka ọkpụrụkpụ na nhazi otu ihe nkiri. Nke a pụtara ozugbo na arụmọrụ sel anyanwụ dị elu.
4. Ogologo Ndụ Ọrụ
- Mkpuchi CVD dị elu (dịka ọmụmaatụ, silicon carbide ma ọ bụ tantalum carbide) na-eme ka ike sie ike. Dịka ọmụmaatụ, ihe ndị e ji TaC kpuchie nke VET Energy na-eguzogide okpomọkụ karịrị 2,500°C ma na-eguzogide nchara ígwè agbaze, na-eme ka ndụ ha dị okpukpu atọ ma e jiri ya tụnyere ihe ndị e ji eme ihe.
5. Ike Nhazi
- Nha na mkpuchi ahaziri iche iji kwekọọ na akụrụngwa pụrụ iche (dịka ọmụmaatụ, nha wafer site na inch 4 ruo inch 12) na ihe achọrọ maka nhazi, na-ahụ na ejikọtara ya nke ọma na ahịrị mmepụta dị ugbu a.
Ụgbọ mmiri graphitevs.ụgbọ mmiri quartz
Ezigbo iguzogide okpomọkụ dị elu
- Ụgbọ mmiri graphite nwere ike iguzogide oke okpomọkụ dị elu nke 1,200°C ~ 2,500°C, ma nwee obere oke mmụba okpomọkụ n'ime oke a (dịka ọmụmaatụ, oke mmụba okpomọkụ nke ngwaahịa VET Energy bụ 4.8×10⁻⁶/°C), nke nwere ike idobe nkwụsi ike nhazi na izi ezi nke nhazi wafer. N'ụzọ dị iche, oke okpomọkụ elu nke ụgbọ mmiri quartz na-abụkarị 1,200°C, ojiji okpomọkụ dị elu ogologo oge nwere ike ibute mmebi ma ọ bụ mgbawa.
Ezigbo ike okpomọkụ na otu nhata
- Ọkwa okpomọkụ nke graphite (ihe dị ka 23 W/m·K) dị elu nke ukwuu karịa nke quartz (ihe dị ka 1.4 W/m·K), yabụ na usoro dịka PECVD (ntinye anwụrụ kemịkalụ nke plasma emelitere), ụgbọ mmiri graphite nwere ike nweta nkesa okpomọkụ yiri nke ahụ, belata ọdịiche dị na ọkpụrụkpụ ihe nkiri wafer, ma melite ịdị mma nke oyi akwa passivation nke mkpụrụ ndụ anyanwụ.
Ike siri ike megide nchara kemịkalụ
- Ụgbọ mmiri ndị e ji graphite mee nwere oke nnabata na gas ndị na-emebi emebi dịka NH₃ (ammonia) na SiH₄ (silane), ha dịkwa mma maka usoro ndị chọrọ ikpughe ugboro ugboro na gas ndị na-emegharị ahụ (dịka mkpuchi mkpụrụ ndụ PERC tubular). Na mgbakwunye, site na iji silicon carbide (SiC) ma ọ bụ tantalum carbide (TaC) kpuchie elu ya, enwere ike ịgbatịkwu ndụ ọrụ (dịka ọmụmaatụ, mkpuchi TaC nke VET Energy nwere ike iguzogide okpomọkụ dị elu nke 2,500°C).
Akụ na ụba na ndụ ogologo
- Ụgbọ mmiri graphite siri ike karịa, a pụkwara iji ya mee ihe ọtụtụ narị ugboro n'elu ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ọnụ ahịa mmezi dịkwa ala karịa nke ụgbọ mmiri quartz. Dịka ọmụmaatụ, ụgbọ mmiri graphite ahaziri ahazi nke VET Energy nwere ike ịkwado mkpa mmepụta buru ibu nke wafers 4 ~ 12-inch site na imewe kachasị mma, na-ebelata ọnụ ahịa usoro kwa wafer.
Gịnị Mere Ị Ji HọrọIke VET?
VET Energy pụtara ìhè na ngalaba ihe eji emepụta ihe dị elu n'ihi ya:
- Ọkachamara na Nchọpụta na Nhazi: Otu ndị ọkachamara sitere na ụlọ ọrụ nyocha kachasị elu, gụnyere Ụlọ Akwụkwọ Sayensị nke China, na-akwalite ihe ọhụrụ na sayensị ihe onwunwe.
- Nkwanye Ùgwù: Sistemụ njikwa mma siri ike na teknụzụ mkpuchi patented (dịka ọmụmaatụ, oyi akwa CVD ejikọtara nke ọma) na-eme ka ngwaahịa ahụ bụrụ ihe a pụrụ ịtụkwasị obi.
- Nzaghachi Ngwa Ngwa: Ngwọta ahaziri ahazi na oge nnyefe ngwa ngwa (dịka ọmụmaatụ, ụbọchị 15 maka iwu na-erughị otu puku) na-ebelata oge ọrụ maka ndị nrụpụta.
- Nkwanye ùgwù ndị ahịa: Mgbe ọtụtụ afọ nke mmiri ozuzo na mkpokọta teknụzụ gasịrị, ebupụla ụgbọ mmiri graphite nke VET Energy maka ike anyanwụ gaa ihe karịrị mba na mpaghara 100, òkè ahịa ya na Europe na United States ruru 70%, na-enweta otuto dị elu na otuto sara mbara site n'aka ndị ahịa. Ọ bụ nhọrọ kacha mma gị.
Oge ozi: Eprel-22-2025