Ọmụmụ Ihe: Ihe mejupụtara Graphite dị ọcha nke dị sentimita iri atọ na abụọ maka ubi okpomọkụ nke monocrystalline dị na uto silicon nke ụdị N

Okwu Mmalite: Ihe Ịma Aka nke Ọkụ Okpomọkụ nke Inch 32 na Ọganihu Silikọn N-Type nke Dị Elu

Ka ụlọ ọrụ fotovoltaics na-agbanwe ngwa ngwa site na mkpụrụ ndụ anyanwụ nke ụdị P-type PERC gaa na mkpụrụ ndụ anyanwụ nke ụdị N-type TOPCon na Heterojunction (HJT), ọchịchọ maka wafer silicon dị ọcha karịa amụbaala. Ihe ndị dị na silicon nke ụdị N-type chọrọ ndụ ndị na-ebu ibu dị oke elu (karịsịa karịa 300 μs) na mmetọ ihe na-adịghị ọcha ígwè nke fọrọ nke nta ka ọ bụrụ efu.

Iji mee ka mmepụta ya dịkwuo elu, ndị na-emepụta wafer silicon na-agbasa nha crucible ruo sentimita iri atọ na abụọ na karịa. Agbanyeghị, ịrụ ọrụ n'okpomọkụ karịrị 1,450°C n'ime ebe okpomọkụ dị sentimita iri atọ na abụọ na-eweta nsogbu injinịa siri ike:

1. Mmebi na Asymmetry nke Okpomọkụ:Nnukwu mgbanwe okpomọkụ na-akpata mmebi na mgbawa na ihe na-ekpo ọkụ graphite na pedestals nkịtị.
2. Mmetọ ígwè na-agbanwe agbanwe:Ihe ndị na-adịghị ọcha (Fe, Ni, Cu, V) dị n'ime graphite nkịtị na-agbaze n'oge a na-adọpụ kristal ogologo oge, na-abanye ozugbo na silicon gbazere agbaze ma na-akpata nnukwu mmebi nke ndị na-ebu nje ahụ ruo ogologo oge.

Ngwọta Injinịa: Ihe Ndobe Graphite Isostatic nke Dị Ọcha nke Ukwuu na CVD SiC

Iji merie nsogbu teknụzụ ndị a, VeTek Semiconductor tinyere nkwalite ihe zuru oke n'ofe mkpokọta ubi okpomọkụ nke sentimita 32 dum, nke nwere graphite isostatic dị elu nke a na-etinye nchacha halogen dị elu na mkpuchi nchekwa CVD Silicon Carbide (SiC).

1. Nhicha Halogen dị omimi (Ọnụọgụ ntụ ≤ 2-5 ppm)

Grafite ụlọ ọrụ nkịtị nwere nnukwu ntụ dị n'etiti 50 ppm na 200 ppm. Na 1,450°C n'okpuru oghere ikuku, ihe ndị a na-eme ka ha gbawaa. Usoro nhicha gas Halogen dị elu nke anyị nwere na-agbanwe ihe ndị na-adịghị ọcha ígwè ka ọ bụrụ ihe ndị na-agbanwe agbanwe (chlorides/fluorides) na okpomọkụ karịrị 2,400°C.

• Nnwale Oke Mbelata Mbelata (GDMS)na-enyocha na ihe ndị na-adịghị ọcha nke ígwè (Fe, Cr, Ni, Cu, V) ebelatala ruo n'okpuru 0.5 ppm, na-enweta ọdịnaya ntụ zuru oke nke ≤ 2 ppm.
• Nsonaazụ:Na-ewepụ mgbanwe gas ọla n'azụ, na-echebe ọdọ mmiri silicon gbazere agbaze site na mmetọ n'ime awa 120+ nke usoro ịdọkpụ na-aga n'ihu.

2. Ọdịdị Graphite Isostatic dị elu maka nkwụsi ike okpomọkụ

A na-eji graphite isostatic dị elu (1.85 g/cm³), ọka dị mma (nha ọka <10 μm) emepụta ihe ndị dị ka ihe na-ekpo ọkụ graphite, ihe na-egbochi okpomọkụ, na gbọmgbọm mkpuchi. Isostatic pressure na-eme ka mgbasa okpomọkụ isotropic (CTE) dị otu, na-egbochi nrụgide okpomọkụ mpaghara, mgbagọ, na mgbawa igwe n'okpuru usoro okpomọkụ ugboro ugboro.

3. Mkpuchi CVD Silicon Carbide (SiC) nke na-echebe

A na-eji akwa dị n'etiti 50–80 μm nke Chemical Vapor Deposition (CVD) Silicon Carbide (SiC) kpuchie ihe ndị dị mkpa a na-ekpughere na uzuoku silicon na gas nhicha nke na-emebi emebi.

• Ihe Mgbochi Nrụgide:Na-egbochi mmeghachi omume kemịkalụ kpọmkwem n'etiti uzuoku silicon na-agbanwe agbanwe (SiO2) na ihe ndị dị na graphite (SiO2 + 2C → SiC2 + CO2), na-ewepụ mbuze elu na mmepụta uzuzu carbon.
• Nhazi nke Jiọmetrịka:Na-ejigide usoro okpomọkụ kpọmkwem n'ime oge ọrụ karịrị 30% ogologo oge.

Data Arụmọrụ Atụle na Nnwale Ubi

E mere nnwale ubi nke ọnwa isii n'ofe ọkụ CZ nke dị sentimita iri ise na abụọ n'ogo mmepụta n'ebe a na-emepụta wafer silicon TOPCon nke ọkwa mbụ. N'okpuru ebe a bụ ihe atụ arụmọrụ nke na-atụnyere ihe ndị mejupụtara graphite ọkọlọtọ na ngwọta ubi okpomọkụ dị ọcha nke VeTek Semiconductor:

Ajụjụ Ndị A Na-ajụkarị (FAQ)

Mmechi na Ndụmọdụ Teknụzụ

Imelite na ihe mejupụtara isostatic graphite dị ọcha nke ukwuu site na nchekwa CVD SiC na-enye ụzọ kpọmkwem, nke a pụrụ ịtụle iji dozie nsogbu mmepụta na adịghị ọcha na uto silicon monocrystalline nke dị sentimita 32 nke N. Site na mmụba 18% na mmepụta praịm na ndụ 30% ogologo oge nke ubi okpomọkụ, ndị na-emepụta wafer anyanwụ nwere ike nweta nnukwu ROI.