Mkpuchi CVD dị elu maka uto SiC Epitaxial

E mere ya maka usoro ngwaọrụ semiconductor ike dị elu nke na-arụ ọrụ n'okpuru nrụgide okpomọkụ dị oke njọ (1500°C - 1700°C), e wuru ihe ndị na-egbochi mbara ala anyị nke CVD SiC na TaC, diski satịlaịtị, na ihe ndị na-egbochi gas ka ha dị mma. Emebere ya iji gbochie mmepụta ihe dị iche iche, mmebi elu, na itching gas reactive (H₂, SiH₄, C₃H∯), mkpuchi anyị dị elu na-eme ka ọrụ dị ogologo, njikwa dopant dị elu, na nha nhata nke ihe nkiri n'ofe.Wafers epitaxial SiC nke dị sentimita isii na sentimita asatọ.