이점:
1. 순도: 92%, 95%, 96%, 99%...
2. 기계적 강도가 좋다
3. 우수한 전기 절연성
4. 고주파 손실
5. 좋은 열전도도
6. 내열성, 내마모성, 내식성.
반도체 생산에 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD)을 위해 적용되는 흑연 보트입니다.
SiO2, Si3N4 및 SiOxNy의 PECVD 층이 증착됩니다.
PECVD 공정은 200~380°C의 온도에서 유지됩니다.
압력은 0.65~1.7토르입니다.
흑연 소재는 반도체에 특화된 고품질 흑연입니다. 고온 99% 알루미나 세라믹도 사용됩니다.
닝보 VET 유한회사는 저장성에서 특수 흑연 제품 및 자동차 금속 제품의 생산 및 판매를 전문으로 하는 제조업체입니다. 고품질 수입 흑연 소재를 사용하여 샤프트 부싱, 씰링 부품, 흑연 포일, 로터, 블레이드, 분리기 등 다양한 제품을 자체 생산하며, 전자기 밸브 바디, 밸브 블록 및 기타 하드웨어 제품도 생산합니다. 당사는 다양한 규격의 흑연 소재를 일본에서 직접 수입하여 국내 고객에게 흑연 막대, 흑연 컬럼, 흑연 입자, 흑연 분말 및 함침, 함침 수지 흑연 막대, 흑연 튜브 등을 공급합니다. 고객의 요구에 맞춰 흑연 제품 및 알루미늄 합금 제품을 맞춤 제작하여 고객의 성공을 지원합니다. "성실을 기본으로, 혁신을 원동력으로, 품질을 보증으로"라는 기업 정신을 바탕으로 "고객의 문제를 해결하고 직원의 미래를 창조한다"는 기업 이념을 고수하며, "저탄소 및 에너지 절약 발전 촉진"을 기업 사명으로 삼아 업계 최고의 브랜드를 구축하기 위해 최선을 다하고 있습니다.
