SiC 코팅

VET ENERGY는 중국의 CVD SIC 코팅 분야를 선도하는 제조업체입니다.

소재가 미래를 바꾼다

탄화규소(SiC)는 새로운 화합물 반도체 소재입니다. 탄화규소는 넓은 밴드갭(실리콘의 약 3배), 높은 임계 전계 강도(실리콘의 약 10배), 높은 열전도율(실리콘의 약 3배)을 가지고 있어 차세대 반도체 소재로 주목받고 있습니다. SiC 코팅은 반도체 산업과 태양광 발전 분야에서 널리 사용되고 있습니다. 특히 LED 에피택시 성장 및 실리콘 단결정 에피택시에 사용되는 서셉터에는 SiC 코팅이 필수적입니다. 조명 및 디스플레이 산업에서 LED의 성장세가 두드러지고 반도체 산업이 활발하게 발전함에 따라,SiC 코팅 제품전망이 매우 밝습니다.

적용 분야

제품 적용 및 성능 제품 적용 분야 및 용도

실리콘 단결정 산업, GaN, AlN, 사파이어 및 기타 MOCVD 기판. - 단결정 실리콘 에피택셜 성장을 위한 흑연 기판 코팅

주요 특징: 고순도, 내식성, 높은 열전도율 - MOCVD 공정, GaN 에피택셜 성장을 위한 흑연 기반 코팅

고온 저항성, 낮은 열팽창 계수.

MOCVD 수용자

단결정 실리콘 에피택셜 서셉터

플라즈마 에칭 디스크

태양광 발전 제품

반도체 산업

태양광 발전

열전도율	250 W/m °K	레이저 플래시 방식, RT
열팽창(CTE)	4.5 x 10^-6°K	실온에서 950°C까지, 실리카 팽창계
재산	값	방법
밀도	3.21 g/cc	침강/부력 및 치수
비열	0.66 J/g °K	펄스 레이저 플래시
굽힘 강도	450 MPa 560 MPa	4점 벤드, RT4점 벤드, 1300°
파괴 인성	2.94 MPa m1/2	미세압입
경도	2800	비커스, 500g 장전
탄성 계수, 영률	450 GPa 430 GPa	4점 굽힘, RT4점 굽힘, 1300°C
입자 크기	2~10 µm	주사전자현미경(SEM)

순도, SEM 구조, 두께 분석SiC 코팅

CVD를 이용하여 흑연 위에 형성된 SiC 코팅의 순도는 99.9995%에 달하며, 구조는 fcc이다. XRD 데이터(그림 1)에서 볼 수 있듯이, 흑연 위에 코팅된 SiC 박막은 (111) 방향으로 배향되어 있어 높은 결정성을 나타낸다. 그림 2에서 볼 수 있듯이, SiC 박막의 두께는 매우 균일하다.

CVD SiC 박막의 SEM 데이터에서 결정 크기는 2~1 Opm입니다.

그림 2: SiC 박막의 균일한 두께

CVD SiC 박막의 결정 구조는 면심 입방 구조이며, 박막 성장 방향은 거의 100%에 가깝습니다.

흑연 기판 위의 베타-SiC 박막의 SEM 및 XRD 분석 결과

단결정 실리콘 에피택셜 베이스

제품 성능 및 적용 전망.

탄화규소(SiC) 코팅이 기판은 단결정 실리콘 및 GaN 에피택시에 가장 적합한 기판으로, 에피택시로의 핵심 부품입니다. 특히 대형 집적 회로용 단결정 실리콘 생산에 필수적인 부품이며, 높은 순도, 고온 내성, 내식성, 우수한 기밀성 등 탁월한 소재 특성을 지니고 있습니다.

제품 적용 및 사용

단결정 실리콘 에피택셜 성장을 위한 흑연 기반 코팅. Aixtron 장비 등에 적합. 코팅 두께: 90~150μm. 웨이퍼 크레이터 직경: 55mm.

태양광 발전

GAupidpelitcubaetiaonnd

흑연 도가니 코팅직선 인발법을 이용한 단결정 실리콘 제조

직선 인발법을 이용한 단결정 실리콘 산업 생산세잎 도가니고온 베어링 및 균일한 열전도 부품으로서의 유동관, 배기가스 순환 채널로서의 유동관, 열전도 부품, 배기가스 순환 채널로서의 유동관

히터, 흑연판, 흑연 실린더흑연 시트 및기타 형태의 부품

제품 특징

고온 저항성, 내식성, 긴 수명으로 웨이퍼의 품질과 생산량을 향상시킬 수 있습니다. 열팽창 계수가 매우 낮고, 고온 저항성, 높은 내마모성, 우수한 절연성, 뛰어난 화학적 안정성을 가지며, 가시광선 투과율이 보라색(붉은색)에 가깝습니다.

왜 저희를 선택해야 할까요?

전문 장비와 팀

1000등급 무진 작업장

*3000제곱미터가 넘는 1000등급 무진 작업장

*중국과학원 협력연구개발팀

*특수 생산 및 정밀 테스트 장비

*충분하고 질 높은 생산 능력

빠른 서비스

주문 전 문의 사항에 대해서는 당사 전문 영업팀이 근무 시간 중에는 50~100분 이내, 근무 시간 외에는 12시간 이내에 답변해 드립니다. 신속하고 전문적인 답변을 통해 고객님께 최적의 옵션을 효율적으로 제시하여 만족스러운 결과를 얻으실 수 있도록 도와드립니다.

주문 진행 단계에서는 당사의 전문 서비스 팀이 3~5일마다 사진을 촬영하여 제작 과정을 실시간으로 알려드리고, 36시간 이내에 배송 진행 상황을 알려주는 문서를 제공해 드립니다. 저희는 사후 서비스에도 최선을 다하고 있습니다.

판매 후 단계에서는 당사 서비스 팀이 항상 고객님과 긴밀히 소통하며 언제든 서비스를 제공할 준비가 되어 있습니다. 전문적인 사후 서비스에는 현장 문제 해결을 위해 엔지니어 파견까지 포함됩니다. 제품 보증 기간은 출고 후 12개월입니다.

포장 세부 정보

닝보 VET 에너지 테크놀로지 유한회사는 흑연 부품 전문 제조업체로서, 특히 신소재 반도체 개발에 주력하며 SiC 코팅 연구 개발에 집중하고 있습니다. 당사의 주요 제품은 LED 산업 및 단결정 실리콘 산업용 SiC 코팅 서셉터입니다. LED 및 단결정 실리콘 산업에 사용되는 SiC 박막은 입방정계로, 다이아몬드와 동일한 격자 구조를 가지며 경도 또한 다이아몬드와 동등합니다. 탄화규소는 가장 성숙한 광대역 반도체 소재로, 반도체 산업에서 폭넓은 응용 가능성을 지니고 있습니다. 또한, 탄화규소는 높은 열전도율, 낮은 열팽창 계수, 고온 저항성(약 2700℃), 그리고 우수한 내식성을 특징으로 합니다. 당사의 탄화규소 코팅 제품은 항공우주, 태양광, 원자력, 고속철도, 자동차 등 다양한 산업 분야에서 널리 사용되고 있습니다.

자주 묻는 질문

최소 주문 수량이 있나요?

네, 모든 해외 주문에는 지속적인 최소 주문 수량 조건이 적용됩니다.

관련 서류를 제공해 주시겠습니까?

네, 분석/적합성 증명서, 보험 증명서, 원산지 증명서 및 기타 필요한 수출 서류를 포함한 대부분의 서류를 제공해 드릴 수 있습니다.

평균 리드 타임은 얼마입니까?

샘플 제작 기간은 약 7일입니다. 대량 생산의 경우, 계약금 입금 확인 후 15~25일이 소요됩니다. 납기일은 계약금 입금 및 최종 제품 승인이 완료된 시점부터 계산됩니다. 모든 경우에 고객님의 요구사항을 최대한 수용하도록 노력하겠습니다. 대부분의 경우 요구사항을 맞춰드릴 수 있습니다.

어떤 결제 수단을 이용할 수 있나요?

은행 계좌, 웨스턴 유니온 또는 페이팔을 통해 결제하실 수 있습니다.
선금으로 30%를 미리 지불하고, 잔금 70%는 선적 전 또는 선하증권 사본 제시 후 지불합니다.

제품 보증 기간은 어떻게 되나요?

저희는 자재와 제조상의 결함에 대해 품질을 보증합니다. 저희의 목표는 고객 여러분의 제품 만족입니다. 보증 기간 내외를 막론하고, 모든 고객 문제를 모두가 만족할 수 있도록 해결하는 것이 저희 회사의 기업 문화입니다.

제품의 안전하고 확실한 배송을 보장하시나요?

네, 저희는 항상 고품질 수출 포장재를 사용합니다. 위험물에는 특수 위험물 포장재를, 온도에 민감한 품목에는 인증된 냉장 보관 컨테이너를 사용합니다. 특수 포장이나 비표준 포장이 필요한 경우 추가 요금이 발생할 수 있습니다.

배송비는 어떻게 되나요?

배송비는 선택하신 배송 방법에 따라 달라집니다. 특급 배송이 일반적으로 가장 빠르지만 가장 비쌉니다. 대량 배송의 경우 해상 운송이 가장 적합합니다. 정확한 운송료는 배송물의 양, 무게, 배송 방법을 알아야 안내해 드릴 수 있습니다. 자세한 사항은 저희에게 문의해 주세요.