쿼츠 웨이퍼 보트반도체 제조, 태양광 전지 생산 및 첨단 소재 연구 개발에 필수적인 캐리어 도구인 이 제품은 고온 공정에서 웨이퍼를 안정적으로 이송 및 고정하도록 설계되었습니다. 초고순도 용융 실리카(SiO2)로 제작된 이 제품은 우수한 내열성, 화학적 안정성 및 초저금속 오염 특성을 지니고 있어 확산로, 산화로, PECVD/LPCVD 등의 장비에 적합하며 웨이퍼 코팅, 이온 주입, 고온 어닐링 등 핵심 공정에 널리 사용됩니다.
VET Energy의 석영 보트의 핵심 장점:
- 초고순도 소재
순도 ≥99.99%: 불순물 함량(Na, K, Fe 등) <5ppm으로 웨이퍼 오염을 방지하고 칩 수율을 보장합니다.
침전 및 흡착 감소: 표면은 초정밀 연마(Ra≤0.4μm)되어 입자 부착 및 가스 잔류물을 줄입니다. - 고온 안정성
온도 제한: 장기 작동 온도 1100℃, 단기 최고 온도 1300℃, 변형이나 결정 석출 없음.
낮은 열팽창 계수(5.5x10⁻⁷/℃), 우수한 열충격 저항성, 급격한 온도 상승 및 하강 공정(예: RTP 급속 어닐링)에 적합. - 정밀한 구조 설계
슬롯 정밀도 ±0.1mm: 2인치에서 12인치 웨이퍼까지 호환, 간격 균일도 오차 <0.05mm, 웨이퍼 간 오프셋 없음 보장.
높은 적재 용량: 단일 보트에 최대 50개의 웨이퍼(12인치 웨이퍼 기준)를 적재할 수 있으며, 100μm 이상의 얇은 웨이퍼도 안정적으로 이송할 수 있습니다. - 화학적 불활성
내식성: 산(HF 제외), 알칼리 및 유기 용제 부식에 강하며 CMP 세척 공정과 호환됩니다.
탁월한 기밀성: 누출률 <5x10⁻¹⁰ Pa·m³/s, 진공 및 보호 가스 환경에 적합합니다. - 긴 수명과 유지보수 용이성
수명은 정상 작동 조건에서 5000회 이상이며, 표면을 반복적으로 세척하고 사용할 수 있어 전체 비용을 절감할 수 있습니다.
모듈식 설계: 부분 교체(예: 보트 이빨 하나 교체)를 지원하여 가동 중지 시간을 줄입니다.
고객의 요구에 따라 투명 또는 불투명 표면을 모두 제공합니다.
닝보 VET 에너지 테크놀로지 유한회사는 고급 첨단 소재의 생산 및 판매에 주력하는 하이테크 기업입니다. 당사의 소재 및 기술에는 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 표면 처리 기술이 포함되며, 이러한 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로, 제품 성능과 품질을 보장하는 다수의 특허 기술을 개발했으며, 고객에게 전문적인 소재 솔루션도 제공할 수 있습니다.
