그만큼석영로 튜브이 제품은 반도체 제조, 태양광 산업, 재료 열처리 및 실험실 연구 분야의 핵심 소모품입니다. 고순도 용융 실리카(SiO2)로 만들어져 열 안정성, 화학적 불활성 및 광학적 투명성이 뛰어납니다. 고온 공정(확산, 산화, CVD, 어닐링 등)에 적합하며, 다양한 튜브로 및 PECVD 장비에 적용 가능하여 웨이퍼 가공, 태양광 셀 코팅, LED 에피택셜 성장 및 기타 고정밀 분야에서 널리 사용됩니다.
VET Energy 석영관의 핵심 장점:
-초고순도 소재
순도 99.99% 이상의 고순도 석영사를 사용하고, 불순물 함량(Na, K, Fe 등)은 10ppm 미만으로 하여 민감한 공정 환경의 오염을 방지합니다.
표면 조도 Ra≤0.8μm로 입자 부착을 줄이고 코팅 균일성을 보장합니다.
-탁월한 내열성
장기 작동 온도: 1200℃(연속 사용 시); 단기 최고 온도: 1450℃(2시간 이하).
낮은 열팽창 계수(5.5x10⁻⁶)-7(섭씨/℃), 우수한 열충격 저항성을 갖추고 있으며, 급격한 온도 상승 및 하강(≤10℃/분)을 견딜 수 있습니다.
-정밀한 크기 조절
내경 공차는 ±0.5mm, 직진도 오차는 <1mm/m로, 용광로 본체와의 정밀한 일치를 보장합니다.
비표준 맞춤 제작을 지원하며, 내경 범위는 20mm~500mm, 길이는 100mm~3000mm입니다.
-화학적 불활성 및 내식성
강산(HF 제외), 강알칼리 및 대부분의 유기 용제에 대한 내성이 있어 제품 수명을 연장합니다.
탁월한 기밀성, 누출률 <＜1x10-9팜3/s, 진공 또는 보호 가스 환경에 적합합니다.
-맞춤형 서비스
특수 공정 요구 사항을 충족하기 위해 지지대 개구부, 플랜지, 다중 채널, 형상 구조 및 기타 설계를 제공합니다.
결정화 저항성을 향상시키기 위해 탄화규소(SiC) 코팅으로 사전 도금할 수 있습니다.
닝보 VET 에너지 테크놀로지 유한회사는 고급 첨단 소재 개발 및 생산에 주력하는 하이테크 기업입니다. 당사의 소재 및 기술에는 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 표면 처리 기술이 포함되며, 이러한 제품은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등 다양한 분야에서 널리 사용됩니다.
저희 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로, 제품 성능과 품질을 보장하는 다수의 특허 기술을 개발했으며, 고객에게 전문적인 소재 솔루션도 제공할 수 있습니다.
