그만큼석영로 튜브반도체 제조, 태양광 산업, 재료 열처리 및 실험실 연구 분야의 핵심 소모품입니다. 본 제품은 뛰어난 열 안정성, 화학적 불활성 및 광학적 투명성을 갖춘 고순도 용융 실리카(SiO2)로 제작되었습니다. 본 제품은 고온 공정(확산, 산화, CVD, 어닐링 등)에 적합하도록 설계되었으며, 웨이퍼 가공, 태양광 전지 코팅, LED 에피택셜 성장 및 기타 고정밀 분야에 널리 사용되는 다양한 튜브로 및 PECVD 장비에 적용 가능합니다.
VET 에너지 석영관의 핵심 장점:
- 초고순도 소재
99.99% 이상의 고순도 석영 모래를 채택하여 불순물 함량(Na, K, Fe 등)이 10ppm 미만이어서 민감한 공정 환경의 오염을 방지합니다.
표면 마감 Ra≤0.8μm로 입자 부착을 줄이고 코팅 균일성을 보장합니다.
- 우수한 내열성
장기 작동 온도: 1200℃(연속 사용); 단기 온도 피크: 1450℃(≤2시간).
낮은 열팽창 계수(5.5x10-7/℃), 우수한 열충격 저항성, 급격한 온도 상승 및 하강(≤10℃/분)을 견딜 수 있습니다.
- 정확한 크기 조절
내경 허용오차 ±0.5mm, 직진도 오차 <1mm/m로 용광로 본체와의 밀착성을 보장합니다.
비표준 맞춤형 제작을 지원하며, 내경 범위는 20mm~500mm, 길이는 100mm~3000mm입니다.
- 화학적 불활성 및 내식성
강산(HF 제외), 강알칼리 및 대부분의 유기용제에 대한 내성이 있어 서비스 수명이 연장됩니다.
우수한 가스 기밀성, 누출율 <<1x10-9파.엠3/s, 진공 또는 보호 가스 환경에 적합합니다.
-맞춤형 서비스
특수 공정 요구 사항을 충족하기 위해 개구부, 플랜지, 다중 채널, 성형 구조 및 기타 디자인을 지원합니다.
결정화 저항성을 강화하기 위해 실리콘 카바이드(SiC) 코팅으로 사전 도금할 수 있습니다.
닝보 VET 에너지 테크놀로지 주식회사는 최첨단 소재의 개발과 생산에 주력하는 첨단 기술 기업입니다. 이 소재와 기술에는 흑연, 탄화규소, 세라믹, SiC 코팅, TaC 코팅, 유리 탄소 코팅, 열분해 탄소 코팅 등의 표면 처리가 포함됩니다. 이 제품들은 태양광, 반도체, 신에너지, 야금 등에서 널리 사용됩니다.
당사의 기술팀은 국내 최고 연구기관 출신으로, 제품 성능과 품질을 보장하기 위해 다수의 특허 기술을 개발하였으며, 고객에게 전문적인 소재 솔루션을 제공할 수 있습니다.
