반도체용 탄화규소 코팅 흑연 기판/캐리어

VET Energy SiC 코팅 흑연 서셉터는 장기간에 걸쳐 일관되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고성능 제품입니다. 탁월한 내열성 및 열 균일성, 높은 순도, 내식성을 갖추고 있어 웨이퍼 가공 응용 분야에 최적의 솔루션입니다.

원산지:저장성, 중국 (본토)

모델 번호:보트3004

화학적 조성:SiC 코팅 흑연

굽힘 강도:470Mpa

열전도율:300 W/mK

품질:완벽한

기능:CVD-SiC

애플리케이션:반도체/태양광

밀도:3.21 g/cc

열팽창:4 10-6/K

금연 건강 증진 협회: <5ppm

견본:이용 가능

HS 코드:6903100000

제품 상세 정보

SiC 코팅 흑연 서셉터는 다양한 반도체 제조 공정에 사용되는 핵심 부품입니다. 당사는 특허 기술을 활용하여 매우 높은 순도, 우수한 코팅 균일성, 뛰어난 수명은 물론 높은 내화학성 및 열 안정성을 갖춘 서셉터를 생산합니다.

당사 제품의 특징:

1. 최대 1700℃의 고온 산화 저항성.
2. 높은 순도 및 열적 균일성
3. 뛰어난 내식성: 산, 알칼리, 염 및 유기 시약에 강함.
4. 높은 경도, 치밀한 표면, 미세한 입자.
5. 더 긴 수명과 뛰어난 내구성

심혈관계 질환 SiC薄膜基本식물리성能 CVD SiC의 기본 물리적 특성코팅
성별 / 재산	典型数值 / 일반적인 값
晶体结构 결정 구조	FCC β상多晶，主要为（111) 取向
크기 / 밀도	3.21 g/cm³
정도 경도	2500 维氏硬도(500g 부하)
晶粒大小 / 곡물 크기	2~10μm
정도 화학적 순도	99.99995%
발열 / 열용량	640 J·kg^-1·케이^-1
升华温도 승화 온도	2700℃
抗弯强島 굽힘 강도	415 MPa RT 4점
杨氏模량 / 영률	430 Gpa 4점 굽힘, 1300℃
导熭系数 / 써마엘전도도	300W·m^-1·케이^-1
热膨胀系数 열팽창(CTE)	4.5×10^-6K^-1