VET Energy SiC 코팅 서셉터는 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하며, 긴 수명 동안 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 정교하게 제작된 고성능 솔루션입니다. 탁월한 내열성, 탁월한 열 균일성, 그리고 고순도를 자랑하는 이 제품은 MOCVD 웨이퍼 캐리어 및 안정성과 정밀성이 요구되는 기타 웨이퍼 처리 애플리케이션에 이상적입니다. 뛰어난 내식성으로 내구성과 내화학성이 필수적인 환경에 최적의 선택입니다.
우리의SiC 코팅 흑연 서셉터반도체 제조 공정의 핵심 구성 요소로 자리 잡은 VET Energy의 독점 특허 기술을 활용하여 매우 높은 순도, 탁월한 코팅 균일성, 그리고 탁월한 열 안정성을 달성합니다. 이 코팅은 흑연 기판을 강화하여 높은 내화학성과 현저히 연장된 사용 수명을 제공합니다. VET Energy는 품질에 대한 헌신을 통해 흑연 웨이퍼 캐리어 시장의 변화하는 요구를 충족하는 SiC 코팅 서셉터를 개발하여, 반도체 제조 공정에 사용되는 SiC 코팅 흑연 서셉터의 높은 기준을 제시했습니다.MOCVD 공정.
SiC 코팅 서셉터의 주요 특징:
1. 고온 산화 저항성:최대 1700℃의 온도를 견딜 수 있어 극한의 가공 조건에 적합합니다.
2. 높은 순도 및 열 균일성:일관된 결과를 보장합니다.MOCVD 서셉터및 기타 정밀 응용 분야에 사용됩니다.
3. 우수한 내식성:산, 알칼리, 소금 및 다양한 유기 시약에 강합니다.
4. 향상된 표면 경도:미세한 입자로 구성된 컴팩트한 표면으로 내구성과 수명이 더욱 뛰어납니다.
5. 연장된 서비스 수명:혹독한 처리 환경에서도 표준 실리콘 카바이드 코팅 서셉터보다 뛰어난 성능을 발휘하며 지속적인 성능을 발휘하도록 설계되었습니다.
선도적인 제조업체인 VET Energy는 맞춤형 흑연 및탄화규소 제품다양한 코팅 옵션을 포함하여SiC 코팅, TaC 코팅, 유리질 탄소 코팅및 열분해 탄소 코팅. 당사는 반도체 및 태양광 산업에 서비스를 제공하며, 특정 운영 요건을 충족하는 탄화규소 코팅 흑연 서셉터를 제공합니다.
국내 최고 연구기관의 경험을 보유한 당사 기술팀은 끊임없이 변화하는 고객의 요구에 부응하는 소재 솔루션 개발에 전념하고 있습니다.SiC 코팅 흑연 서셉터VET Energy는 특허받은 공정을 통해 실리콘 카바이드 코팅과 기판 사이의 접합 강도를 크게 향상시켜 분리 위험을 줄이고 장기적인 신뢰성을 향상시키는 독보적인 기술을 개발했습니다.
반도체 공정의 응용 및 장점
그만큼MOCVD용 SiC 코팅가능하게 한다흑연 서셉터고온 및 부식성 환경에서 무결성을 유지하는 부품은 정밀 반도체 생산에 필수적입니다. 이러한 SiC 코팅 흑연 부품은 특히 실리콘 카바이드 코팅 서셉터가 필요한 공정에서 매우 중요합니다.흑연 웨이퍼 캐리어높은 열 안정성, 순도, 화학적 침식에 대한 저항성이 요구됩니다.
VET Energy는 고급 실리콘 카바이드 코팅 기술을 통해 맞춤형 고성능 제품을 제공함으로써 흑연 웨이퍼 캐리어 시장을 계속 지원하고 있습니다.SiC 코팅 흑연 서셉터MOCVD 공정부터 반도체 분야의 고순도 응용 분야까지, 업계별 과제를 해결하는 솔루션입니다.
우리 공장을 방문해 주셔서 진심으로 환영합니다. 더 자세한 이야기를 나눠보도록 하겠습니다!
