جديد سيمي ڪنڊڪٽر ڊيوائس جي ٺاھڻ ۽ ٽئين نسل جي مرڪب سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار ۾ (جهڙوڪ سلڪون ڪاربائيڊ [SiC] ۽ گيليم نائٽرائڊ [GaN])، صنعت جا بحث اڪثر ڪري الٽرا ايڊوانسڊ EUV لٿوگرافي مشينن، پلازما ايچرز، يا اڳواٽ گئس جي پاڪائي جي چوڌاري مرڪوز هوندا آهن. جڏهن ته، رد عمل چيمبر جي الٽرا صاف، انتهائي corrosive، ۽ اعلي درجه حرارت واري ماحول اندر هڪ نازڪ غير گمنام هيرو ويٺو آهي: گريفائيٽ سسپيٽر.
1. گرافائٽ سسيپٽر ڇا آهي؟
A گريفائيٽ سسپيٽرهڪ درستگي سان ٺهيل فنڪشنل ڪيريئر جزو آهي جيڪو اعليٰ پاڪائي واري آئسو-مولڊڊ يا ايڪسٽروڊڊ گريفائٽ مان تيار ڪيو ويندو آهي، جيڪو اڪثر ڪري ڊسڪ جي شڪل وارو، پاڪيٽڊ، يا ڪسٽم هوندو آهي.مخصوص رد عمل چيمبرن کي فٽ ڪرڻ لاءِ ٺهيل ٽي-dimensional جاميٽري.
ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (سي وي ڊي)، ميٽل-آرگينڪ ڪيميڪل وانپ ڊپوزيشن (ايم او سي وي ڊي)، ۽ ريپڊ ٿرمل پروسيسنگ (آر ٽي پي) ري ايڪٽرز جهڙن سامان ۾، ڪيريئر پليٽ فارم جو بنيادي ڪم سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز کي محفوظ طور تي رکڻ آهي جڏهن ته پرائمري هيٽ ايڪسچينجر طور ڪم ڪري ٿو. گريفائيٽ سسپيٽر انڊڪشن هيٽنگ ميڪانيزم کي استعمال ڪندي، جزو تيزي سان ريڊيو فريڪوئنسي (آر ايف) يا مائڪرو ويڪرو برقي مقناطيسي توانائي جذب ڪري ٿو ۽ ان کي يونيفارم ٿرمل توانائي ۾ تبديل ڪري ٿو، ويفر جي مٿاڇري تي ملي سيڪنڊ-سطح جي درستگي ٿرمل ڪنٽرول کي آسان بڻائي ٿو.
2. مواد جي جوڙجڪ ۽ مائڪرو structure: Isostatic Graphite + CVD SiC ڪوٽنگ ڇو؟
اڻ ڪوٽ ٿيل خام گريفائٽ جارحاڻي ڪيميائي ماحول ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ٺاھڻ جي سخت صفائي جي ضرورتن کي برداشت نٿو ڪري سگھي. جديد اعليٰ ڪارڪردگي وارا گريفائٽ سسپيٽر هڪ خاص ٻٽي پرت واري جامع نظام کي استعمال ڪن ٿا:
(1) اعليٰ پاڪائي وارو آئسو اسٽيٽڪ گريفائيٽ سبسٽريٽ
ڪور سبسٽريٽ آئوسٽيٽيڪل پريس ٿيل گريفائيٽ استعمال ڪندي تيار ڪيو ويندو آهي. گريفائيٽ مائڪرو ڪرسٽل لائن الائنمينٽ کي بهتر بنائڻ سان، اهو آئسوٽروپڪ جسماني خاصيتون، گهٽ پورسيٽي، ۽ اعليٰ ميڪيڪل لچڪدار طاقت حاصل ڪري ٿو، مائڪرو مشيننگ پيچيده ويفر پاڪيٽ جاميٽري لاءِ هڪ مثالي بنياد فراهم ڪري ٿو.
(2) سي وي ڊي سلڪون ڪاربائيڊ (سي آءِ سي) حفاظتي ڪوٽنگ
ڪيميائي وانپ ڊپوزيشن استعمال ڪندي، پولي-ڪرسٽل لائن B-SiC جي هڪ تمام گهڻي گهاٽي پرت (عام طور تي 10 کان 100 um ٿلهي 99.999٪ پاڪائي سان) گريفائيٽ سبسٽريٽ تي وڌي ويندي آهي. هي ڪوٽنگ گريفائيٽ جي مٿاڇري جي مائڪرو پورس کي مڪمل طور تي سيل ڪري ٿي، ذرات جي وهڪري کي روڪي ٿي، ۽ HCI، NH، ۽ فلورينيٽيڊ مرکبات جهڙين corrosive etching گيسن جي خلاف هڪ ناقابل تسخير رڪاوٽ فراهم ڪري ٿي.
3. اهم جسماني خاصيتون ۽ مواد جون وضاحتون
سخت ليبارٽري ٽيسٽنگ ۽ تصديق ٿيل انڊسٽري بينچ مارڪ جي بنياد تي، اعليٰ پاڪائي سان ڍڪيل گريفائيٽ سسپيٽر هيٺيان اهم جسماني پيرا ميٽرز ڏيکاريندا آهن:
| جسماني / ڪيميائي پيرا ميٽر | معياري حوالي جي قيمت | عمل جو فائدو ۽ ڪارڪردگي جو اثر |
| ڪُل راھ جو مواد (پاڪائي) | < 5 پي پي ايم (حوالو: ايڪس آر گريفائيٽ اسپيڪ ڊيٽا) | ڌاتو جي آلودگي کي ختم ڪري ٿو، عيب کان پاڪ ايپيٽيڪسيل پرتن کي يقيني بڻائي ٿو. |
| ظاهري کثافت | سبسٽريٽ: 1.85 گرام/سينٽي ميٽر³ | سي سي: 3.21 گرام/سينٽي ميٽر³ | تيز ريمپ جي شرحن لاءِ گھٽ حرارتي جڙت، هڪ ناقابلِ پارگميبل شيل سان گڏ. |
| لچڪدار طاقت | ≥ 49 ايم پي اي (سبسٽريٽ) | ~450 ايم پي اي (سي سي) | وارپنگ کان سواءِ انتهائي حرارتي دٻاءُ ۽ ڳري ويفر لوڊنگ کي برداشت ڪري ٿو. |
| وڌ ۾ وڌ آپريٽنگ گرمي پد | > 1500°C - 1800°C | تيز گرمي پد SiC ڪرسٽل جي واڌ دوران ساخت جي سالميت کي برقرار رکي ٿو. |
| حرارتي چالکائي | ~116 W/m·K (100 kcal/cm·h·°C) | گهٽ ۾ گهٽ حرارتي گريڊينٽ (ΔT) حاصل ڪندي، مقامي گرم هنڌن کي تيزي سان منتشر ڪري ٿو. |
| بجلي جي مزاحمت | ~11 μΩ·ميٽ | انتهائي ڪارآمد گريفائيٽ سسپيٽر انڊڪشن هيٽنگ لاءِ بهتر ڪيل. |
بنيادي انجنيئرنگ جا فائدا:
1. اعليٰ حرارتي جھٽڪي جي مزاحمت: مسلسل تيز گرمي ۽ ٿڌي چڪر (1500 °C کان مٿي) کي بغير ڪنهن ٽڪراءَ يا ڊيليمينيشن جي برداشت ڪرڻ جي قابل.
2. ڪيميائي جڙت: H2، NH3، سائلين گيسن، ۽ سخت ڪيميائي صفائي جي ايجنٽن جي تباهي کان مڪمل طور تي محفوظ.
3. حرارتي توسيع (CTE) ميچنگ جو ڪوفيشيٽ: وي اي ٽي انرجي جو ملڪيتي ايس آءِ سي جمع ڪرڻ وارو عمل ايس آءِ سي ڪوٽنگ جي حرارتي توسيع واري رويي کي گريفائٽ ڪور سان ترتيب ڏئي ٿو، انتهائي گرمي پد تي ڪوٽنگ جي ڀڃڻ کي روڪي ٿو.
4. سيمي ڪنڊڪٽر پروسيسنگ ۾ ڪردار ۽ ايپليڪيشنون
اعليٰ اعتبار وارا گريفائيٽ سسپيٽر ڪيترن ئي اهم سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار جي مرحلن ۾ بنيادي طور تي فعال ڪرڻ وارن حصن جي طور تي ڪم ڪن ٿا:
(1) سي وي ڊي ۽ ايم او سي وي ڊي ايپيٽيڪسيل گروٿ (اي پي آءِ)
GaN LED فيبريڪيشن ۾، SiC پاور ڊيوائس ايپيٽيڪسي، ۽ سلڪون ويفر ايپي-گروٿ، فلم جي ٿلهي ۽ ڊوپنگ يونيفارمي گهڻو ڪري ٿرمل فيلڊ هوموجينيٽي تي منحصر آهي. گريفائيٽ سسپيٽر گردش دوران سنگل يا ملٽي ويفر ترتيبن ۾ گرمي کي برابر ورهائيندا آهن، ٿرمل اسٽريس-انڊيوسڊ ويفر بوئنگ يا سلپ لائينن کي دٻائيندا آهن.
(2) سنگل ڪرسٽل گروٿ (PVT طريقو)
سلڪون ڪاربائيڊ (SiC) ۽ نيلم ڪرسٽل جي واڌ ويجهه دوران فزيڪل ويپر ٽرانسپورٽ (PVT) ذريعي، سسپيٽر ٿرمل زون گريڊينٽ کي بيان ڪري ٿو، سڌو سنئون سنگل-ڪرسٽل انگوٽ ٺهڻ جي رهنمائي ڪري ٿو ۽ ڊسلوڪيشن کثافت کي گهٽائي ٿو.
(3) تيز حرارتي پروسيسنگ (RTP) ۽ اينيلنگ
ڪارآمد گريفائيٽ سسپيٽر انڊڪشن هيٽنگ کي استعمال ڪندي، پليٽ فارم پوسٽ امپلانٽيشن ليٽيس اينيلنگ ۽ جنڪشن فارميشن لاءِ گهربل الٽرا فاسٽ ٿرمل ريسپانس ٽائيم کي فعال بڻائي ٿو.
5. VET توانائي ڇو چونڊيو؟
سپلائي چين جي لچڪ، انتهائي پاڪائي، ۽ وڌايل سروس جي زندگي لاءِ گهربل گهرجن سان،وي اي ٽي توانائيهڪ قابل اعتماد عالمي انجنيئرنگ پارٽنر جي طور تي نمايان آهي:
1. پريسيشن مائڪرو مشيننگ: ملٽي ايڪسس سي اين سي مشيننگ سينٽر پيچيده ويفر پاڪيٽ، مائڪرو گرووز، ۽ ڪسٽم ايروڊائنامڪ گيس چينلز کي مائڪرو ميٽر ليول تائين برداشت سان فعال ڪن ٿا.
2. ايڊوانسڊ ڊينس سي وي ڊي سي آءِ سي جمع: اسان جو ملڪيتي CVD عمل انتهائي گهاٽي، آئيني ۾ پالش ٿيندڙ SiC ڪوٽنگون حاصل ڪري ٿو جيڪي حرارتي چڪر جي آپريشنل عمر کي 30٪ کان وڌيڪ وڌائين ٿيون.
3. الٽرا صاف پروسيسنگ ماحول: مڪمل صفائي ۽ صاف ڪمري جي سنڀال جي ضمانت ڪل راھ جي مواد کي مسلسل 5 پي پي ايم کان هيٺ رکيو وڃي ٿو، سخت OEM سيمي ڪنڊڪٽر کي مطمئن ڪري ٿو.فيبڪ معيار.
4. مالڪي جي بهتر قيمت (CoO): وي اي ٽي انرجي مقابلي واري قيمت کان ڪارڪردگي جي تناسب سان گڏ تيز ليڊ ٽائيم فراهم ڪري ٿي، چپ ٺاهيندڙن کي استعمال ٿيندڙ خرچن کي گهٽائڻ ۾ مدد ڪري ٿي.
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-14-2026