O le ipu tioata kaponi o se ituaiga ipu e faia i mea faapitoa mo faʻataʻitaʻiga ma faʻaoga i le vevela maualuga. E matua teteʻe atu i le vevela maualuga, mautu lelei i vailaʻau ma maualuga le mama, o lea e faʻaaogaina lautele ai i le tele o vaega, e pei o le uʻamea, seramika, vailaʻau, semiconductors ma isi mea faapena.
O le faagasologa o le gaosiga o le ipu tioata kaponi e matuā lavelave lava, e manaʻomia ona ui atu i le tele o faiga ma le matuā pulea lelei o le lelei. Muamua lava, e tatau ona faʻaaogaina mea mata e maualuga le mama, e pei o le karapite, ʻapa, ma isi mea, pe a uma ona togafitia i le vevela maualuga ma le tali atu i vailaʻau, e fai ai le pauta tioata kaponi. Ona faia lea o le pauta i le foliga o le ipu pe a uma ona faia, faʻasusuina ma isi faiga. Ma le mea mulimuli, e tatau foʻi ona faia le faʻamafanafana i le vevela maualuga, oloina, faʻapulusaina ma isi togafitiga e faʻamautinoa ai le lelei ma le faʻatinoga o le ipu.
Tulaga Ese:
E mafai ona faʻaaogaina mea eseese o le graphite e fai ma substrates
E le o leiloa meatotino o le substrate graphite
E mafai ona faʻaitiitia ai le fausiaina o le efuefu o le karapiti
E sili atu le tete'e atu i le valu ma le tumau i isi mea e tete'e atu ai i fe'ese'esea'iga
Talosaga:
Vaega o meafaigaluega e tusi ai le monocrystalline silicon
Vaega e tuputupu aʻe ai le epitaxial
Fa'aauau pea le fa'a'olo'oloina o le fa'a'olo'olo
Fa'amaufa'ailoga tioata
| Mmeafaitino | Mafiafia tele | Hfaigata | Tete'e eletise | Malosiaga o le punou | Malosi fa'apipi'i |
| ISEM-3 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| GP1B | 0 | +3% | 0 | +8% | +3% |
| GP2Z | 0 | +3% | - | +7% | +4% |
| GP2B | 0 | +3% | 0 | +13% | +3% |
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O le mea e taofia ai le uamea (wafer susceptor) ma le ufiufi TaC mo le G5 G10
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Mama Taiala mo le Ufiufi o le Tantalum Carbide
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Susceptor Ufiufi TaC mo Meafaigaluega Epitaxy
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Sapalai Saina mo Taiala Ufiufi TaC Fa'apitoa ...
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Mama Ufiufi Tantalum Carbide
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Vaega ufiufi tantalum carbide fa'apitoa a le fale gaosi oloa

