Va'a Kuata Mama Maualuga mo le Fa'agasologa o le Wafer

Va'a Kuata Wafero se meafaigaluega autū e feaveaʻi ai mea i le gaosiga o semiconductor, gaosiga o sela photovoltaic ma suʻesuʻega ma atinaʻe o meafaitino faʻapitoa, ua mamanuina mo le fesiitaiga mautu o le wafer ma le tuʻuina i totonu o faiga e maualuga le vevela. O lenei oloa e faia i le silica fused silica (SiO2) e matua mama lava, e teteʻe lelei i le vevela, mautu i vailaʻau ma uiga e maualalo le faʻaleagaina o uʻamea, e talafeagai mo le ogaumu faʻasalalau, ogaumu faʻamaʻi, PECVD/LPCVD ma isi meafaigaluega, e faʻaaogaina lautele i le ufiufiina o le wafer, faʻapipiʻiina o le ion, faʻamafanafana i le vevela maualuga ma isi faiga autu.

O Penefiti Autū o le va'a kuata a le VET Energy:

• Mea mama tele
  Mama ≥99.99%: O le aofa'i o mea leaga (Na, K, Fe, ma isi) <5ppm, e 'alofia ai le fa'aleagaina o le wafer ma fa'amautinoa ai le fua o le chip.
  Maualalo le timu ma le mitiia: o le fogaeleele e sili atu ona fa'apupula (Ra≤0.4μm) e fa'aitiitia ai le pipii o vaega ma toega o le kesi.
• Mausali i le vevela maualuga
  Tapula'a o le vevela: Vevela galue umi e 1100 ℃, tumutumuga pu'upu'u e 1300 ℃, leai se fa'aleagaina, leai se fa'aputuga tioata.
  Maualalo le fua fa'atatau o le fa'alauteleina o le vevela (5.5x10-7/℃), tete'e lelei tele i le te'i vevela, e mafai ona fetu'una'i i le vave o le si'itia ma le pa'ū o le vevela (e pei o le RTP rapid annealing).
• Fuafuaga fa'atulagaina sa'o
  Sa'o lelei o le avanoa ±0.1mm: fetaui lelei ma wafers e 2” i le 12”, sese o le tutusa o le va <0.05mm, ia mautinoa e leai se fa'aletonu i wafers.
  Malosiaga mamafa: Avega maualuga e 50 wafers (e tusa ma wafers 12”) i totonu o le va’a e tasi, e lagolagoina ai le fesiitaiga mautu o wafers manifinifi (≥100um).
• Le gaoioi o vailaʻau
  Tete'e i le 'ele: Tete'e i le 'āseta (vagana ai le HF), le 'alkali ma le 'ele o le solvent organic, e fetaui ma le fa'agasologa o le fa'amamāina o le CMP.
  E matuā lelei le taofi mau o le kasa: O le fua faatatau o le tafe <5x10-10 Pa.m3/s, e talafeagai mo siosiomaga e leai se masini e mitiia ai le ea ma siosiomaga e puipuia ai le kasa.
• Ola umi ma le tausiga lelei
  E umi atu le umi e ≥ 5000 taamilosaga (tulaga masani o galuega), e mafai ona toe fa'amamāina ma fa'aaogaina pea lava pea le luga, ma fa'aitiitia ai le tau atoa.
  Fuafuaga fa'apitoa: lagolagoina le suiina o se vaega (e pei o le nifo e tasi o le va'a), fa'aitiitia ai le taimi e le mafai ai ona fa'agaoioia.

Matou te ofoina atu fogā'ele'ele manino ma 'aisa e tusa ai ma mana'oga o tagata fa'atau:

O le Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd o se pisinisi tekonolosi maualuga e taulaʻi i le gaosiga ma le faʻatauina atu o mea faʻaonaponei maualuluga, o meafaitino ma tekinolosi e aofia ai le graphite, silicon carbide, keramika, togafitiga o luga e pei o le ufiufi SiC, ufiufi TaC, ufiufi kaponi tioata, ufiufi kaponi pyrolytic, ma isi, o nei oloa e faʻaaogaina lautele i le photovoltaic, semiconductor, malosiaga fou, metallurgy, ma isi.

O la matou 'au fa'apitoa e sau mai fa'alapotopotoga su'esu'e sili ona lelei i totonu o le atunu'u, ma ua atia'e le tele o tekinolosi ua pateniina e fa'amautinoa ai le fa'atinoga ma le lelei o oloa, ma mafai fo'i ona tu'uina atu i tagata fa'atau ni fofo fa'apolofesa.