Selelekela
Liserami tsa Silicon Carbide tse nang le Menyelo (SiC e nang le Menyelo)ke thepa e tsoetseng pele ea letsopa e kopanyang thepa e ikhethang ea carbide ea silicon le sebopeho se nang le masoba se entsoeng ka hloko. Ho fapana le li-ceramic tse teteaneng tsa SiC, SiC e nang le masoba e hlahisa masoba a hokahaneng a fanang ka mesebetsi e eketsehileng, ho kenyeletsoa le ho kenella ha metsi ka mokhoa o laoloang, moralo o bobebe, ho thibela mocheso le bokhoni bo ntlafalitsoeng ba ho tsamaisa mokelikeli.
Ka botsitso bo botle ba mocheso, ho hanyetsa lik'hemik'hale, le ho tšepahala ha mechini, liserame tsa SiC tse nang le masoba li fetohile tsa bohlokoa haholo indastering ea mocheso o phahameng, haholo-holo tlhahiso ea li-semiconductor, moo libaka tsa ts'ebetso li hlokang bohloeki bo phahameng, ho hanyetsa mafome, le botsitso ba ts'ebetso ea nako e telele.
Ⅱ. Thepa ea Lintho tsa Semeramiki sa Silicon Carbide se nang le Menyetla
1. Ho tsitsa ha mocheso o phahameng
Carbide ea silicon e tsebahala ka ts'ebetso ea eona e ntle haholo tlas'a mocheso o feteletseng ka lebaka la tlamo ea eona e matla ea covalent ea Si-C. SiC e nang le masoba e boloka botsitso ba sebopeho libakeng tse nang le mocheso o phahameng, e leng se etsang hore e lokele ts'ebetso ea mocheso oa semiconductor, litsamaiso tsa epitaxy, le likarolo tsa ontong.
Koefficient ea eona e tlase ea katoloso ea mocheso le khanyetso e ntle ea ho thothomela ha mocheso li thusa ho fokotsa ho fetoha le ho ntlafatsa botsitso ba ts'ebetso.
2. Khanyetso e Phahameng ea Lik'hemik'hale le Plasma
Tlhahiso ea li-semiconductor e kenyelletsa likhase tse mabifi le tikoloho ea plasma, ho kenyeletsoa likhase tse thehiloeng ho chlorine, plasma ea fluorine, le sepakapaka se arabelang mochesong o phahameng.
Li-ceramic tsa SiC tse nang le masoba li fana ka:
- Khanyetso e ntle ea oxidation
- Botsitso bo phahameng ba lik'hemik'hale
- Khanyetso e matla ea khoholeho ea plasma
- Litšobotsi tse tlase tsa tšilafalo
Melemo ena e thusa ho fokotsa tlhahiso ea likaroloana le ho eketsa nako ea bophelo ea likarolo lisebelisoa tsa semiconductor.
3. Ho Laoloa ha Metsi le ho Dumella Khase ho Kena
Molemo o ka sehloohong oa SiC e nang le masoba ke sebopeho sa eona sa masoba se ka fetoloang. Ka ho laola boholo ba masoba, kabo le khokahano, bahlahisi ba ka ntlafatsa tekano pakeng tsa matla a mechini le ho kenella ha metsi.
Tšobotsi ena e ikhethang e nolofalletsa SiC e nang le masoba ho sebetsa joalo ka:
- Lisebelisoa tsa ho hasana ha khase
- Meaho ea ho sefa
- Likarolo tsa taolo ea mocheso
Ⅲ. Mekhoa ea ho Sebetsa ea Li-ceramics tsa Silicon Carbide tse nang le Metsi
Tshebetso ya diserami tsa SiC tse nang le masoba e itshetlehile haholo ka mekgwa ya tlhahiso le moralo wa sebopeho sa microstructure.
Phokotso ea k'habohaedreite
Ts'ebetso ena ea setso e hlahisa SiC e nang le masoba ka lebaka la liketso tsa mocheso o phahameng pakeng tsa thepa e nang le silicon le mehloli ea khabone. E nolofalletsa ho thehoa ha meralo ea SiC e hloekileng haholo e nang le botsitso bo botle ba mocheso.
Ho Sintering ea Mokhahlelo oa Metsi
Ho sintering ka mokhahlelo wa metsi ho sebedisa di-additives ho ntlafatsa ho kopana ha dikarolwana le ho tiya ha tsona. Ka ho fetola mocheso wa ho sintering le k'hemistri ya di-additives, bahlahisi ba ka fihlella matla a ntlafetseng a mechini le kabo ya di-pore.
Ho Kena ha Mouoane ka Lik'hemik'hale (CVI)
CVI e kenya di-precursor tsa kgase ka hara dibopeho tse nang le masoba, moo SiC e dulang hodima bokahodimo ba ka hare. Mokgwa ona o ntlafatsa matla a sebopeho, bohloeki le ho tshwarella ha mocheso o phahameng.
Mekhoa ea ho Foamisa le ea Thempleite
Mahlale a foam le a thehilweng hodima dithempleite a theha dibopeho tsa masoba a nang le maemo a hodimo ka ho laola dintho tse etsang masoba kapa dithempleite tsa sehlabelo. Mekhoa ena e fana ka ho kenella ho hoholo ha metsi le meralo ya masoba e ikgethileng.
Ⅳ. Likopo ho Tlhahiso ea Semiconductor
Ka lebaka la motsoako oa eona o ikhethang oa thepa ea mocheso, lik'hemik'hale le ea sebopeho, liserami tsa SiC tse nang le masoba li ntse li sebelisoa haholoanyane lits'ebetsong tsa semiconductor.
Likarolo tsa Kabo ea Khase
Litsamaisong tsa CVD, PECVD, le ALD, SiC e nang le masoba e ka sebetsa e le li-diffuser tsa khase le lipoleiti tsa kabo ho fihlela phallo ea khase ea ts'ebetso e ts'oanang le ho ntlafatsa botsitso ba ho boloka filimi.
Lisebelisoa tsa ho Sebetsa ka Plasma
Litsamaisong tsa ho tjhesa le ho hlwekisa plasma, dikarolo tsa SiC tse nang le masoba di fana ka kganyetso e phahameng kgahlanong le ditikoloho tse senyang tsa plasma, e fokotsang tshilafatso ya dikarolwana le ho ntlafatsa botshepehi ba disebediswa.
Sistimi ea SiC le GaN Epitaxy
Bakeng sa tlhahiso ea li-semiconductor tsa moloko oa boraro, SiC e nang le masoba e thusa ho ntlafatsa tsamaiso ea mocheso le botsitso ba ts'ebetso libakeng tsa kholo ea epitaxial tse nang le mocheso o phahameng.
Likarolo tsa ho Tšoara Wafer
Li-chuck tsa vacuum tsa SiC tse nang le masobalelitšehetso tsa wafere fana ka ho nepahala ho hoholo, tšilafalo e tlase, le khanyetso e ntle ea lik'hemik'hale bakeng sa tlhahlobo ea wafer, lithography, le ts'ebetso ea mocheso.
Qetello
Li-ceramics tsa Silicon Carbide tse nang le masobaemela phetoho eaLisebelisoa tsa SiCho tloha ho di-ceramic tsa meaho tsa setso ho ya ho dikarolo tse sebetsang tsa semiconductor. Ka mahlale a tswetseng pele a ho sebetsana le ona le taolo e nepahetseng ya sebopeho sa di-pore, SiC e nang le masoba e fihlella tekano e phethahetseng pakeng tsa matla, ho kenella ha metsi, tshebetso ya mocheso le botsitso ba dikhemikhale.
Ha tlhahiso ea li-semiconductor e ntse e tsoela pele ho ea mochesong o phahameng le taolong e thata ea tšilafalo, li-ceramic tsa SiC tse nang le masoba li tla bapala karolo ea bohlokoa haholoanyane hoMekhoa ea CVD, lisebelisoa tsa ho sebetsana le plasma, ho sebetsana le li-wafer, le mahlale a tlhahiso ea semiconductor ea moloko o latelang.
Nako ea poso: Phupu-31-2026