SiC ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ కోసం అధునాతన CVD పూతలు

తీవ్రమైన ఉష్ణ ఒత్తిడి (1500°C - 1700°C) కింద పనిచేసే అధిక-శక్తి సెమీకండక్టర్ పరికర ప్రక్రియల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడిన, మా CVD SiC మరియు TaC పూత పూసిన ప్లానెటరీ ససెప్టర్లు, శాటిలైట్ డిస్క్‌లు మరియు గ్యాస్ డిఫ్లెక్టర్లు అత్యుత్తమంగా పనిచేసేలా నిర్మించబడ్డాయి. కణాల ఉత్పత్తి, ఉపరితల క్షీణత మరియు రియాక్టివ్ గ్యాస్ ఎచింగ్ (H₂, SiH₄, C₃H∯) ను నిరోధించడానికి రూపొందించబడిన మా అధునాతన పూతలు, సుదీర్ఘ కార్యాచరణ జీవితకాలాన్ని, ఉన్నతమైన డోపెంట్ నియంత్రణను మరియు అన్ని పరికరాలలో అధిక ఫిల్మ్ మందం ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తాయి.6-అంగుళాల మరియు 8-అంగుళాల SiC ఎపిటాక్సియల్ వేఫర్లు.