ለከፍተኛ ንፁህ የግራፋይት ተጠቂዎች አጠቃላይ መመሪያ

በዘመናዊ የሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ማምረቻ እና በሶስተኛ ትውልድ ውህድ ሴሚኮንዳክተር ምርት (እንደ ሲሊከን ካርባይድ [ሲሲ] እና ጋሊየም ናይትሬድ [ጋኤን])፣ የኢንዱስትሪ ውይይቶች ብዙውን ጊዜ እጅግ በጣም በተራቀቁ የ EUV ሊቶግራፊ ማሽኖች፣ የፕላዝማ ኢቸርስ ወይም ፕሪከርሰር የጋዝ ንፅህና ላይ ያተኩራሉ። ሆኖም ግን፣ እጅግ በጣም ንፁህ፣ በጣም ዝገት ያለው እና ከፍተኛ የሙቀት መጠን ባለው የምላሽ ክፍሉ ውስጥ ወሳኝ ያልተዘመረለት ጀግና አለ፡ የግራፋይት ተከላካይ።

1. ግራፋይት ሱስሴፕተር ምንድን ነው?

A የግራፋይት ተከላካይከፍተኛ ንፁህ በሆነ አይሶ-የተቀረጸ ወይም የተወጣ ግራፋይት የተሰራ፣ ብዙውን ጊዜ ዲስክ ቅርጽ ያለው፣ ኪሱ የተሸከመ ወይም ብጁ የሆነ በትክክለኛነት የተቀረጸ ተግባራዊ ተሸካሚ አካል ነው።ለተወሰኑ የምላሽ ክፍሎችን ለማስማማት የተነደፉ ባለ ሶስት አቅጣጫዊ ጂኦሜትሪዎች።

እንደ ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (CVD)፣ ሜታል-ኦርጋኒክ ኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን (MOCVD) እና ፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ (RTP) ሪአክተሮች ባሉ መሳሪያዎች ውስጥ፣ የተሸካሚው መድረክ ዋና ተግባር እንደ ዋና የሙቀት ልውውጥ ሆኖ ሲያገለግል ሴሚኮንዳክተር ዋፈሮችን ደህንነቱ በተጠበቀ ሁኔታ መያዝ ነው። የግራፋይት ተከላካይ ኢንዳክሽን የማሞቂያ ዘዴዎችን በመጠቀም፣ ክፍሉ የሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ (RF) ወይም ማይክሮዌቭ ኤሌክትሮማግኔቲክ ኃይልን በፍጥነት ይቀበላል እና ወደ ተመሳሳይ የሙቀት ኃይል ይለውጠዋል፣ ይህም በዋፈር ወለል ላይ ሚሊሰከንድ ደረጃ ትክክለኛ የሙቀት መቆጣጠሪያን ያመቻቻል።

2. የቁሳቁስ ቅንብር እና ማይክሮ መዋቅር፡- ለምን ኢሶስታቲክ ግራፋይት + ሲቪዲ ሲሲ ሽፋን?

ያልተሸፈነ ጥሬ ግራፋይት ኃይለኛ የኬሚካል ድባብ እና የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ጥብቅ የንፅህና መስፈርቶችን መቋቋም አይችልም። ዘመናዊ ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸው የግራፋይት ተከላካይዎች ልዩ ባለሁለት ንብርብር ኮምፖዚት ሲስተም ይጠቀማሉ፡

(1) ከፍተኛ ንፅህና ያለው ኢሶስታቲክ ግራፋይት ንፁህ

ዋናው ንጣፍ የሚመረተው በአይሶስታቲስቲክስ የተጨመቀ ግራፋይት በመጠቀም ነው። የግራፋይት ማይክሮ ክሪስታሊን አሰላለፍን በማመቻቸት፣ ኢሶትሮፒክ አካላዊ ባህሪያትን፣ ዝቅተኛ ቀዳዳነት እና ከፍተኛ የሜካኒካል ተጣጣፊነት ጥንካሬን ያገኛል፣ ይህም ውስብስብ የዋፈር ኪስ ጂኦሜትሪዎችን ለማይክሮ-ማሽን ተስማሚ መሠረት ይሰጣል።

(2) የሲቪዲ ሲሊከን ካርቦይድ (ሲሲ) መከላከያ ሽፋን

የኬሚካል ትነት ዲፖዚሽን በመጠቀም፣ ከፍተኛ ጥቅጥቅ ያለ የፖሊ-ክሪስታሊን B-SiC ንብርብር (በተለምዶ ከ10 እስከ 100 ኡም ውፍረት እና 99.999% ንፅህና) በግራፋይት ንጣፍ ላይ ይበቅላል። ይህ ሽፋን የግራፋይት ወለል ጥቃቅን ቀዳዳዎችን ሙሉ በሙሉ ይዘጋል፣ የብናኝ መፍሰስን ይከላከላል፣ እና እንደ HCI፣ NH፣ እና ፍሎራይድድ ...

3. ቁልፍ አካላዊ ባህሪያት እና የቁሳቁስ ዝርዝሮች

በጠንካራ የላብራቶሪ ምርመራ እና በተረጋገጡ የኢንዱስትሪ መለኪያዎች ላይ በመመስረት፣ ከፍተኛ ንፁህ ሽፋን ያላቸው የግራፋይት ተከላካይዎች የሚከተሉትን ወሳኝ የፊዚካል መለኪያዎች ያሳያሉ፡

የኮር ኢንጂነሪንግ ጥቅሞች፡

1. የላቀ የሙቀት ድንጋጤ መቋቋም፦ ሳይሰነጠቅ ወይም ሳይፈርስ ቀጣይነት ያለው ፈጣን የማሞቂያ እና የማቀዝቀዣ ዑደቶችን (ከ1500°ሴ በላይ) መቋቋም የሚችል።

2. የኬሚካል አለመቻቻል: ከ H2፣ NH3፣ ከሲላን ጋዞች እና ከከባድ የኬሚካል ማጽጃ ወኪሎች ለመበላሸት ሙሉ በሙሉ የተጋለጠ።

3. የሙቀት መስፋፋት (CTE) ማመሳሰል ኮፊሸንትየVET ኢነርጂ ባለቤትነት ያለው የSiC ማከማቻ ሂደት የSiC ሽፋን የሙቀት መስፋፋት ባህሪን ከግራፋይት ኮር ጋር በማስተካከል በከፍተኛ የሙቀት መጠን የሽፋን ስብራትን ይከላከላል።

4. በሴሚኮንዳክተር ማቀነባበሪያ ውስጥ ሚና እና አተገባበር

ከፍተኛ አስተማማኝነት የግራፋይት ተከላካይዎች በበርካታ ወሳኝ የሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ደረጃዎች ውስጥ እንደ መሰረታዊ የማስቻል አካላት ሆነው ያገለግላሉ፡

(1) ሲቪዲ እና ሞኮቪዲ ኤፒታክሲያል እድገት (ኤፒአይ)

በ GaN LED ማምረቻ ውስጥ፣ የSiC ፓወር መሳሪያ ኤፒታክሲ እና የሲሊኮን ዋፈር ኤፒ-እድገት፣ የፊልም ውፍረት እና የዶፒንግ ወጥነት በሙቀት መስክ ተመሳሳይነት ላይ በእጅጉ የተመካ ነው። የግራፋይት ተከላካይዎች በማሽከርከር ወቅት ሙቀትን በነጠላ ወይም በብዙ-ዋፈር ውቅሮች ላይ በእኩል ያሰራጫሉ፣ ይህም በሙቀት ውጥረት ምክንያት የሚመጣ የዋፈር መስገድ ወይም የመንሸራተት መስመሮችን ይገታል።

(2) ነጠላ ክሪስታል እድገት (PVT ዘዴ)

በሲሊኮን ካርባይድ (SiC) እና በሳፋየር ክሪስታል እድገት ወቅት በፊዚካል ትነት ትራንስፖርት (PVT) አማካኝነት፣ ተንሳፋፊው የሙቀት ዞን ቅልመትን የሚወስን ሲሆን፣ ነጠላ-ክሪስታል ኢንጎት መፈጠርን በቀጥታ ይመራል እና የመፈናቀል ጥግግትን ይቀንሳል።

(3) ፈጣን የሙቀት ማቀነባበሪያ (RTP) እና አኒሊንግ

መድረኩ ውጤታማ የሆነ የግራፋይት ተከላካይ ኢንዳክሽን ማሞቂያ በመጠቀም፣ ከክትባት በኋላ ላቲስ አኔሊንግ እና የመገጣጠሚያ መፈጠር የሚያስፈልጉትን እጅግ በጣም ፈጣን የሙቀት ምላሽ ጊዜዎችን ያስችላል።

5. የVET ኃይልን ለምን መምረጥ አለብዎት?

የአቅርቦት ሰንሰለት መቋቋም፣ ከፍተኛ ንፅህና እና ረጅም የአገልግሎት ዘመንን የሚጠይቁ መስፈርቶችን ማሟላት፣የቪኢቲ ኃይልእንደ አስተማማኝ ዓለም አቀፍ የምህንድስና አጋር ጎልቶ ይታያል፡

1. ፕሪሲሽን ማይክሮ-ማሽን፦ ባለብዙ-ዘንግ የሲኤንሲ ማሽነሪ ማዕከላት ውስብስብ የሆኑ የዋፈር ኪስ፣ ማይክሮ-ግሩቭስ እና ብጁ የአየር ዳይናሚክ የጋዝ ቻናሎችን እስከ ማይክሮሜትር ደረጃ ድረስ መቻቻል ያስችላሉ።

2. የላቀ ጥቅጥቅ ያለ የሲቪዲ ሲሲ ዲፖዚሽንየኛ የባለቤትነት መብት ያለው የሲቪዲ ሂደታችን በጣም ጥቅጥቅ ያሉ፣ በመስታወት የሚለጠፉ የሲሲ ሽፋኖችን ያስገኛል፣ ይህም የሙቀት ዑደት የአሠራር ዕድሜን ከ30% በላይ ያራዝማል።

3. እጅግ በጣም ንጹህ የማቀነባበሪያ አካባቢሙሉ የማጽዳት እና የጽዳት ክፍል አያያዝ አጠቃላይ የአመድ ይዘት ከ 5 ppm በታች በተከታታይ እንዲቆይ ዋስትና ይሰጣል፣ ይህም ጥብቅ የኦሪጂናል ዕቃ አምራች ሴሚኮንዳክተርን ያሟላልየፋብ ደረጃዎች።

4. የተሻሻለ የባለቤትነት ዋጋ (CoO)የቪኢቲ ኃይል የቺፕ አምራቾች የፍጆታ ወጪን እንዲቀንሱ በመርዳት የተፋጠነ የሊድ ጊዜን ያቀርባል።