Portadores de obleas MOCVD de grafito con revestimento de SiC, susceptores de grafito para epitaxia de SiC
Susceptores de subministración de carbono, susceptores de grafito, bandexas de grafito, epitaxia de SiC, susceptores de obleas,

O revestimento CVD-SiC ten as características de estrutura uniforme, material compacto, resistencia a altas temperaturas, resistencia á oxidación, alta pureza, resistencia a ácidos e álcalis e reactivo orgánico, con propiedades físicas e químicas estables.

En comparación cos materiais de grafito de alta pureza, o grafito comeza a oxidarse a 400 °C, o que provocará unha perda de po debido á oxidación, o que provocará contaminación ambiental dos dispositivos periféricos e das cámaras de baleiro, e aumentará as impurezas do ambiente de alta pureza.

Non obstante, o revestimento de SiC pode manter a estabilidade física e química a 1600 graos. É amplamente utilizado na industria moderna, especialmente na industria dos semicondutores.

A nosa empresa ofrece servizos de procesos de revestimento de SiC mediante o método CVD na superficie de grafito, cerámica e outros materiais, de xeito que gases especiais que conteñen carbono e silicio reaccionan a alta temperatura para obter moléculas de SiC de alta pureza, moléculas depositadas na superficie dos materiais revestidos, formando unha capa protectora de SIC. O SIC formado únese firmemente á base de grafito, o que lle confire propiedades especiais á base de grafito, facendo que a superficie do grafito sexa compacta, libre de porosidade, resistente a altas temperaturas, á corrosión e á oxidación.

Aplicación:

Características principais:

1. Resistencia á oxidación a altas temperaturas:

A resistencia á oxidación segue sendo moi boa cando a temperatura alcanza os 1700 °C.

2. Alta pureza: fabricado por deposición química de vapor en condicións de cloración a alta temperatura.

3. Resistencia á erosión: alta dureza, superficie compacta, partículas finas.

4. Resistencia á corrosión: ácidos, álcalis, sales e reactivos orgánicos.

Principais especificacións dos revestimentos CVD-SIC:

Capacidade de subministración:

10000 pezas por mes
Embalaxe e entrega:
Embalaxe: Embalaxe estándar e forte
Bolsa de polietileno + caixa + cartón + palé
Porto:
Ningbo/Shenzhen/Xangai
Prazo de entrega: