Suporturi de napolitane MOCVD cu acoperire cu grafit SiC, susceptori de grafit pentru epitaxie SiC,
Susceptori din carbon, susceptori din grafit, tăvi de grafit, epitaxie SiC, susceptori tip wafer,

Acoperirea CVD-SiC are caracteristici precum structură uniformă, material compact, rezistență la temperaturi ridicate, rezistență la oxidare, puritate ridicată, rezistență la acid și alcali și reactiv organic, cu proprietăți fizice și chimice stabile.

Comparativ cu materialele din grafit de înaltă puritate, grafitul începe să se oxideze la 400°C, ceea ce va cauza o pierdere de pulbere din cauza oxidării, rezultând poluarea dispozitivelor periferice și a camerelor de vid și creșterea impurităților din mediul de înaltă puritate.

Cu toate acestea, acoperirea cu SiC poate menține stabilitatea fizică și chimică la 1600 de grade, fiind utilizată pe scară largă în industria modernă, în special în industria semiconductorilor.

Compania noastră oferă servicii de acoperire cu SiC prin metoda CVD pe suprafața grafitului, ceramicii și a altor materiale, astfel încât gazele speciale care conțin carbon și siliciu reacționează la temperatură ridicată pentru a obține molecule de SiC de înaltă puritate, molecule depuse pe suprafața materialelor acoperite, formând un strat protector de SIC. SIC-ul format este ferm lipit de baza de grafit, conferind bazei de grafit proprietăți speciale, făcând astfel suprafața grafitului compactă, fără porozități, rezistentă la temperaturi ridicate, la coroziune și la oxidare.

Aplicație:

Caracteristici principale:

1. Rezistență la oxidare la temperaturi ridicate:

Rezistența la oxidare este încă foarte bună chiar și la temperaturi de până la 1700 °C.

2. Puritate ridicată: realizat prin depunere chimică de vapori în condiții de clorurare la temperatură înaltă.

3. Rezistență la eroziune: duritate ridicată, suprafață compactă, particule fine.

4. Rezistență la coroziune: acid, alcali, sare și reactivi organici.

Specificații principale ale acoperirilor CVD-SIC:

Capacitate de aprovizionare:

10000 bucăți/bucăți pe lună
Ambalare și livrare:
Ambalare: Ambalare standard și puternică
Pungă polietilenă + cutie + carton + palet
Port:
Ningbo/Shenzhen/Shanghai
Perioada de graţie: