Barco de cuarzo de alta pureza para procesamento de obleas

Barco de obleas de cuarzoé unha ferramenta de soporte clave na fabricación de semicondutores, produción de células fotovoltaicas e investigación e desenvolvemento de materiais avanzados, deseñada para a transferencia e o posicionamento estables de obleas en procesos de alta temperatura. Este produto está feito de sílice fundida (SiO2) de pureza ultra alta, con excelentes características de resistencia á temperatura, estabilidade química e contaminación metálica ultrabaixa, axeitado para fornos de difusión, fornos de oxidación, PECVD/LPCVD e outros equipos, amplamente utilizado no revestimento de obleas, implantación de ións, recocido a alta temperatura e outros procesos de núcleos.

As principais vantaxes do barco de cuarzo de VET Energy:

• Material de ultra alta pureza
  Pureza ≥99,99 %: contido de impurezas (Na, K, Fe, etc.) <5 ppm, o que evita a contaminación das obleas e garante o rendemento do chip.
  Baixa precipitación e adsorción: a superficie está superpulida (Ra ≤ 0,4 μm) para reducir a adhesión de partículas e os residuos de gas.
• Estabilidade a altas temperaturas
  Límite de temperatura: temperatura de traballo a longo prazo de 1100 ℃, pico a curto prazo de 1300 ℃, sen deformación, sen precipitación de cristais.
  Baixo coeficiente de expansión térmica (5,5 x 10⁻⁷/℃), excelente resistencia ao choque térmico, adaptable a procesos de aumento e caída rápida da temperatura (por exemplo, recocido rápido RTP).
• Deseño estrutural preciso
  Precisión da ranura ±0,1 mm: coincidencia de obleas de 2" a 12", erro de uniformidade de espazado <0,05 mm, garantindo que as obleas non teñan desprazamento.
  Alta capacidade de carga: carga máxima de 50 obleas (en termos de obleas de 12 polgadas) nunha única nave, o que permite a transferencia estable de obleas delgadas (≥100 um).
• Inercia química
  Resistencia á corrosión: Resistente á corrosión por ácidos (excepto HF), álcalis e solventes orgánicos, compatible co proceso de limpeza CMP.
  Excelente estanqueidade aos gases: taxa de fugas <5x10-10 Pa.m3/s, axeitada para ambientes de baleiro e gas protector.
• Longa vida útil e mantemento
  Esperanza de vida ≥ 5000 ciclos (condicións de traballo normais), a superficie pódese limpar e usar repetidamente, o que reduce o custo total.
  Deseño modular: admite a substitución parcial (por exemplo, un só dente dun barco), o que reduce o tempo de inactividade.

Ofrecemos superficies transparentes e esmeriladas segundo os requisitos do cliente:

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd é unha empresa de alta tecnoloxía centrada na produción e venda de materiais avanzados de alta gama, materiais e tecnoloxía como grafito, carburo de silicio, cerámica, tratamento de superficies como revestimento de SiC, revestimento de TaC, revestimento de carbono vítreo, revestimento de carbono pirolítico, etc., estes produtos son amplamente utilizados en fotovoltaica, semicondutores, novas enerxías, metalurxia, etc.

O noso equipo técnico provén de institucións de investigación nacionais de primeira liña e desenvolveu múltiples tecnoloxías patentadas para garantir o rendemento e a calidade do produto, e tamén pode proporcionar aos clientes solucións de materiais profesionais.